Особенности электронной литографии при низких ускоряющих напряжениях

Представление об основах литографии. Установки изготовления образцов. Параметры коррекции распределения дозы, чувствительность резиста. Основы электронной литографии при низком ускоряющем напряжении. Оценка эффективного диаметра электронного луча.

Подобные документы

  • Пространственно-физические параметры, используемые при расчете: сила света одной лампы, удельная мощность, освещённость точечным методом в контрольных точках. Выбор проводов для питающих и групповых линий электрической части осветительной установки.

    практическая работа, добавлен 27.05.2009

  • Понятие полупроводниковых приборов, их вольтамперные характеристики. Описание транзисторов, стабилитронов, светодиодов. Рассмотрение типологии предприятий. Изучение техники безопасности работы с электронной техникой, мероприятий по защите от шума.

    дипломная работа, добавлен 29.12.2014

  • Изучение резонансных явлений в последовательном контуре на электронной модели в пакете Multisim. Вычисление значения скорости резистора, емкости конденсатора и индуктивности катушки. Нахождение теоретического и практического импеданса электрической цепи.

    лабораторная работа, добавлен 27.12.2014

  • Характеристика результатов исследований нестационарной детонации взрывчатых веществ в зарядах конечного диаметра. Определение зависимости скорости неидеальной детонации взрывчатых веществ от их плотности и диаметра заряда на основе октогена и гексогена.

    статья, добавлен 22.11.2016

  • Рассмотрение процесса взаимодействия ионов с твёрдыми телами. Изучение характеристик электронной эмиссии, а также ионной бомбардировки. Зависимость выхода электронов из твёрдого тела от кинетической и потенциальной энергии бомбардирующих частиц.

    реферат, добавлен 09.11.2014

  • Исследование резонансных явлений в последовательном контуре электрической цепи на электронной модели в пакете Multisim. Угловая и циклическая резонансная частота. Активное сопротивление для заданной добротности. Полное и реактивное сопротивления.

    лабораторная работа, добавлен 27.12.2014

  • Формирование электромагнитных волн Максвелла, установление связи между уравнениями Максвелла и экспериментальными данными. Формирование импульсов электронов вдоль провода и излучение им фотонов в пространство. Напряженность магнитного поля электрона.

    контрольная работа, добавлен 29.09.2010

  • Расчет паровой турбины, параметры основных элементов принципиальной схемы паротурбинной установки и предварительное построение теплового процесса расширения пара в турбине в h-s-диаграмме. Экономические показатели паротурбинной установки с регенерацией.

    курсовая работа, добавлен 16.07.2013

  • Способы определения параметров дренажей. Знакомство с этапами расчета тепловой схемы и проточной части паровой турбины К-160-130. Анализ графика распределения теплоперепада, диаметра и характеристического коэффициента. Особенности силового многоугольника.

    дипломная работа, добавлен 26.12.2016

  • Периодичность освещения, уровень освещенности, спектральный состав света как основные параметры видимого излучения, действующие на животных. Расчет осветительной установки для телятника на 520 голов методами коэффициента использования и удельной мощности.

    курсовая работа, добавлен 01.05.2010

  • Рассмотрение технологической схемы теплоутилизационной установки. Расчет печи перегрева водяного пара и котла-утилизатора. Составление теплового баланса воздухоподогревателя, определение коэффициента полезного действия и эксергетическая оценка установки.

    курсовая работа, добавлен 03.10.2014

  • Экспериментальные методы измерения подвижности носителей зарядов в диэлектриках. Эффект переключения диэлектрических пленок в высокопроводящее состояние. Исследование подвижностей носителей заряда времяпролетным методом. Изготовление пленочных образцов.

    дипломная работа, добавлен 13.10.2015

  • Основные свойства полупроводников. Строение кристаллов. Представления электронной теории кристаллов. Статистика электронов в полупроводниках. Теория явлений переноса. Гальваномагнитные и термомагнитные явления. Оптический свойства полупроводников.

    книга, добавлен 21.02.2009

  • Конструктивные особенности оптических резонаторов для твердотельных лазеров. Перспективы эффективного применения градиентных лазеров. Математические модели, демонстрирующие характер распределения мощности электромагнитного поля в лазерных кристаллах.

    курсовая работа, добавлен 16.07.2013

  • Преломляющий угол призмы. Угол наименьшего отклонения луча от первоначального направления. Оптическая сила составной линзы. Точечный источник с косинусным распределением силы света. Образование интерференционных полос. Сила света в направлении его оси.

    контрольная работа, добавлен 04.12.2010

  • Расчет газодинамических параметров. Визуализация распределения скорости в прямом тракте газовода. Основные показатели статического давления при заданной высоте канала. Асимметрия распределения давления. Число Нуссельта, Рейнольдса, Прандтля, Стантона.

    курсовая работа, добавлен 10.01.2015

  • Понятие электрического тока. Поведение потока электронов в разных средах. Принципы работы вакуумно-электронной лучевой трубки. Электрический ток в жидкостях, в металлах, полупроводниках. Понятие и виды проводимости. Явление электронно-дырочного перехода.

    презентация, добавлен 05.11.2014

  • Получение, применение функциональных пленок характеризуется ростом в отраслях промышленности и занимает ключевые позиции. Особенно это относится к электронной технике, где тонкие пленки являются элементами устройств крупносерийного производства.

    дипломная работа, добавлен 09.06.2008

  • Квантовые детекторы видимого и инфракрасного диапазонов, их характеристики и принципы работы. Технология изготовления SSPD детекторов с резонатором и без него. Устройство и принцип действия резонатора. Измерение спектральной чувствительности образцов.

    курсовая работа, добавлен 12.11.2012

  • Строение измерительной установки: наземная панель управления, кавернометр КМ-1. Таблица результатов градуировки каверномера. Подсчет начального диаметра и определение "нормального" тока графическим способом. Подсчет абсолютной и относительной погрешности.

    лабораторная работа, добавлен 26.11.2012

  • Определение мощности теплового потока при конвективной теплопередаче через трубу заданного диаметра. Расход пара на обогрев воды в пароводяном теплообменнике, превращение пара в конденсат. Изменение температуры теплоносителей вдоль поверхности нагрева.

    контрольная работа, добавлен 13.05.2015

  • Исследование распределения температуры в стенке и плотности теплового потока. Дифференциальное уравнение теплопроводности в цилиндрической системе координат. Определение максимальных тепловых потерь. Вычисление критического диаметра тепловой изоляции.

    презентация, добавлен 15.03.2014

  • Излученный и отраженный свет. Яркостная и цветовая информация. Спектральный состав источника света. Сущность эффекта метамерии. Особенности восприятия цвета человеком. Спектральная чувствительность типов колбочек. Восприятие сигналов внешнего мира.

    презентация, добавлен 12.02.2014

  • Назначение, перечень узлов и принцип работы оборудования бойлерной установки. Анализ и оценка эффективности работы бойлерной установки турбины. Проект реконструкции бойлерной установки Конструкция и преимущества пластинчатых теплообменных аппаратов.

    дипломная работа, добавлен 07.03.2009

  • Определение параметров ядерного реактора АЭС, теплообменивающихся сред в парогенераторе, цилиндров высокого и низкого давления турбоагрегатов. Компоновочные и конструктивные особенности главного конденсатора и расчет поверхности его теплопередачи.

    контрольная работа, добавлен 18.04.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.