Плазмохимическое травление

Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.

Подобные документы

  • Физика явлений, происходящих в газовых разрядах с непрерывным и импульсным подводом электрической энергии, как основа лазерных технологий. Виды, свойства и характеристики разрядов. Разряд униполярного пробоя газа, его вольт-амперные характеристики.

    дипломная работа, добавлен 25.02.2013

  • Особенности протекания импульсного тока в газах, жидкостях, твердых телах, металлических расплавах. Выводы и постановка задач исследований, методика проведения испытаний. Измерение импульсных напряжений с помощью делителей и катодных осциллографов.

    курсовая работа, добавлен 21.04.2012

  • Вольт-амперная характеристика газоразрядного промежутка в миллиамперном диапазоне. Алгоритм численного решения основного уравнения газоразрядного промежутка с плоскопараллельными металлическими электродами. Физический механизм нормально тлеющего разряда.

    контрольная работа, добавлен 28.11.2011

  • Типы волн и их отличительные особенности. Понятие и исследование параметров упругих волн: уравнения плоской и сферической волн, эффект Доплера. Сущность и характеристика стоячих волн. Явление и условия наложения волн. Описание звуковых и стоячих волн.

    презентация, добавлен 24.09.2013

  • Разработка конструкции имитатора и составных элементов, электрическая схема его питания и управления. Оборудование для СВЧ-диагностики и определения спектрально-энергетических, электротехнических и газодинамических характеристик одноканального имитатора.

    дипломная работа, добавлен 13.10.2013

  • История создания первых ядерных реакторов, их классификация по назначению и основные элементы. Особенности функционирования ректоров на медленных и быстрых нейтронах. Характеристика гомогенных и гетерогенных видов реакторов. Этапы преобразования энергии.

    презентация, добавлен 02.04.2014

  • Распространение солнечной энергии на Земле. Способы получения электричества из солнечного излучения. Освещение зданий с помощью световых колодцев. Получение энергии с помощью ветрогенераторов. Виды геотермальных источников энергии и способы ее получения.

    презентация, добавлен 18.12.2013

  • Научные теории происхождения электрического разряда над водной поверхностью. Сравнение жизненных циклов капли жидкого атомарного водорода и шаровой молнии для определения природы последней. Проблематика проведения исследований в лабораторных условиях.

    статья, добавлен 23.01.2010

  • Измерение израсходованной или выработанной энергии в сетях переменного тока. Устройство и принцип действия индукционного счетчика, основные узлы. Классификация и технические характеристики однофазных и трехфазных счетчиков, требования к установке.

    реферат, добавлен 08.06.2011

  • Использование ветрогенераторов, солнечных батарей и коллекторов, биогазовых реакторов для получения альтернативной энергии. Классификация видов нетрадиционных источников энергии: ветряные, геотермальные, солнечные, гидроэнергетические и биотопливные.

    реферат, добавлен 31.07.2012

  • Исследование физической природы газоразрядных источников света. Особенности газоразрядных индикаторных панелей. Анализ конструкции плоской плазменной панели. Приборы плазменной газоразрядной электроники. Газовый разряд в ионно-плазменной технологии.

    контрольная работа, добавлен 25.03.2016

  • Изучение основных форм самостоятельного разряда в газе, влияние на электрическую прочность и электрическое поле разрядного промежутка основных свойств газа и геометрических характеристик. Использование данных закономерностей в электроэнергетике.

    лабораторная работа, добавлен 22.04.2014

  • Сущность и основные этапы реализации монтажа комплектных устройств. Понятие и функциональные особенности электрического предохранителя и разрядника. Принцип действия реакторов и конденсаторов, их устройство и назначение. Типы и функции изоляторов.

    доклад, добавлен 27.10.2015

  • Принцип действия расходомеров, их внешний вид. Явление электромагнитной индукции. Структурная схема электромагнитного преобразователя индукционного расходомера. Принцип работы счетчика жидкости с овальными шестернями. Коммерческая модель вольтметра.

    курсовая работа, добавлен 04.04.2013

  • Исследование возможностей плазменной визуализации различных типов дефектов для проводов и промышленных кабелей. Анализ методов дефектоскопии, основанных на электромагнитных явлениях. Адаптация комплекса оборудования для обнаружения механических дефектов.

    дипломная работа, добавлен 08.07.2014

  • Принцип действия магнитноразрядного измерителя плотности, механизм возникновения самостоятельного разряда. Разработка модернизированной математической модели моделирования аэродинамического взаимодействия набегающего потока с заданными параметрами.

    дипломная работа, добавлен 03.02.2012

  • Анализ основных форм самостоятельного разряда в газе. Исследование влияния относительной плотности воздуха на электрическую прочность разрядного промежутка. Определение значения расстояния между электродами, радиуса их кривизны для электрического поля.

    лабораторная работа, добавлен 07.02.2015

  • Электрический пробой газов и диэлектриков. Вольт-секундные характеристики изоляции. Разработка импульсного генератора высоких напряжений. Моделирование и построение математической модели, позволяющей проводить расчет электрического разряда в жидкости.

    дипломная работа, добавлен 26.11.2011

  • Описание травления полосовой стали в непрерывных травильных агрегатах. Расчет и выбор элементов силовой части тиристорного преобразователя и электропривода. Структурная схема внутреннего токового контура. Моделирование динамических характеристик скорости.

    дипломная работа, добавлен 01.04.2013

  • Коронный разряд, электрическая корона, разновидность тлеющего разряда; возникает при резко выраженной неоднородности электрического поля вблизи одного или обоих электродов. Подобные поля формируются у электродов с очень большой кривизной поверхности.

    лекция, добавлен 21.12.2004

  • Изучение наночастиц core-shell типа, созданных в макромолекулах жидкокристаллического дендримера поли (пропилен имина) второй генерации. Исследование динамики кристаллической решетки наночастиц методом ядерного гамма резонанса. Модель Дебая твердого тела.

    курсовая работа, добавлен 21.06.2014

  • Основные предпосылки быстрого роста ядерной энергетики. Устройство энергетических ядерных реакторов. Требования к конструкциям активной зоны и ее характеристики. Основные требования к безопасности атомных станций с реакторами ВВЭР нового поколения.

    курсовая работа, добавлен 14.11.2019

  • Газовый разряд как электрический ток в газе. Переход тлеющего разряда в дуговой с ростом давления газа при меньшем напряжении и более высоких значениях тока. Теория формирования стимера. Кривые Пашена по теории электронных лавин и по теории стимеров.

    реферат, добавлен 30.11.2011

  • Тлеющий газовый разряд как один из видов стационарного самостоятельного электрического разряда в газах. Применение его как источника света в неоновых лампах, газосветных трубках и плазменных экранах. Создание квантовых источника света, газовых лазеров.

    презентация, добавлен 13.01.2015

  • Сварочные генераторы для ручной дуговой и автоматизированной сварки. Принципиальная схема коллекторного сварочного генератора. Зависимость средней скорости нарастания тока короткого замыкания генератора ГСО-300А от изменения параметров цепей якоря.

    реферат, добавлен 24.12.2010

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.