Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології
Аналіз можливостей і перспектив використання оптичного актинометричного методу контролю плазмохімічного травлення структур рSi/SiO2/Si при виготовленні приладів сучасної мікро та наноелектроніки. Результати досліджень процесу травлення мікроструктур.
Подобные документы
Основні фізико-механічні характеристики, що відповідають за експлуатаційну надійність обладнання та методи їх контролю. Особливості зв'язків між головними технічними характеристиками обладнання та інформативними параметрами неруйнівних методів контролю.
автореферат, добавлен 09.11.2013Огляд процесу механічного оброблення монокристалів парателуриту і тетраборату літію зі зниженням витрат абразивів. Метод контролю якості робочих поверхонь оптичних деталей з них на різних стадіях оброблення з урахуванням технологічних умов їх вирощування.
автореферат, добавлен 28.08.2014Розгляд структури фазі-моделі, яка базується на прикладі контролю процесу відпрацювання шарошкових доліт. Ознайомлення із загальною моделлю об’єкта контролю бурового долота. Дослідження та характеристика системи контролю технічного стану долота.
статья, добавлен 29.09.2018Аналіз технологічного процесу пастерізації молока, як об’єкта автоматизації. Вимоги до автоматизації, розроблення функціональної схеми. Розробка системи регулювання. Реалізація програм для ПЛК. Створення програми керування, структури системи управління.
контрольная работа, добавлен 30.12.2014Розроблення методів і засобів поліпшення якості контролю випадкових процесів екологічних об'єктів на прикладі гідроекосистеми в умовах дії антропогенного навантаження. Вірогіднісні критерії якості дискретного виміру безперервного випадкового процесу.
автореферат, добавлен 24.06.2014Розробка науково-обґрунтованих методів контролю деформацій, механічних напруг, структурної досконалості і створення на їх основі вимірювального та ростового устаткування та апаратури для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів.
автореферат, добавлен 24.06.2014Розробка методу неперервного контролю комплексного показника якості К в реакторі полімеризації вінілхлориду на основі встановлення його взаємозв’язку з найбільш впливовим фактором та проаналізувати похибки методу. Алгоритмічна структура і схема пристрою.
автореферат, добавлен 30.07.2014- 58. Методи і пристрій контролю віброприскорень стінок паливопроводу високого тиску дизельних агрегатів
Розробка апаратурних, методичних і програмних засобів. Створення пристроїв контролю, які підвищують ефективність роботи ДА за рахунок використання засобів безрозбірних технологій і неруйнівного контролю при визначенні поточного стану паливної системи ДА.
автореферат, добавлен 28.07.2014 Основне призначення систем активного контролю. Чинники, які впливають на точність процесів розмірного оброблення деталей. Розробка методики синтезу та моделювання систем активного контролю на стадії проектування для аналізу та прогнозування їх проявів.
статья, добавлен 25.10.2016Аналіз конструкції різьбових з’єднань трубних колон з точки зору можливостей їх неруйнівного контролю та встановлення й систематизації класифікаційних та функціональних ознак, що визначають їх якість. Закономірності поширення ультразвукових коливань.
автореферат, добавлен 25.09.2013- 61. Підвищення чутливості магнітного методу контролю харчових продуктів шляхом використання ферозондів
Розробка методу підвищення чутливості електромагнітних металодетекторів, заснованого на використанні в якості їх магніточутливих елементів ферозондів, об'єднаних у багатоелементний феррозондовый датчик. Аналіз полів індукованих феромагнітними частками.
автореферат, добавлен 26.07.2014 Дослідження проблемних питань контролю за обладнанням та програмним забезпеченням. Розробка плану проведення контролю за ІТ технологіями, що використовуються для управління підприємством технологіями, що використовуються для управління підприємством.
статья, добавлен 03.08.2024Розробка приладів атестації та внесення корекцій на координатні переміщення робочих органів технологічного обладнання з числовим програмним керуванням. Підвищення точності та продуктивності виготовлення деталей на приладобудівних підприємствах України.
автореферат, добавлен 28.08.2014Розробка засад створення засобів контролю теплопровідності матеріалів, особливо низько- та високотеплопровідних, нових теплофізичних приладів, більш досконалих порівняно з існуючими, а також нових конструкцій змінних теплових опорів і вимірювальних схем.
автореферат, добавлен 25.02.2014Розгляд питання контролю стану діагностичної моделі ШГНУ. Розробка технічних засобів та програмного забезпечення вібраційного контролю, що починається з часу сприйняття навантаження. Характеристика діагностики штангових глибинно-насосних установок.
автореферат, добавлен 14.09.2013Закономірності поширення ультразвукових коливань в різьбових частинах труб, в тому числі обважнених, для розробки способів їх контролю. Можливість використання принципу агрегатування методик контролю типових елементів різьбових з’єднань і його апробація.
автореферат, добавлен 22.06.2014Автоматизація компресорної установки 6М40-320/320, призначеної для стискання азотно-водневої суміші. Склад обладнання типової технологічної лінії виробництва аміаку, технічні засоби контролю. Норми технологічного режиму, контроль та керування процесом.
контрольная работа, добавлен 27.05.2015Проведення експериментальних досліджень з контролю якості пластмасових труб, які застосовують для будівництва газових та водяних мереж чи інших потреб. Аналіз методики оцінювання характеристик точності результатів вимірювання під час інспектування.
статья, добавлен 26.01.2017Дослідження особливостей формування і контролю вимог до проекту на основі аналізу процесів розробки й сертифікації зразків складної техніки. Інформаційна система формування і контролю вимог, за допомогою якої сформовано вимоги до літального апарату.
автореферат, добавлен 28.10.2013Виведення формули для розрахунку частотних залежностей електричних параметрів матеріалу частинки ЗМ за експериментальними даними. Аналіз перевірки розробленого алгоритму на зерні та обґрунтування доцільності підвищення точності контролю вологості.
автореферат, добавлен 29.04.2014Зародження та розвиток мікротріщин у напружено-деформованих металічних конструкціях з позиції синергетики та фрактальної геометрії. Метод контролю розвитку мікротріщин за зміною температури на поверхні об’єкта контролю як інформативного параметра.
автореферат, добавлен 27.08.2013Характеристики поверхневого шару скла після електронно-променевої обробки. Термічний вплив на ПШ скла від дії електронного потоку. Унікальність методу, перспективи його використання у приладобудуванні та технології мікрообробки оптичних матеріалів.
статья, добавлен 25.03.2016Розробка методу та алгоритму для автоматичного зчитування показів зі шкали стрілочного приладу за допомогою web-камери і персонального комп'ютера. Принцип роботи та результати тестування розробленого програмного засобу на реальних стрілочних приладах.
статья, добавлен 28.09.2016Характеристика основних методів підвищення вірогідності контролю і розширення діапазону вимірювань параметрів обертального руху. Визначення особливостей оптико-електронних засобів на основі розробленого безконтактного методу просторової модуляції.
автореферат, добавлен 28.10.2015Розробка методів вимірювання внутрішнього діаметра та контролю якості трубок. Схеми технологічних процесів виготовлення кварцових та полікорових трубок. Розробка алгоритму автоматичного контролю та класифікації пальників, його технічна реалізація.
автореферат, добавлен 23.11.2013