Понятие и операции фотолитографии
Литография - технологический метод, предназначенный для формирования на подложке топологического рисунка микросхемы с помощью чувствительных к излучению покрытий. Задачи и операции фотолитографии. Сушка проявленного слоя, удаление с подложки фоторезиста.
Подобные документы
Сведения о формировании покрытий резистивным способом. Электрофизические и оптические свойства тонких плёнок. Технические особенности работы вакуумного универсального поста. Технологические параметры металлических покрытий при резистивном испарении.
контрольная работа, добавлен 19.09.2016Исследование процесса зарядки и распыления краски. Описание основных конструкций электроокрасочных распылителей. Нанесение порошковых покрытий. Зависимость тока и плотности потока, осаждающихся на изделие частиц наносимого порошка от времени напыления.
реферат, добавлен 22.07.2013Методика получения наноуглеродных структур. Анализ результатов экспериментальных исследований влияния добавок наноструктур графита на коэффициент отражения и поляризационные характеристики терморегулирующих покрытий класса "истинные поглотители".
статья, добавлен 30.11.2018Определение величины коэффициента теплопроводности энергосберегающей краски в зависимости от ее состава и температуры. Анализ эффективности применения энергосберегающих тонкопленочных покрытий в целях снижения потерь тепловой энергии трубопроводами.
статья, добавлен 02.12.2018Описание свойств пограничной поверхности межфазного переходного слоя. Определение поверхностной энергии пограничного поверхностного слоя, а также поверхностного и пограничного натяжения его конденсированной фазы. Расчет величины поверхностной энергии.
статья, добавлен 29.05.2017Понятие и характеристика ферромагнетиков. Физическая природа естественной магнитной анизотропии. Определение магнитострикции в зависимости от амплитуды напряженности магнитного поля. Метод измерений и порядок проведения работы, описание установки.
лабораторная работа, добавлен 15.12.2009Изучение результатов исследования процессов, которые происходят с красным селенокадмиевым пигментом, при обжиге его с фтористыми и безфтористыми эмалевыми покрытиями. С помощью оптико-цветового оборудования анализ факторов поведения пигмента в эмалях.
статья, добавлен 27.07.2016Метод исследования динамических процессов в спортивной веревке с помощью видеонаблюдения. Получение временных диаграмм падения груза с высоты 3м. Определение коэффициентов трения и упругости на введенных временных интервалах динамического процесса.
статья, добавлен 29.04.2019Понятие и физические принципы работы интегральных микросхем, их классификация по различным признакам и типы, сферы практического применения. Отличительные особенности и функции логических и аналоговых интегральных микросхем, их технические параметры.
контрольная работа, добавлен 29.06.2015Расчет плотности теплового потока через стенку, состоящую из слоя алюминия и никеля, определение температуры поверхностей соприкосновения. Расчет высоты водяного столба, соответствующего давлению 1 кг/м2 с помощью формулы для гидростатического давления.
задача, добавлен 17.02.2014Нанесение композиционных покрытий, в частности никель-фосфорных, на детали машин и механизмов, методом химического осаждения - как один из эффективных способов повышения их триботехнических характеристик, защитных свойств и износостойкости материала.
статья, добавлен 30.05.2017Особенности рабочего процесса Т-плазматрона. Вольт-амперные характеристики. Поток аргоновой плазмы, отклоняемый поперечным потоком технологического газа. Спецификация деталей А-плазматрона. Плазмохимическое травление фоторезиста на кремниевой пластине.
статья, добавлен 09.06.2014Основные методы изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов: механический метод нагревания и растягивания, методы химического травления, метод формирования нанослепка. Формирования плоскости апертуры выходного отверстия острия оптоволоконного зонда.
статья, добавлен 29.01.2019- 64. Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана
Физические методы получения покрытий в вакууме. Процесс конденсации с ионной бомбардировкой. Получение субмикрокристаллических плёночных систем на основе соединений титана с азотом, исследование атомно-кристаллической структуры и микротвердости плёнок.
автореферат, добавлен 31.03.2018 Исследование теплопроводности и термического сопротивления образцов плазмонапыленных термобарьерных покрытий в условиях циклической тепловой нагрузки. Снижение термических напряжений стенок деталей за счет нанесения на них покрытия переменной толщины.
автореферат, добавлен 28.03.2018Алгоритм определения минимальной скорости псевдоожижения многокомпонентного слоя как в "холодном", так и в "горячем" состоянии. Практическое исследование метода идентификации прекращения ожижения, вызванного изменением гранулометрического состава слоя.
автореферат, добавлен 01.05.2018Рассмотрение контура L произвольной формы, лежащей в плоскости, перпендикулярной к бесконечному линейному току I и решение задачи. Концентрические окружности в плоскости рисунка, направленные по часовой стрелке как линии напряженности магнитного поля.
задача, добавлен 14.03.2014Принципы работы транзисторов с изолированным затвором, их сечение, условные обозначения, преимущества, вольт-амперные характеристики. Простейшая модель n-МОП-транзистора и КМОП инвертора, их топология и базовые операции технологического маршрута создания.
презентация, добавлен 07.07.2015- 69. Тепломассообмен
Теория тепло- и массообмена как один из важнейших разделов технической физики. Понятия, определения и расчеты по тепломассообмену, теплопроводности, теплоотдаче, тепловому излучению. Классификация и гидродинамический расчет теплообменных аппаратов.
учебное пособие, добавлен 06.05.2014 Термодинамика – наука о наиболее общих свойствах макроскопических систем, находящихся в разновесном состоянии, и закономерностях преобразования различных форм энергии. Рассмотрение задач по конвекции и излучению. Изучение механизма переноса теплоты.
презентация, добавлен 04.08.2014Определение закономерностей изменения напряженного состояния в результате воздействия внешних факторов в процессе эксплуатации отделочных покрытий. Значения термических коэффициентов линейного расширения. Сезонные колебания температурных напряжений.
статья, добавлен 24.11.2016Перемещение твердых частиц относительно друг друга за счет подвода энергии воздействием ожижающих агентов (газ, капельные жидкости) или вибрации. Получение псевдоожиженного слоя. Аналитический аппарат псевдоожижения. Схема экспериментальной установки.
лекция, добавлен 12.12.2013Рассмотрение горизонтального бесконечного слоя жидкости, подогреваемого снизу под действием асимметричных модуляций гравитации, вызванных колебаниями слоя в направлении, перпендикулярном слою. Анализ режимов, возникающих после потери равновесия.
статья, добавлен 26.04.2019Установление послойного элементного состава структур покрытие / подложка, формируемых на кремнии и графите ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. Развитие физической модели изменения структуры и смачиваемости поверхности.
автореферат, добавлен 19.08.2018Процесс проектирования системы линейного предсказания, описание нелинейного характера операции квантования. Сущность и предназначение кодирования изображений в системе с предсказанием. Особенности определения весовых коэффициентов предсказателя.
реферат, добавлен 29.11.2015