Особенности электронной литографии при низких ускоряющих напряжениях
Представление об основах литографии. Установки изготовления образцов. Параметры коррекции распределения дозы, чувствительность резиста. Основы электронной литографии при низком ускоряющем напряжении. Оценка эффективного диаметра электронного луча.
Подобные документы
Физика низких температур. Низкотемпературные проблемы и возможности сжижения газов. Интенсивность тепловых движений. Свойства газов и жидкостей при низких температурах. Получение низких температур. Сверхтекучесть и другие свойства жидкого гелия.
курсовая работа, добавлен 16.08.2012Формирование интенсивного электронного потока в вакуумном промежутке при переходе автоэлектронной эмиссии в режим взрывной электронной эмиссии. Изучение принципа работы ионно-литиевого аккумулятора, основанного на суперионной проводимости диэлектрика.
статья, добавлен 29.08.2012Исследование кристаллической структуры поверхности с помощью рентгеновских и электронных пучков. Дифракция электронов низких и медленных энергий (ДЭНЭ, ДМЭ), параметры. Тепловые колебания решетки, фактор Дебая-Валлера. Реализация ДЭНЭ, применение метода.
курсовая работа, добавлен 08.06.2012Описание полупроводников, характеристика их основных свойств. Физические основы электронной проводимости. Строение кристалла кремния. Направленное движение электронов и дырок под действием электрического поля, p-n переход. Устройство транзисторов.
презентация, добавлен 20.04.2016Структура и состав ядерной энергетической установки. Схемы коммутации и распределения в активных зонах. Требования надежности. Виды и критерии отказов ядерной энергетической установки и ее составных частей. Имитационная модель функционирования ЯЭУ-25.
отчет по практике, добавлен 22.01.2013Цикл напряжений как совокупность всех значений переменных напряжений за время одного периода изменения нагрузки, его характерные признаки и особенности, параметры и разновидности. Явление усталости. Расчет на прочность при циклических напряжениях.
реферат, добавлен 19.04.2011Характерные параметры атомной физики. Рассеяние или поглощение нейтронов. Источники ионизирующего излучения. Фазы ионизации. Соматические воздействия. Пороговые дозы детерминированных эффектов при кратковременном облучении. Стохастические эффекты.
презентация, добавлен 03.08.2016Электрический ток в металлах, полупроводниках и электролитах. Зонная модель электронной проводимости металлов. Квантово-механическое объяснение сверхпроводимости в полупроводниках. Электрический ток в электролитах. Применение электролиза на производстве.
презентация, добавлен 13.02.2016Понятие термодинамической температуры. Способы получения низких температур. Принцип работы холодильника. История изобретения холодильных аппаратов и достижений в получении низких температур. Метод получения сверхнизких температур, магнитное охлаждение.
реферат, добавлен 10.07.2013Общие характеристики перезаряжаемых источников электрического тока. Конденсаторы с двойным электрическим слоем. Конструкция экспериментальных образцов ионисторов, технология их изготовления. Сравнительная характеристика экспериментальных образцов.
дипломная работа, добавлен 21.06.2012Характеристика движения электронов: в вакууме, в однородном электрическом, ускоряющем, тормозящем, поперечном, магнитном полях. Использование уравнения Лапласа для описания аналитической картины электрического поля в пространстве, свободном от зарядов.
курсовая работа, добавлен 27.10.2011Мощность в функции времени. Топографические и лучевые векторные диаграммы. Резонанс в линейных цепях при гармонических напряжениях и токах. Принцип действия синхронного генератора. Обмотки статора генератора, их обозначение. Явно- и неполюсной ротор.
презентация, добавлен 16.10.2013Метрологическое обеспечение контроля электрических величин. Параметры и свойства измерительной техники: показания средств измерений; градуировочная характеристика; разрешающая способность, диапазон, предел, чувствительность. Методика выполнения измерений.
презентация, добавлен 31.07.2012Ионный обмен в стеклах, керамике, порошках. Изучение ионообменной селективности сурьмяной кислоты. Получение электродного материала литий-ионного аккумулятора. Ионная проводимость и числа переноса. Оценка электронной проводимости поляризационным методом.
реферат, добавлен 19.08.2015- 40. Увеличение электрической прочности ускоряющего промежутка электронного источника при наличии пучка
Описание эксперимента и экспериментальной установки. Эффект возрастания электрической прочности ускоряющего промежутка в присутствии электронного пучка. Постановка задачи. Математическая модель теории. Расчёт и обработка результатов эксперимента.
курсовая работа, добавлен 28.09.2007 Параметры рабочего агента в характерных токах схемы. Электрическая мощность компрессора и его энергетические показатели. Определение баланса компрессорной холодильной установки. Удельные электромеханические потери. Эксергия, отводимая в конденсаторе.
курсовая работа, добавлен 25.04.2015Определение скорости пара и диаметра колонны, гидравлический расчёт тарелок. Определение числа тарелок и высоты колонны, тепловой расчёт установки, расчёт штуцеров. Штуцер для ввода исходной смеси, для вывода паров дистиллята, для вывода кубового остатка.
курсовая работа, добавлен 25.05.2023Цикл парогазовой установки с конденсационной паровой турбиной, разработка ее схемы и расчет элементов. Параметры оптимальных режимов ПГУ с впрыском пара по простейшей схеме. Определение параметров и построение в термодинамических диаграммах цикла.
курсовая работа, добавлен 14.12.2013Полупроводники - вещества, обладающие электронной проводимостью, занимающие промежуточное положение между металлами и изоляторами. История открытия, распространенность полупроводников в природе и человеческой практике, их применение в наноэлектронике.
реферат, добавлен 10.01.2012Выбор вида освещения, нормируемой освещенности и коэффициента запаса. Размещение светильников в помещении. Светотехнический расчет установки. Определение потока источника света. Метод зональных телесных углов. Параметры ламп накаливания общего назначения.
методичка, добавлен 13.06.2014Габаритный расчет оптической схемы. Определение углового поля окуляра, диаметра входного зрачка монокуляра, фокусного расстояния объектива, диаметра полевой диафрагмы. Аберрационный расчет окуляра и призмы. Оценка качества изображения оптической системы.
курсовая работа, добавлен 02.07.2013Строение твердого тела. Понятие об энергетических уровнях. Классификация тел по электропроводности. Механизм образования электронной и дырочной проводимости. Примесные и собственные полупроводники. Области применения полупроводниковых материалов.
курсовая работа, добавлен 12.02.2014Методы изучения движения жидкости. Основная теорема кинематики (Гельмгольца). Уравнение движения сплошной среды в напряжениях. Понятия и определения потенциальных течений. Моделирование гидрогазодинамических явлений, ламинарное и турбулентное движение.
шпаргалка, добавлен 04.09.2010Цель и задачи разработки опытной теплонасосной установки с автономным электроснабжением. Теплофизические параметры объекта; блок-схема устройства автономного электроснабжения; выбор и обоснование преобразователя. Составление математической модели ТНУ.
дипломная работа, добавлен 16.05.2012История открытия сверхпроводников, отличие их от идеальных проводников. Эффект Мейснера. Применение макроскопического квантового явления. Свойства и применение магнитов. Использование в медицине медико-диагностической процедуры как электронной томографии.
презентация, добавлен 18.04.2016