Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології
Аналіз можливостей і перспектив використання оптичного актинометричного методу контролю плазмохімічного травлення структур рSi/SiO2/Si при виготовленні приладів сучасної мікро та наноелектроніки. Результати досліджень процесу травлення мікроструктур.
Подобные документы
Розширення технологічних можливостей процесів холодного поперечного видавлювання осесиметричних заготовок з фланцем. Удосконалення методу визначення раціональних параметрів процесу видавлювання з протитиском. Розробка та впровадження технологічних схем.
автореферат, добавлен 14.09.2014Розробка енергостатичного методу контролю технічного стану цифрових типових елементів заміни, в якості діагностичного параметра, при використанні значення амплітуди напруги у сталому режимі на додатковому опорі. Модель великої інтегральної схеми.
автореферат, добавлен 27.08.2014Аналіз способу контролю процесу виробництва за акустичними сигналами, які виникають під час роботи технологічного обладнання. Перспективи подальшого створення системи автоматизованого контролю виробництва. Аналіз засобів програмного середовища LabVIEW.
статья, добавлен 14.09.2016Огляд засобів контролю за станом технологічного обладнання, призначеного для системи підземного зберігання газу. Оцінка взаємодії підземного трубопроводу з ґрунтовими масивами. Аналіз методу визначення напружено-деформованого стану трубопроводів.
автореферат, добавлен 27.09.2013Розробка обґрунтованого складу, раціональної технології та технологічного контролю якості вітамінного лікарського засобу у формі гелю для застосування у педіатрії. Встановлення показників якості розробленого препарату, а також методик їх контролю.
автореферат, добавлен 27.07.2015Дослідження закономірностей міцності та стабільності взаємного положення з’єднаних прецизійних деталей оптико-електронних приладів. Аналіз фізичних уявлень про міцність крихких твердих тіл з різною структурою (кристали, склокераміка, аморфні тіла).
автореферат, добавлен 28.09.2015Аналіз сучасного стану автоматизації процесів сухої магнітної сепарації залізних руд. Дослідження магнітних сепараторів для сухого збагачення як об’єктів автоматичного контролю та управління з метою виявлення їх основних характеристик і залежностей.
автореферат, добавлен 25.08.2015Аналіз існуючих методів контролю вологості. Визначення рівняння градуювання засобів контролю вологості зерна та його адекватності. Дослідження частотних характеристик зразка зерна та вибору частотного діапазону із високою дисперсією характеристик.
автореферат, добавлен 26.09.2014Дослідження аналітичної моделі формалізованого опису розподілу енергетичних навантажень на різальний інструмент при виготовленні надточних деталей типу "вісь". Розробка експериментального зразку пристрою для прогнозування процесу виготовлення деталей.
автореферат, добавлен 14.09.2014Критичний аналіз існуючих первинних перетворювачів температури та виявлення шляхів синтезу нових термоперетворювачів адаптивних до контролю температури в трубопроводах; сутність дослідження моделей статичних характеристик термодіодного перетворювача.
автореферат, добавлен 25.04.2014Системи збирання та обробки даних прискорених випробувань з використанням енергетичного методу контролю для оцінювання напружено-деформованого стану деталей при виготовленні, експлуатації та ремонту складаних виробів. Розробка нормативно-технічної бази.
автореферат, добавлен 25.02.2014Особливості методу вибору раціонального технологічного процесу виготовлення виробу на основі аналізу техніко-економічної ефективності з використанням кваліметричних методів. Операції технічного контролю як невід'ємна частка технологічного процесу.
контрольная работа, добавлен 07.09.2013Розробка алгоритму та методики контролю з метою запобігання прихоплень бурильної колони у процесі буріння. Лінгвістичний опис технологічних ситуацій, пов’язаних з виникненням цієї аварії. Використання нечіткої інформації про параметри процесу буріння.
автореферат, добавлен 27.09.2013Призначення комплексу обертових печей для виробництва конверторного вапна. Опис приладів і засобів, що використовуються в системі автоматизації. Аналіз роботи системи контролю і регулювання, сигналізації та блокувань по електричним принциповим схемам.
отчет по практике, добавлен 21.05.2020Характеристика головних процесів проводу обранням приладів орієнтування. Особливість використання інтелектуальних моделей на основі штучних нейронних мереж. Аналіз проблеми автоматизації правління апаратів для гнучкого механоскладального виробництва.
автореферат, добавлен 22.07.2014Основні методи контролю форми плоских поверхонь і практичне вимірювання відступу від площини. Особливості інтерференційних методів контролю форми плоских полірованих поверхонь. Обладнання для виконання лабораторної роботи. Аналіз результатів вимірювання.
лабораторная работа, добавлен 20.05.2013Результати досліджень екстрагування плодів шипшини і глоду. Раціональні параметри процесу для формування функціонально-технологічних властивостей екстрактів. Позитивні зміни в протіканні мікробіологічних процесів в ході приготування пшеничного хліба.
статья, добавлен 29.07.2016Розгляд особливостей застосування мобільної станції технічного контролю транспортних засобів, технічних характеристик, умов використання її складових елементів. Аналіз чинників впливу на ефективність діагностики вузлів та агрегатів транспортних засобів.
статья, добавлен 23.03.2024Розробка методу визначення вибійного тиску при проведенні потужних гідравлічних розривів пластів з урахуванням параметрів руху технологічних рідин у свердловині. Проведення дослідження розробленої системи контролю за підготовкою та проведенням ПГРП.
автореферат, добавлен 29.10.2013Огляд видів неруйнуючого і руйнуючого контролю якості деревини та дерев’яних конструкцій. Технологічні схеми установ сортування пиломатеріалів. Аналіз відмінностей оцінки якості деревини та основних чинників переваг та недоліків кожного з видів контролю.
статья, добавлен 18.02.2016Особливості друкування впровадженням вимірювальної системи контролю якості друкованого зображення. Аналіз друкованих відбитків, імітаційних моделей та шкали для контролювання друкарського процесу. Етапи друкування з використанням фарб офсетного друку.
автореферат, добавлен 14.10.2013Забезпечення системи пошуку аварійних витікань і відборів нафти з нафтопроводів. Створення на базі методів нечіткої логіки моделі автоматизованого контролю технічного стану. Розробка програмного забезпечення. Застосування дистанційних засобів комунікації.
статья, добавлен 24.11.2016Характеристика методів і засобів оброблення фотоплетизмографічної інформації та оптичного приладу "око-процесорного" типу для визначення гемодинамічних показників. Теоретичне узагальнення методів взаємодії оптичного випромінювання з біотканинами.
автореферат, добавлен 18.07.2015Історія створення і поширення ковбасних виробів. Харчова цінність сирокопчених ковбас. Вивчення їх рецептури виробництва. Аналіз технологічного процесу виробництва продукту сирокопченої ковбаси зернистої. Особливості організації контролю якості.
курсовая работа, добавлен 18.03.2014- 100. Удосконалення методів та підвищення точності засобів контролю параметрів моделей гідравлічних машин
Питання підвищення точності контролю та виміру гідравлічних і механічних параметрів фізичних моделей гідравлічних машин. Аналіз засобів контролю параметрів моделей, які забезпечують точність контролю та виміру. Система градуювання витратомірних пристроїв.
автореферат, добавлен 01.08.2014