Понятие и операции фотолитографии

Литография - технологический метод, предназначенный для формирования на подложке топологического рисунка микросхемы с помощью чувствительных к излучению покрытий. Задачи и операции фотолитографии. Сушка проявленного слоя, удаление с подложки фоторезиста.

Подобные документы

  • Сведения о формировании покрытий резистивным способом. Электрофизические и оптические свойства тонких плёнок. Технические особенности работы вакуумного универсального поста. Технологические параметры металлических покрытий при резистивном испарении.

    контрольная работа, добавлен 19.09.2016

  • Исследование процесса зарядки и распыления краски. Описание основных конструкций электроокрасочных распылителей. Нанесение порошковых покрытий. Зависимость тока и плотности потока, осаждающихся на изделие частиц наносимого порошка от времени напыления.

    реферат, добавлен 22.07.2013

  • Методика получения наноуглеродных структур. Анализ результатов экспериментальных исследований влияния добавок наноструктур графита на коэффициент отражения и поляризационные характеристики терморегулирующих покрытий класса "истинные поглотители".

    статья, добавлен 30.11.2018

  • Определение величины коэффициента теплопроводности энергосберегающей краски в зависимости от ее состава и температуры. Анализ эффективности применения энергосберегающих тонкопленочных покрытий в целях снижения потерь тепловой энергии трубопроводами.

    статья, добавлен 02.12.2018

  • Описание свойств пограничной поверхности межфазного переходного слоя. Определение поверхностной энергии пограничного поверхностного слоя, а также поверхностного и пограничного натяжения его конденсированной фазы. Расчет величины поверхностной энергии.

    статья, добавлен 29.05.2017

  • Понятие и характеристика ферромагнетиков. Физическая природа естественной магнитной анизотропии. Определение магнитострикции в зависимости от амплитуды напряженности магнитного поля. Метод измерений и порядок проведения работы, описание установки.

    лабораторная работа, добавлен 15.12.2009

  • Изучение результатов исследования процессов, которые происходят с красным селенокадмиевым пигментом, при обжиге его с фтористыми и безфтористыми эмалевыми покрытиями. С помощью оптико-цветового оборудования анализ факторов поведения пигмента в эмалях.

    статья, добавлен 27.07.2016

  • Метод исследования динамических процессов в спортивной веревке с помощью видеонаблюдения. Получение временных диаграмм падения груза с высоты 3м. Определение коэффициентов трения и упругости на введенных временных интервалах динамического процесса.

    статья, добавлен 29.04.2019

  • Понятие и физические принципы работы интегральных микросхем, их классификация по различным признакам и типы, сферы практического применения. Отличительные особенности и функции логических и аналоговых интегральных микросхем, их технические параметры.

    контрольная работа, добавлен 29.06.2015

  • Расчет плотности теплового потока через стенку, состоящую из слоя алюминия и никеля, определение температуры поверхностей соприкосновения. Расчет высоты водяного столба, соответствующего давлению 1 кг/м2 с помощью формулы для гидростатического давления.

    задача, добавлен 17.02.2014

  • Нанесение композиционных покрытий, в частности никель-фосфорных, на детали машин и механизмов, методом химического осаждения - как один из эффективных способов повышения их триботехнических характеристик, защитных свойств и износостойкости материала.

    статья, добавлен 30.05.2017

  • Особенности рабочего процесса Т-плазматрона. Вольт-амперные характеристики. Поток аргоновой плазмы, отклоняемый поперечным потоком технологического газа. Спецификация деталей А-плазматрона. Плазмохимическое травление фоторезиста на кремниевой пластине.

    статья, добавлен 09.06.2014

  • Основные методы изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов: механический метод нагревания и растягивания, методы химического травления, метод формирования нанослепка. Формирования плоскости апертуры выходного отверстия острия оптоволоконного зонда.

    статья, добавлен 29.01.2019

  • Физические методы получения покрытий в вакууме. Процесс конденсации с ионной бомбардировкой. Получение субмикрокристаллических плёночных систем на основе соединений титана с азотом, исследование атомно-кристаллической структуры и микротвердости плёнок.

    автореферат, добавлен 31.03.2018

  • Исследование теплопроводности и термического сопротивления образцов плазмонапыленных термобарьерных покрытий в условиях циклической тепловой нагрузки. Снижение термических напряжений стенок деталей за счет нанесения на них покрытия переменной толщины.

    автореферат, добавлен 28.03.2018

  • Алгоритм определения минимальной скорости псевдоожижения многокомпонентного слоя как в "холодном", так и в "горячем" состоянии. Практическое исследование метода идентификации прекращения ожижения, вызванного изменением гранулометрического состава слоя.

    автореферат, добавлен 01.05.2018

  • Рассмотрение контура L произвольной формы, лежащей в плоскости, перпендикулярной к бесконечному линейному току I и решение задачи. Концентрические окружности в плоскости рисунка, направленные по часовой стрелке как линии напряженности магнитного поля.

    задача, добавлен 14.03.2014

  • Принципы работы транзисторов с изолированным затвором, их сечение, условные обозначения, преимущества, вольт-амперные характеристики. Простейшая модель n-МОП-транзистора и КМОП инвертора, их топология и базовые операции технологического маршрута создания.

    презентация, добавлен 07.07.2015

  • Теория тепло- и массообмена как один из важнейших разделов технической физики. Понятия, определения и расчеты по тепломассообмену, теплопроводности, теплоотдаче, тепловому излучению. Классификация и гидродинамический расчет теплообменных аппаратов.

    учебное пособие, добавлен 06.05.2014

  • Термодинамика – наука о наиболее общих свойствах макроскопических систем, находящихся в разновесном состоянии, и закономерностях преобразования различных форм энергии. Рассмотрение задач по конвекции и излучению. Изучение механизма переноса теплоты.

    презентация, добавлен 04.08.2014

  • Определение закономерностей изменения напряженного состояния в результате воздействия внешних факторов в процессе эксплуатации отделочных покрытий. Значения термических коэффициентов линейного расширения. Сезонные колебания температурных напряжений.

    статья, добавлен 24.11.2016

  • Перемещение твердых частиц относительно друг друга за счет подвода энергии воздействием ожижающих агентов (газ, капельные жидкости) или вибрации. Получение псевдоожиженного слоя. Аналитический аппарат псевдоожижения. Схема экспериментальной установки.

    лекция, добавлен 12.12.2013

  • Рассмотрение горизонтального бесконечного слоя жидкости, подогреваемого снизу под действием асимметричных модуляций гравитации, вызванных колебаниями слоя в направлении, перпендикулярном слою. Анализ режимов, возникающих после потери равновесия.

    статья, добавлен 26.04.2019

  • Установление послойного элементного состава структур покрытие / подложка, формируемых на кремнии и графите ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. Развитие физической модели изменения структуры и смачиваемости поверхности.

    автореферат, добавлен 19.08.2018

  • Процесс проектирования системы линейного предсказания, описание нелинейного характера операции квантования. Сущность и предназначение кодирования изображений в системе с предсказанием. Особенности определения весовых коэффициентов предсказателя.

    реферат, добавлен 29.11.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.