Особенности электронной литографии при низких ускоряющих напряжениях
Представление об основах литографии. Установки изготовления образцов. Параметры коррекции распределения дозы, чувствительность резиста. Основы электронной литографии при низком ускоряющем напряжении. Оценка эффективного диаметра электронного луча.
Подобные документы
Сущность линзы, классификация ее выпуклой (собирающей) и вогнутой (рассеивающей) форм. Понятие фокуса линзы и фокусного расстояния. Особенности построения изображения в линзе в зависимости от пути луча после его преломления и местонахождения предмета.
презентация, добавлен 22.02.2012Движение электронов в вакууме в электрическом и магнитном полях, между плоскопараллельными электродами в однородном электрическом поле. Особенности движения в ускоряющем, тормозящем полях. Применение метода тормозящего поля для анализа энергии электронов.
курсовая работа, добавлен 28.12.2014Классический, полуклассический и квантово-механический принципы Франка-Кондона. Физическая природа распределения интенсивностей электронно-колебательных молекулярных спектров. Энергетические условия возможности безызлучательного электронного перехода.
реферат, добавлен 03.03.2014Основы ионного обмена в колонках. Обессоливание воды в установках с неподвижным слоем ионитов. Обезжелезивание как этап предварительной очистки воды, ее обескремнивание и умягчение. Принцип работы трехступенчатой ионитовой установки. Общая минерализация.
курсовая работа, добавлен 14.05.2015Короткое замыкание как нарушение нормальной работы электрической установки. Параметры элементов схемы замещения в именованных единицах. Расчет тока трехфазного КЗ. Оценка параметров элементов схемы замещения. Расчет значения ударного тока трехфазного.
курсовая работа, добавлен 09.02.2017Тепловая схема энергоблока. Параметры пара в отборах турбины. Построение процесса в hs-диаграмме. Сводная таблица параметров пара и воды. Составление основных тепловых балансов для узлов и аппаратов тепловой схемы. Расчет дэаэратора и сетевой установки.
курсовая работа, добавлен 17.09.2012Задача расчета режима как определение характерных параметров режима, необходимые исходные данные и основные этапы. Особенности метода расчета режима при заданном напряжении в конце и в начале линии электропередач, их отличия, интерпретация результатов.
презентация, добавлен 20.10.2013Светотехнический и электрический расчёты осветительной установки молочного блока. Повышение коэффициента мощности электрической сети осветительной установки. Энергосбережение и эксплуатация осветительной установки, меры защиты от поражения током.
курсовая работа, добавлен 16.09.2010Свет как один из важнейших параметров микроклимата. Принципы выбора схемы электроснабжения и напряжения осветительной установки. Особенности проверки проходимости ламп по световому потоку. Методы оценки экономической эффективности осветительной установки.
курсовая работа, добавлен 05.12.2010Электроприемники дробильно-сортировочной установки. Характеристика потребителей электроэнергии. Расчет освещения, электрических нагрузок. Выбор автоматической установки компенсации реактивной мощности, а также оборудования распределительных шкафов.
курсовая работа, добавлен 16.02.2013Способ измерения составляющих уравнения Пуассона, описывающих напряженность магнитного поля намагниченного ферромагнитного объекта в точке размещения чувствительного элемента индукционного компаса в зависимости от распределения токов в обмотках РУ.
статья, добавлен 23.09.2011Конструкция аргонового лазера и особенности его оптического резонатора, активная среда и функциональные особенности. Технологические операции по изготовлению лазера и его выходного зеркала, этапы и принципы их реализации, анализ и оценка эффективности.
курсовая работа, добавлен 16.05.2015Рассмотрение правил получения серии однослойных образцов металлов и их сплавов, напылённых на подложки с варьируемой толщиной слоя. Изучение влияние толщины напылённого слоя на соотношение характеристических полос испускания в рентгеновских спектрах.
дипломная работа, добавлен 20.07.2015Выбор источника водоснабжения, анализ показателей качества исходной воды. Расчет предочистки и декарбонизатора. Анализ расхода воды на собственные нужды. Методы коррекции котловой и питательной воды. Характеристика потоков конденсатов и схемы их очистки.
курсовая работа, добавлен 27.10.2011- 115. Оптическое стекло
Рассмотрение понятия астигматическая разность и формула её определения в практике изготовления стигматических линз из оптического бесцветного стекла. Характеристики материала, виды преломлений, параметры конструкций и методика контроля их качества.
реферат, добавлен 16.05.2011 - 116. Изопроцессы в физике
Изопроцессы как термодинамические процессы, в которых количество вещества и параметры состояния неизменны. Характеристика, графическое представление, формулы и физические законы, описывающие изобарный, изохорный, изотермический и адиабатический процессы.
презентация, добавлен 18.05.2011 Изучение микроструктуры гексаферритов стронция, морфологии зерен, характера распределения микродобавок, особенностей их химического и электронного состояния на поверхности кристаллитов спектральными и структурными методами анализа строения веществ.
контрольная работа, добавлен 13.06.2010Характерная особенность длинных линий - проявление интерференции двух волн, распространяющихся навстречу друг другу. Погонные параметры линии передачи. Телеграфные уравнения для многопроводной линии. Графическое представление конечно-разностной схемы.
курсовая работа, добавлен 11.12.2012- 119. Оценка эффективности инвестиционного проекта строительство парогазовой установки мощностью 410 МВт
Теоретические основы инвестиционного проектирования. Виды эффективности и критерии оценки эффективности инвестиционных проектов для ТЭС. Обзор использования парогазовых установок в энергетике. Влияние внедрения проекта на стоимостные показатели станции.
дипломная работа, добавлен 09.06.2011 Классификация диодов в зависимости от технологии изготовления: плоскостные, точечные, микросплавные, мезадиффузионные, эпитаксально-планарные. Виды диодов по функциональному назначению. Основные параметры, схемы включения и вольт-амперные характеристики.
курсовая работа, добавлен 22.01.2015Разработка структурной схемы электропитающей установки. Распределение нагрузок распределительной панели. Вычисление полупроводниковых преобразователей-выпрямителей ППВ-1. Функциональная схема и сметно-финансовый расчет электропитающей установки.
курсовая работа, добавлен 06.07.2014Параметры электродвигателей, предельная длительно допускаемая температура обмотки статора. Гидрозащита погружных электродвигателей, их маркировка. Устройства комплектные серии ШГС 5805. Определение глубины подвески c помощью кривых распределения.
презентация, добавлен 03.09.2015Ознакомление с основами движения электрона в однородном электрическом поле, ускоряющем, тормозящем, однородном поперечном, а также в магнитном поле. Анализ энергии электронов методом тормозящего поля. Рассмотрение основных опытов Дж. Франка и Г. Герца.
лекция, добавлен 19.10.2014Переписывание уравнений в терминах максимальной капли. Соотношения интегральных моментов функции распределения. Нахождение автомодельной функции распределения. Нормировка функции распределения. Предельный случай-распределение Лифшица-Слёзова.
курсовая работа, добавлен 24.07.2008Парамагнетизм и ферромагнетизм в системе коллективизированных электронов. Рассмотрение явления диамагнетизма электронного газа. Изучение влияния температуры на распределение Ферми-Дирака. Ознакомление со статистиками Бозе-Эйнштейна и Максвелла-Больцмана.
курсовая работа, добавлен 01.06.2014