Понятие и операции фотолитографии
Литография - технологический метод, предназначенный для формирования на подложке топологического рисунка микросхемы с помощью чувствительных к излучению покрытий. Задачи и операции фотолитографии. Сушка проявленного слоя, удаление с подложки фоторезиста.
Подобные документы
Метод импедансной спектроскопии как один из способов исследования сложных электрохимических объектов. Анализ электрической и гидродинамической схемы установки с вращающимся мембранным диском. Методика измерения вольтамперной характеристики ионов.
статья, добавлен 20.05.2017Разработка методики измерения толщины упрочненного поверхностного слоя материала, позволяющей избежать повреждения образца. Критериальная оценка условий его разрушения от усталости. Исследование кинетики слоя материала в условиях многоцикловой нагрузки.
статья, добавлен 22.03.2016Анализ подходов к определению толщины активного слоя ограждения. Исследование эффективного слоя ограждения методом анализа нестационарного теплообмена в здании с одновременным использованием эффективной теплоемкости ограждения и закона сохранения энергии.
статья, добавлен 27.02.2017Комплексные алгебраические уравнения, соответствующие уравнениям электрической цепи. Способы сложения синусоидальных функций в физике. Показательная форма комплексного числа. Закон Фарадея, основные операции интегрирования и дифференцирования величин.
статья, добавлен 08.11.2018Создание самосогласованной модели равновесного анизотропного токового слоя в бесстолкновительной магнитосферной плазме. Изучение квазистационарной структуры и динамики заряженных частиц в токовых слоях со сложными профилями плотности тока поперек слоя.
автореферат, добавлен 02.03.2018Фотолитография и основы оптики. Проекционная, контактная печать и печать с зазором. Характеристики электронно-лучевых установок, поглощение излучения высоких энергий. Радиационные повреждения приборов. Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.
курсовая работа, добавлен 28.08.2013- 107. Расчет параметров транзисторов в зависимости от режимов эксплуатации и их температурная зависимость
Анализ параметров транзистора в зависимости от параметров удельного сопротивления толщины эпитаксии. Технологические операции, связанные с получением монокристаллических полупроводниковых пластин. Причины возникновения точечных дефектов в кристаллах.
контрольная работа, добавлен 15.01.2016 Основные типы уравнений для цилиндрической оболочки в системе координат. Понятие линейной независимости и полноты системы функций. Аналитическое и приближенное решения задачи о гидростатическом давлении в резервуаре круглой формы, их сравнительный анализ.
дипломная работа, добавлен 07.12.2015Особенности применения мощного фокусированного ультразвука в медицинских целях. Исследование метода управления длительностью и мощностью сфокусированного ультразвукового поля при помощи переходного слоя с заданными акустическими характеристиками.
статья, добавлен 30.07.2017Оценки значений коэффициентов диффузии в 2-3-миллиметровом участке вязкого пограничного слоя для ламинарного потока при малых значениях числа Рейнольдса на основе данных экспериментальных измерений. Сравнение с соответствующими классическими измерениями.
статья, добавлен 25.06.2018Методы исследования вязкости как свойства текучих тел оказывать сопротивление перемещению одного слоя вещества относительно другого. Зависимость вязкости от рода жидкости и ее температуры. Определение погрешности измерения скорости шарика в жидкости.
лабораторная работа, добавлен 15.12.2015Теория электромагнитного поля Максвелла. Применение аналогий как универсальной операции построения новой теории. Процесс гельштат-переключения как основа интеллектуальной интуиции. Поиск гипотезы, постановка в аналоговую модель новых абстрактных объектов.
контрольная работа, добавлен 20.10.2010- 113. Индукционный каротаж
Физические основы индукционного метода. Низкочастотный индукционный метод. Высокочастотные индукционные методы. Первичный материал на скважине. Области применения обычного низкочастотного индукционного метода и решаемые им геологические задачи.
курсовая работа, добавлен 03.04.2015 Характеристика и анализ показателей топочного процесса, происходящего в котельных установках с топками кипящего слоя, работающими в режиме газификации. Особенности процесса горения и преимущества режима газификации по сравнению с топочным режимом.
статья, добавлен 12.01.2014Исследование вопросов расчета двойного электрического слоя с учетом квантового фактора. Методы расчета квантовомеханических систем на основе уравнения Шредингера и его модификации в форме Маделунга. Сравнение способов решения уравнения квантовой механики.
статья, добавлен 07.02.2017Классификация нормальных колебаний по форме и симметрии. Изучение свойств симметрии колебаний многоатомных молекул. Геометрические операции, осуществляемые на элементах симметрии и переводящие молекулу в неотличимую, эквивалентную, идентичную ориентацию.
доклад, добавлен 15.05.2017Программируемая лабораторная измерительная система, ее структура и принцип работы. Рекомбинационные потери в биполярных микроэлектронных структурах. Эффекты продольного падения напряжения. Управление моп-транзистором по подложке в подпороговой области.
методичка, добавлен 12.05.2014Понятие штрафных функций. Характеристика метода штрафных функций, основанного на преобразовании исходной задачи с ограничениями в одну или последовательность задач безусловной оптимизации. Особенности алгоритма штрафных функций, его основные этапы.
лекция, добавлен 06.09.2017Формирование тонкого слоя между двумя поверхностями. Нестационарное течение вязкого газа между двумя поверхностями, вопрос устойчивости ротора в опорах с газовой смазкой. Принципы уменьшения сопротивления внедрению клина, иглы в деформируемую поверхность.
автореферат, добавлен 02.03.2018Разработка модели, имитирующей заход искусственных спутников Земли в области геометрической тени, в которой эффекты тропосферной рефракции максимальны. Расчеты параметров оценки рефракции, основанные на дифракционных и геометрооптических построениях.
статья, добавлен 29.07.2016Экспериментальное исследование микрорельефа и характеристик дифракционных оптических элементов, синтезированных методами компьютерной оптики, изготовленных по технологии электронной литографии. Существенная характеристика лазерных пучков Бесселя.
автореферат, добавлен 02.03.2018- 122. Двухканальное оптимальное по быстродействию управление процессом нестационарной теплопроводности
Метод решения задачи оптимального по быстродействию управления температурным полем неограниченной пластины с двумя граничными управляющими воздействиями по величине внешнего теплового потока на ее поверхностях. Решение задачи альтернансным методом.
статья, добавлен 31.08.2018 - 123. Электрические свойства тонкого слоя магнитной жидкости с графитовым наполнителем в магнитном поле
Исследование электрических свойств тонкого слоя композиционной магнитной жидкости на основе керосина, содержащего дисперсию микрочастиц графита. Концентрационная зависимость изменения проводимости и емкости ячейки, вызванного действием магнитного поля.
статья, добавлен 28.04.2017 Структура поверхностного слоя стали после внедрения порошка ВКб при контактном электронагреве. Основные различия микротвердости в структуре слоя зерен и границ между ними. Особенности процесса упрочнения поверхностных слоев электроконтактной зачеканкой.
статья, добавлен 13.01.2020Рассмотрение технологического процесса монтажа линий электропередач. Определение на местности проектных направлений линии и мест установки опор. Основные операции монтажа проводов и тросов. Особенности использования защищенных изоляцией проводов.
презентация, добавлен 04.12.2020