Плазмохимическое травление
Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.
Подобные документы
Модернизация электропривода механизма вылета стрелы с импульсным параметрическим регулированием угловой скорости. Синтез и анализ замкнутых систем автоматизированного управления. Возможные способы регулирования скорости асинхронного электропривода.
курсовая работа, добавлен 03.12.2013Принцип работы машины постоянного тока. Статистические характеристики и режимы работы двигателя независимого возбуждения. Способы регулирования скорости двигателя. Расчет параметров электрической машины. Структурная схема замещения силовой цепи.
курсовая работа, добавлен 13.01.2011Способ измерения составляющих уравнения Пуассона, описывающих напряженность магнитного поля намагниченного ферромагнитного объекта в точке размещения чувствительного элемента индукционного компаса в зависимости от распределения токов в обмотках РУ.
статья, добавлен 23.09.2011Биологическое влияние электрических и магнитных полей на организм людей и животных. Суть явления электронного парамагнитного резонанса. Исследования с помощью ЭПР металлсодержащих белков. Метод ядерного магнитного резонанса. Применение ЯМР в медицине.
реферат, добавлен 29.04.2013Электродинамические параметры плазмы как материальной среды, в которой распространение электромагнитных волн сопровождается частотной дисперсией. Характеристика взаимодействия частиц плазмы между собой кулоновскими силами притяжения и отталкивания.
курсовая работа, добавлен 28.10.2011Изотермический, адиабатический и политропический тепловые режимы. Эффективность целевой реакции. Материальный баланс идеальных гомогенных реакторов. Периодический идеальный реактор, характеристическое уравнение. Материальный баланс непрерывного реактора.
презентация, добавлен 17.03.2014Изучение понятия неоднородности плазмы. Определение напряженности поля, необходимой для поддержания стационарной плазмы. Кинетика распыления активных частиц ионной бомбардировкой. Взаимодействие ионов с поверхностью. Гетерогенные химические реакции.
презентация, добавлен 02.10.2013Физические процессы, происходящие в зоне плазменного фокуса. Описание устройства плазмофокусной установки на примере устройства КПФ-4 "Феникс". Разрядное устройство мейзеровского типа. Измерение импульсного тока: пояс Роговского с RC–интегратором.
курсовая работа, добавлен 25.05.2015Изучение процесса изменения скорости поезда при переключении ступеней регулирования. Сравнение тяговых электродвигателей различных систем возбуждения, оценка их электрической и динамической устойчивости. Распределение нагрузок между двигателями.
презентация, добавлен 14.08.2013Роль эффекта "накопления" в непрозрачном твердом теле под действием излучения лазера, с помощью регистрации ионизационного состава плазмы, эмитированных с поверхности твердых тел при многократном облучении. Использование метода масс-спектрометрии.
статья, добавлен 22.06.2015Комплексные сенсорные системы типа "электронный язык", их функциональные возможности. Структура емкостного тонкопленочного сенсора, функционализированного углеродными нанотрубками. Операция очистки ситаловых пластин. Суть фотолитографического процесса.
дипломная работа, добавлен 18.05.2016Основные закономерности сенсибилизированной фосфоресценции в твёрдых растворах органических соединений. Растворители и соединения. Зависимость константы скорости излучательного перехода триплетных молекул акцептора от концентрации смеси.
курсовая работа, добавлен 07.04.2007Физические основы диагностики плазмы. Методы излучения, поглощения и рассеяния для определения плотностей частиц в дискретных энергетических состояниях. Лазерный резонатор, спектроскопия поглощения с частотно-перестраиваемыми и широкополосными лазерами.
реферат, добавлен 22.12.2011Внутренняя структура протона. Закономерность структурогенеза протона. Энергия вакуума и протона. Эффект Лэмба-Ризерфорда и Казимира. Современные способы получения энергии. Основной этап и схема энергопреобразований в новом способе получения энергии.
доклад, добавлен 20.01.2011Обоснование и выбор параметров газотурбинной энергетической установки. Расчёт на номинальной мощности и частичных нагрузках. Зависимость работы от степени повышения давления. Зависимость относительных расходов топлива установки от относительной мощности.
контрольная работа, добавлен 25.11.2013Продольное удержание плазмы в Газодинамической ловушке, поперечные потери, удержание быстрых ионов и микронеустойчивости. Диагностики: двухсеточный зонд, пироэлектрический болометр, 45 анализатор энергий ионов. Результаты измерений и их интерпретация.
дипломная работа, добавлен 19.02.2013- 117. Ядерная энергетика
История развития атомной энергетики. Особенности ядерного реактора как источника теплоты, физическое обоснование происходящих при этом процессов. Устройство и принцип работы энергетических ядерных реакторов. Ядерная энергия, ее преимущества и недостатки.
реферат, добавлен 09.12.2010 Принцип работы и устройство асинхронного двигателя. Способ измерения электромагнитного момента асинхронного двигателя. Регулирование частоты вращения асинхронных двигателей. Изменение скольжения, числа пар полюсов, частоты источника питания двигателя.
реферат, добавлен 16.05.2016Динамическое конструирование конкурентоспособной электрогидравлической системы дроссельного регулирования скорости. Выделение области устойчивости замкнутой системы в плоскости параметров. Нахождение характеристического уравнения замкнутой системы.
курсовая работа, добавлен 21.02.2013- 120. Ядерный реактор
Типы, устройство и принцип действия ядерных реакторов – устройств, предназначенных для осуществления управляемой ядерной реакции. Обоснование необходимости использования ядерной энергии в мирных целях. Преимущества АЭС над другими видами электростанций.
презентация, добавлен 04.05.2011 Трансформатор - электромагнитное устройство для передачи посредством магнитного поля электрической энергии. Зависимость напряжения от нагрузки. Устройство автотрансформатора, трансформаторы для измерения тока и напряжения. Заземление вторичных обмоток.
презентация, добавлен 14.12.2011Рассмотрение основных особенностей изменения поверхности зонда в химически активных газах. Знакомство с процессами образования и гибели активных частиц плазмы. Анализ кинетического уравнения Больцмана. Общая характеристика гетерогенной рекомбинации.
презентация, добавлен 02.10.2013Составление альбома главных принципиальных технологических схем АЭС и ее вспомогательных систем. Устройство, состав оборудования и элементы двух типов атомных реакторов: ВВЭР-1000 и РБМК-1000. Характеристика технологического режима работы системы.
методичка, добавлен 10.09.2013Схема преобразователя частоты и выбор элементов его защиты. Расчёт параметров выпрямителя, его силовой части и параметров силового трансформатора. Анализ функционирования систем управления управляемым выпрямителем и автономным инвертором напряжения.
курсовая работа, добавлен 29.06.2011- 125. Основы кинематики
Кинематика точки. Способы задания движения. Определение понятия скорости точки и методы ее нахождения. Выявление ее значения при естественном способе задания равномерного движения. Способ графического представления скорости в декартовой системе координат.
презентация, добавлен 24.10.2013