Понятие и операции фотолитографии
Литография - технологический метод, предназначенный для формирования на подложке топологического рисунка микросхемы с помощью чувствительных к излучению покрытий. Задачи и операции фотолитографии. Сушка проявленного слоя, удаление с подложки фоторезиста.
Подобные документы
Система взаимодействующих материальных точек. Механическое взаимодействие тел. Нагрузка и реакции связи. Прямая задача статики. Формальные математические операции с векторами сил. Проекция и составляющая силы. Матричное вычисление векторного произведения.
лекция, добавлен 15.03.2015Метод анализа водорода в конструкционных материалах реакторов. Расшифровка энергетических спектров электронов, отраженных от данного образца. Анализ слоев аморфного гидрогенизированного углерода, нанесенных на поверхность монокристаллического кремния.
статья, добавлен 02.11.2018Рассмотрение решения задачи образования тонкого слоя водного льда в герметичной вакуумируемой полости относительно времени намораживания. Построение и применение математической модели процесса вакуумного замораживания жидкости в спокойном состоянии.
статья, добавлен 21.09.2016Вывод конкретных измерительных структур и их оптимизации. Эквивалентное измеряемому процессу напряжение. Выполнения операции нормализации измеряемого сигнала. Проведения аналого-цифрового преобразования. Наличие аналогового коммутатора (мультиплексора).
реферат, добавлен 01.08.2009Характеристика комплектных трансформаторных подстанций КТП как основного звена энергоснабжения и снятия напряжения при передаче тока на бытовые сети из высоковольтных линий. Наиболее распространённые типы трансформаторных подстанций и операции их монтажа.
контрольная работа, добавлен 25.04.2014Сопротивление разрушению модифицированных ионами азота хромистых сталей. Устойчивость процесса усталостного разрушения конструкционных материалов. Обзор поверхностных свойств и предела выносливости металла. Зависимость предела текучести от глубины слоя.
статья, добавлен 27.10.2018Экономический смысл параметров и расчетных моделей метода теплоснабжения Regulatory Asset Base (RAB). Базовые принципы, лежащие в основе метода RAB. Неточности формул в методе RAB. Характеристика значимости и экономической эффективности метода RAB.
статья, добавлен 16.02.2017Распределение энергии между приемниками. Управление работой источников. Коммутационные операции через перемещения контакт-деталей относительно друг друга. Назначение промежуточных реле и требования к ним. Классификация опор воздушных линий, рубильники.
реферат, добавлен 17.06.2017Особенность использования методики численного моделирования взаимодействия электромагнитного излучения с неоднородным слоем магнитодиэлектрика. Характеристика применения дифференциального уравнения для коэффициента отражения волны от усеченного слоя.
статья, добавлен 04.11.2018Понятие и характеристики отопления, его виды. Основные конструктивные элементы системы отопления. Классификация систем отопления, их история и эволюция. Техническое решение задачи получения сверхточных отливок сложной конфигурации с помощью АРИЗа-85.
курсовая работа, добавлен 02.02.2015Создание оптических усилителей и лазеров на активных волокнах, то есть волокнах, легированных редкоземельными элементами. Технологические операции по изготовлению кольцевого волоконного лазера и оптического коннектора. Преобразование лазерной энергии.
курсовая работа, добавлен 25.12.2014Рассмотрение ценности древесины как сырья и областей применения. Способность древесины пропускать, поглощать и отражать инфракрасные лучи. Использование светового, ультрафиолетового, рентгеновского и ионизирующего излучения для определения качества сырья.
контрольная работа, добавлен 15.02.2015Анализ современного состояния микроволновых методов контроля электрофизических параметров и их неоднородностей магнитодиэлектрических и диэлектрических материалов и покрытий металлов. Исследование способа интроскопии поверхностной медленной волной.
автореферат, добавлен 25.07.2018Метод наименьших квадратов. Механизмы моделирования многомерных данных: сложные физико-химические и формально-математические модели, анализ полученных результатов. Содержательная составляющая задачи. Метод главных компонент, этапы обработки данных.
презентация, добавлен 08.02.2013Понятие дифракции света, отличие дифракция Френеля от дифракции Фраунгофера. Объяснение дифракции с помощью принципа Гюйгенса. Дифракция на дифракционной решетке, условия определения числа дифракционных спектров. Метод измерения длины волны света.
лабораторная работа, добавлен 17.11.2014Представлен аналитический метод, для реализации которого требуются данные измерений солнечной радиации (интенсивности или потока) отраженной и пропущенной облачным слоем. Характеристика поля радиации внутри слоя и значений солнечного зенитного угла.
статья, добавлен 28.04.2018Рассмотрение информационных процессов в биологических объектах на клеточном уровне и определение требований к внешнему электромагнитному излучению для лечения животных. Использование протонного излучения для передачи энергии квантовых взаимодействий.
статья, добавлен 30.08.2016Изучение возможности детектирования теневых изображений объектов в рентгеновском диапазоне длин волн. Оценка контраста и изменения чувствительности электронного фотоприемника в зависимости от интенсивности рентгеновского излучения и времени ее накопления.
статья, добавлен 21.05.2017Понятие комплексных чисел. Особенности их применение в решении задачи по нахождению тока в цепи с последовательным соединением резистора, конденсатора и катушки индуктивности. Определение величины результирующей силы с помощью комплексного метода.
статья, добавлен 12.01.2018Анализ значения метода туннельной спектроскопии для изучения особенностей не только заполненных, но и пустых энергетических уровней. Исследование многочастичных особенностей в туннельных спектрах, связанных с неупругими процессами при туннелировании.
автореферат, добавлен 02.03.2018Характеристика определения периода обращения спутника вокруг Земли. Объяснение движения космического летательного аппарата по круговой орбите. Создание скорости планера меньше орбитальной. Особенность исследования операции торможения небесного тела.
контрольная работа, добавлен 27.10.2017Метод решения двухмерных краевых задач теории дифракции на идеально проводящих полубесконечных телах. Построение с помощью теории конформных отображений универсального интегрального представления дифракционной части решения уравнения Гельмгольца.
статья, добавлен 04.11.2018Исследование уравнений продольно-радиальных колебаний цилиндрического слоя произвольной толщины с учетом взаимодействующей вязкой сжимаемой жидкости и динамических внешних нагрузок. Вывод формул для компонент тензора напряжений и вектора перемещений.
автореферат, добавлен 24.05.2018Объяснение высоких скоростей звёзд в центральных областях галактик на основе модели сжатого вакуума. Преобладание гравитации, возникающей за счёт усиления продольных волн в вакууме при прохождении через микрочастицы вещества большого шарового слоя.
статья, добавлен 21.06.2018Описание конструкции и принцип работы сушилки кипящего слоя, ее внутреннее устройство и главные элементы. Составление материального и теплового баланса данного устройства, гидродинамический расчет. Вычисление коэффициента теплоотдачи в окружающую среду.
курсовая работа, добавлен 18.01.2015