Основы фотолитографического процесса

Фоторезисты и их свойства. Травление подложки с защитным рельефом и удаление защитного рельефа. Формирование слоя фоторезиста и защитного рельефа. Организация производства фотолитографического процесса. Изготовление высококачественных фотошаблонов.

Подобные документы

  • Спектральное представление стационарно-однородных случайных и детерминированных полей со сплошным частотным спектром: свойства, одномерные и многомерные гармонические функции. Условия стационарности, спектр мощности и автокорреляция случайного процесса.

    реферат, добавлен 12.12.2013

  • Выбор принципа конструирования, конструкционной системы, серии логического ИМС. Расчет теплового режима и параметров электрических соединений. Разработка технологического процесса изготовления устройства. Анализ технологичности конструкции изделия.

    курсовая работа, добавлен 06.06.2010

  • История, принцип работы, характеристики стандарта GSM. Генерирование случайного процесса, нахождение оценок статистических характеристик сгенерированного процесса. Статистические характеристики фонемы "К". Расчет сетей стандарта GSM и NMT, их сравнение.

    курсовая работа, добавлен 09.12.2010

  • Расчет параметров настройки ПИ-регулятора для объекта второго порядка. Аналитический расчет и реализация программы в среде MatLab, которая определяет параметры регулятора и переходного процесса. Критерии качества переходного процесса замкнутой системы.

    лабораторная работа, добавлен 29.09.2016

  • Теоретические основы проектирования полосового фильтра на сосредоточенных элементах. Метаматериалы и их использование в электронике. Типы элементов частотно-селективных поверхностей. Настройка резонансной частоты добавлением промежуточного слоя пластин.

    дипломная работа, добавлен 17.10.2016

  • Особенности процесса контроля и настройки телевизоров, основные этапы. Анализ концептуальной схемы контроля и настройки телевизоров. Характеристика задач оператора Simulate, рассмотрение функции распределения времени испытания с учетом отбраковки.

    курсовая работа, добавлен 20.06.2012

  • Термины и определения теории автоматики. Автоматизированные системы. Структура САУ, типовая схема и применение в производственном цикле. Классификация элементов автоматических систем. Свойства объектов регулирования. Функции разгона переходного процесса.

    презентация, добавлен 05.05.2014

  • Медико-биологическое обоснование устройства для прогнозирования динамики воспалительного процесса. История создания импедансометрии. Показания и противопоказания проектируемого прибора. Расчет электрических печатных плат и помехоустойчивости прибора.

    курсовая работа, добавлен 07.06.2014

  • Автоматизация – направление развития производства, характеризуемое освобождением человека как от мускульных усилий, так и от оперативного управления механизмом. Предпосылки расширения применения промышленных роботов. Конструирование захватного устройства.

    курсовая работа, добавлен 25.08.2010

  • Расчет технических характеристик цифровой системы передачи непрерывных сообщений. Параметры источника непрерывных сообщений. Изучение процесса дискретизации и преобразования случайного процесса в АЦП. Принцип работы модулятора и оптимального приемника.

    курсовая работа, добавлен 27.09.2012

  • Анализ технологичности конструкции изделия, расчет показателей технологичности, разработка технологической схемы сборки. Анализ вариантов маршрутной технологии, выбор технологического оборудования и оснастки, проектирование технологического процесса.

    курсовая работа, добавлен 12.06.2010

  • Конструкции МДП-транзисторов (металл - диэлектрик – полупроводник) в микросхемах с алюминиевой металлизацией. Материалы, используемые в качестве диэлектрика. Применение поликремниевых затворов транзисторов. Преимущество диэлектрической подложки.

    реферат, добавлен 22.02.2009

  • Конструктивно-технологические параметры печатной платы, выбор элементов и материалов для полевого транзистора, расчет надежности акустического реле. Операционная карта процесса изготовления согласно технологическим операциям и методам производства.

    курсовая работа, добавлен 01.07.2008

  • Исследование модуля преобразователя входных функциональных сигналов для цифровых АТС. Технические требования к модулю, метод проектирования технологического процесса его сборки. Конструктивно-технологичный анализ изделия как объекта производства.

    дипломная работа, добавлен 10.06.2010

  • Эффективность алгоритмов и оценка их вычислительной сложности. Модель вычислительного процесса и классификация алгоритмов по вычислительной сложности. Принцип "разделяй и властвуй". Общие свойства базовых алгоритмов цифровой обработки сигналов.

    контрольная работа, добавлен 11.09.2015

  • Топология и элементы МОП-транзистора с диодом Шоттки. Последовательность технологических операций его производства. Разработка технологического процесса изготовления полупроводниковых интегральных схем. Характеристика используемых материалов и реактивов.

    курсовая работа, добавлен 06.12.2012

  • Рассмотрение конструкторско-технологической характеристики и типового технологического процесса (литье под давлением, зачистка отливки от облоя, фрезерная обработка) корпусных деталей, обрабатываемых в гибких производственных линиях модели АЛП-3-2.

    контрольная работа, добавлен 23.05.2010

  • Основные положения процесса молекулярно-лучевой эпитаксии. Устройство установки, принципы действия: рабочий объем, эффузионные ячейки. Дифракция быстрых электронов. Использование раствора кадмий-ртуть-теллур для производства инфракрасных и фотоприемников.

    курсовая работа, добавлен 11.04.2012

  • Информатика и кибернетика как составные науки управления. Основные категории, понятия и законы управления как информационного процесса. Замкнутая и разомкнутая схема управления в обществе с обратной связью. Особенности кибернетического мышления.

    реферат, добавлен 21.12.2009

  • Технологический процесс (ТП) как основа производственного процесса. Разработка ТП сборки и монтажа формирователей усилителя низкой частоты. Анализ конструкции изделия. Проектирование участка сборки и монтажа, оснастка для сборочно-монтажных работ.

    курсовая работа, добавлен 21.06.2010

  • Варианты устройства дистанционного контроля микроклимата. Методы оценки экономического эффекта от него. Организация производства устройства дистанционного контроля микроклимата. Оценка затрат на разработку, экономическое обоснование целесообразности.

    курсовая работа, добавлен 19.12.2013

  • Идея создания и применения оптронов. Физические основы оптронной техники. Измерения оптоэлектронными многоканальными системами. Изготовление подложек из монокристаллов Bi12GeO20 и подготовка поверхности подложек к эпитаксии. Структура германата висмута.

    дипломная работа, добавлен 25.10.2012

  • Анализ основных тенденций в современных полупроводниковых интегральных микросхемах (ИМС). Структурная схема блока компаратора. Физическая структура и топология биполярного n-p-n транзистора на основе подложки p-типа с эпитаксиальным и скрытым слоем.

    курсовая работа, добавлен 01.11.2010

  • Разработка конструкции, топологии и технологического процесса интегральной микросхемы по заданной электрической схеме. Топологический расчет транзистора и полупроводникового кристалла. Расчет геометрических размеров резисторов и конденсаторов.

    курсовая работа, добавлен 18.02.2010

  • Фотоэлектрические приемники лучистой энергии. Электрические, фотоэлектрические и оптические свойства материалов. Фоторезисторы, их свойства и принцип работы. Световые характеристики фоторезисторов. Энергетический спектр валентных электронов в материалах.

    реферат, добавлен 15.01.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.