Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології
Аналіз можливостей і перспектив використання оптичного актинометричного методу контролю плазмохімічного травлення структур рSi/SiO2/Si при виготовленні приладів сучасної мікро та наноелектроніки. Результати досліджень процесу травлення мікроструктур.
Подобные документы
Результати лабораторних і промислових досліджень та їх використання для модернізації системи автоматизації котлоагрегатів цукрового заводу. Підвищення ефективності роботи енергоємного парогенеруючого встаткування при різкому подорожчанні енергоносіїв.
статья, добавлен 13.02.2016Стан проблеми оперативного виявлення місць і часу відборів нафти з магістральних нафтопроводів. Логіко-лінгвістична модель процесів витікань і несанкціонованих відборів та розробка інформаційної системи процесу відбору нафти. Теорія нечітких множин.
автореферат, добавлен 16.10.2013Створення цифрового багаторівневого методу організації виробництва з інтеграцією друкарських процесів у середині друкарні. Особливість вимірювання похибок друку окремих міток накладення. Керування точності суміщення й позиціювання фарбовідбитків.
статья, добавлен 27.12.2016Наукове обґрунтування доцільності використання припоїв на основі евтектичних складових трикомпонентних силікатних систем для виготовлення складнопрофільних та великогабаритних виробів. Дослідження термомеханічних властивостей спаїв корундової кераміки.
автореферат, добавлен 29.09.2014Основні задачі управління якістю продукції на стадіях його життєвого циклу, органи контролю, функції технічного контролю. Міжнародна система менеджменту якості. Організація технічного контролю якості продукції та її основні показники. Дерево якості.
контрольная работа, добавлен 16.02.2012Підвищення продуктивності агломераційних машин при підтримці заданої якості агломерату. Система автоматичного контролю процесу спікання. Розробка комплексу автоматичного контролю потужності наддовгого електромагнітного випромінювання агломерату.
автореферат, добавлен 11.11.2013Характеристика методу визначення кількісного вмісту скрапленого нафтового газу не тільки складових пропану й бутану, але й домішок на основі використання функції температурних параметрів. Світловий потік від лампи розжарювання, його фокусування.
статья, добавлен 14.01.2017Особливості побудови електромагнітних засобів контролю якості матеріалів на основі використання математичного апарату різноконтурних задач для рівнянь з частинними похідними. Аналіз засобів безконтактного виявлення дефектів у струмопровідних матеріалах.
автореферат, добавлен 05.08.2014Виникнення помилок у концепції радіочастотної ідентифікації тварин. Поява втрати інформації про результати контролю зоотехнічних параметрів тварин при використанні у системі централізованого рідера великого радіусу дії на групових доїльних установках.
статья, добавлен 30.01.2017Методи діагностики процесів різання і операції круглого зовнішнього шліфування. Постановка завдання системи діагностики та класифікація змін і збурень. Метод непрямої діагностики сил різання на основі комп'ютерного контролю величин ефективного струму.
автореферат, добавлен 14.07.2015Математичні моделі перенесення поляризованого випромінювання об’єктом контролю та первинним вимірювальним перетворювачем. Вибір мінімально можливої кількості оптимальних значень характеристичних довжин хвиль та кутів обертання поляризатора і аналізатора.
автореферат, добавлен 27.07.2015Організація технологічного і мікробіологічного контролю на підприємствах молочної промисловості. Обладнання та сучасні прилади для контролю якості продуктів. Порядок приймання, контроль якості сировини, яка приймається. Схема контролю готової продукції.
курс лекций, добавлен 19.07.2015Зв'язок технологічних параметрів виготовлення емальдроту з характеристиками, одержаними в результаті руйнівного і неруйнівного контролю готової продукції. Статистична модель дефектності емальізоляції при неруйнівних випробуваннях високою напругою.
автореферат, добавлен 25.08.2015Конструкція зразку, технологія його виготовлення. Аналіз експериментальних даних про напружено-деформований стан та несучу здатність. Графік залежностей прогинів від навантаження. Схема дослідної конструкції з розташуванням на ній вимірювальних приладів.
статья, добавлен 03.05.2019Встановлення співвідношень між значеннями параметра, що контролюється, та встановленими певним чином границями (допусками) на його відхилення в основі допускного контролю. Значення достовірності результатів контролю, характеристика її основних видів.
статья, добавлен 30.01.2017Розробка та обґрунтування аналітичних залежностей для оцінювання вірогідності контролю поверхневого натягу рідин. Дослідження та характеристика специфічних особливостей алгоритмів обробки зображення, розрахунку геометричних параметрів лежачої краплі.
автореферат, добавлен 30.10.2015Аналіз технології виробництва вершкового масла неперервним способом методом збивання вершків. Використання сценарно-цільового аналізу для складних технологічних процесів зі змінними параметрами. Визначення вмісту вологи у маслі задля стабілізації процесу.
статья, добавлен 16.10.2022Розробка об'єктивної системи контролю процесу визрівання білих міцних виноматеріалів в аспекті досягнення ними відповідного типу та якості. Вивчення динаміки хімічного складу і фізико-хімічних властивостей виноматеріалів у процесі визрівання в умовах ТКО.
автореферат, добавлен 25.02.2014Дослідження та характеристика методу метрологічного забезпечення виробництва. Розробка та реалізація прототипу вимірювача конфігурації на основі спекл-методу для експериментальних досліджень методу вимірювань. Аналіз пристроїв вимірювання конфігурації.
автореферат, добавлен 15.07.2014Підвищення ефективності процесів переробки рідких продуктів завдяки розробці точних та стабільних засобів контролю вмісту сухих речовин. Створення пристрою для автоматичного вимірювання та контролю. Автоматичний рефрактометр в умовах виробництва.
автореферат, добавлен 30.08.2014Аналіз асортименту спеціальних матеріалів, які застосовуються при виготовленні спеціального одягу. Інформаційна модель процесу дослідження захисних властивостей текстильних матеріалів. Аналіз умов праці робітників пічних відділень виробництва фосфору.
автореферат, добавлен 05.01.2014Математична модель процесу функціонування технологічної системи "Багатоцільовий верстат – СЧПК" з метою типізації її поводження методами сучасної абстрактної алгебри. Аналіз алгоритмів чисельної оцінки подоби технологічних операцій і керуючих програм.
автореферат, добавлен 29.04.2014Характеристика етапів розробки методів і алгоритмів кластеризації множини часових послідовностей. Знайомство с головними особливостями інформаційної технології контролю та прогнозування техніко-економічних показників виробництва монокристалічного кремнію.
автореферат, добавлен 19.07.2015Дослідження нових електромагнітних методів контролю експлуатаційних характеристик нафтогазового обладнання, які дозволяють проводити його виробниче обслуговування в умовах бурових баз на різних стадіях експлуатації. Оцінка залишкового ресурсу бурових веж.
автореферат, добавлен 23.11.2013Залучення технології доповненої реальності до сучасної творчості художників та дизайнерів. Перелік використання технології AR в образотворчому мистецтві. Розгляд новаторських прийомів створення творів AR у міському просторі, архітектурі, арт-інсталяції.
статья, добавлен 11.05.2023