Плазмохимическое травление
Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.
Подобные документы
Построение графика скорости центра масс фотона. Методы получения волнового уравнения Луи Де Бройля: выведение процесса описания движения центра масс фотона за рамки аксиомы. Основные математические модели, которые описывают главные характеристики фотона.
контрольная работа, добавлен 13.10.2010Электрический разряд в газах. Ионизация газов. Механизм электропроводности газов. Несамостоятельный газовый разряд. Самостоятельный газовый разряд. Различные типы самостоятельного разряда и их техническое применение.
реферат, добавлен 17.05.2006Осаждение пленочных покрытий сложного химического состава (оксидов, нитридов, металлов). Проблема магнетронного осаждения. Исследование влияние нестабильности мощности и давления магнетронного разряда на процесс осаждения пленок, результаты экспериментов.
диссертация, добавлен 19.05.2013Структурная схема емкостного уровнемера. Данные наблюдений и расчетов. Определение уровня жидкости аналоговым емкостным измерителем. Определение чувствительности измерителя к изменению уровня жидкости. Оценка погрешностей измерения уровня жидкости.
лабораторная работа, добавлен 28.02.2012Создание комплекса для сертификации оборудования на базе приборов Rodhe&Sohwarz и "Прорыв", методика его сертификации на устойчивость к электромагнитным помехам. Оценка влияния электромагнитного поля, электростатического разряда и кондуктивных помех.
дипломная работа, добавлен 14.02.2012Определение наличия и направления магнитного поля метки. Создание постоянного магнитного поля, компенсирующего действие постоянных внешних магнитных полей. Принципиальная схема зарядно-разрядного узла устройства. Определение разряда накопительной емкости.
лабораторная работа, добавлен 18.06.2015Гидростатическое давление в сосуде. Определение траектории движения тела и направления ускорения. Зависимость давления идеального газа от температуры. Зависимость проекции скорости материальной точки от времени. Изобарное охлаждение постоянной массы газа.
задача, добавлен 04.10.2011Особенности вынужденных колебаний. Явление резонанса, создание неразрушающихся конструкций. Использование колебаний в строительстве, технике, для сортировки сыпучих материалов. Вредные действия колебаний. Качка корабля и успокоители; антирезонанс.
курсовая работа, добавлен 21.03.2016- 84. Определение эффективности действия ударника по преграде и его рациональных конструктивных параметров
Определение рациональных конструктивных параметров кумулятивного снаряда. Расчет изменения скорости схлопывания кумулятивной облицовки, изменения угла схлопывания, скорости элементов кумулятивной струи, изменения диаметра и глубины отверстия в преграде.
контрольная работа, добавлен 04.09.2010 Состав газоразрядной плазмы. Восстановление плазмой нейтральности. Энергетический спектр тяжелых частиц (атомов и молекул). Столкновения частиц в плазме. Диффузия и амбиполярная диффузия в плазме. Механизмы эмиссии электронов из катода в газовом разряде.
контрольная работа, добавлен 25.03.2016Квантовая механика как абстрактная математическая теория, выражающая процессы с помощью операторов физических величин. Магнитный момент и ядерный спин, их свойства и уравнение. Условия термодинамического равновесия и применение резонансного эффекта.
реферат, добавлен 27.08.2009Работа идеального газа. Определение внутренней энергии системы тел. Работа газа при изопроцессах. Первое начало термодинамики. Зависимость внутренней энергии газа от температуры и объема. Основные способы ее изменения. Сущность адиабатического процесса.
презентация, добавлен 23.10.2013Возбуждение ядер в магнитном поле. Условие магнитного резонанса и процессы релаксации ядер. Спин-спиновое взаимодействие частиц в молекуле. Схема устройства ЯМР-спектрометра. Применение спектроскопии ЯМР 1H и 13CРазличные методы развязки протонов.
реферат, добавлен 23.10.2012Технология получения экспериментальной и расчетной зависимостей гидравлического сопротивления слоя, его высоты и порозности от скорости газа в данной установке, проверка основного уравнения взвешенного слоя. Определение фиктивной скорости воздуха.
лабораторная работа, добавлен 27.05.2010Преобразование исходной системы уравнений к расчётной форме. Зависимость длины волны от скорости распространения. Механизмы возникновения волн на свободной поверхности жидкости. Зависимость между групповой скоростью волн и скоростью их распространения.
курсовая работа, добавлен 23.01.2009Исследование асинхронного трехфазного двигателя с фазным ротором. Схема последовательного и параллельного соединения элементов для исследования резонанса напряжений. Резонанс напряжений, токов. Зависимость тока от емкости при резонансе напряжений.
лабораторная работа, добавлен 19.05.2011Устройство и параметры оптических квантовых генераторов. Устойчивые и неустойчивые резонаторы. Основные типы лазеров, способы накачки. Зеркала оптического резонатора. Определение потерь и оптимального коэффициента пропускания выходного зеркала.
дипломная работа, добавлен 09.10.2013Физические основы ядерной энергетики. Основы теории ядерных реакторов - принцип вырабатывания электроэнергии. Конструктивные схемы реакторов. Конструкции оборудования атомной электростанции (АЭС). Вопросы техники безопасности на АЭС. Передвижные АЭС.
реферат, добавлен 16.04.2008Основные понятия в нанотехологиях. Методы получения наночастиц. Процесс получения водного раствор наночастиц меди в СВЧ электромагнитном поле. Согласование рабочих камер. Анализ измерений диэлектрических параметров. Микроволновый нагреватель жидких сред.
дипломная работа, добавлен 26.07.2015- 95. Ячеечная модель
Модель потока с продольным перемешиванием. Определение числа реакторов аппроксимирующего каскада. Использование ячеечной модели. Ламинарный поток, осложненный диффузией. Тепловые балансы проточных реакторов для гомофазных процессов. Решение уравнения.
презентация, добавлен 17.03.2014 Изменение свободной энергии, энтропии, плотности и других физических свойств вещества. Плазма - частично или полностью ионизированный газ. Свойства плазмы: степень ионизации, плотность, квазинейтральность. Получение и использование плазмы.
доклад, добавлен 28.11.2006Работы, проводимые с помощью устройств УПЗ-1 и УПЗ-2. Проверка защит по переменному напряжению до 10 А. Измерение временных параметров реле (простых защит). Испытания электромагнитных реле переменного тока и напряжения. Конструкция индукционного реле.
дипломная работа, добавлен 25.05.2014Определение скорости, нормального, касательного и полного ускорения заданной точки механизма в определенный момент времени. Расчет параметров вращения вертикального вала. Рассмотрение заданной механической системы и расчет скорости ее основных элементов.
контрольная работа, добавлен 13.03.2014Исследование и описание метода магнитно-резонансной томографии (МРТ). Устройство МР томографа. Физические основы явления ядерного магнитного резонанса. Диаграммы энергетических уровней. Статистика Больцмана. Спиновые пакеты. Импульсные магнитные поля.
реферат, добавлен 11.03.2011Уравнения для поперечных компонент смещения плазмы, минимизация функционал Крускала-Обермана потенциальной энергии МГД-возмущения. Невозмущенное состояние, потенциальная энергия возмущения. Преобразование кинетического слагаемого, условие устойчивости.
реферат, добавлен 22.07.2011