Структура та фізичні властивості тонкоплівкових дифузійних бар’єрів W-TI-N та TA-SI-N на підкладках арсеніду та нітриду галію
Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
Подобные документы
Дослідження структурних і фізичних властивостей органічних полімерних матеріалів для фоточутливих та світловипромінюючих середовищ. Встановлення критеріїв вибору компонентів композиції та створення функціональних середовищ. Отримання полімерних плівок.
автореферат, добавлен 06.07.2014Особливості структури, фізико-хімічні та оптико-спектральні властивості люмінофорів. Особливості синтезу тонкоплівкових та керамічних сполук і аналіз їх кристалічної структури. Результати досліджень оптичних властивостей тонких плівок та монокристалів.
автореферат, добавлен 12.07.2015Дослідження структури та електричних властивостей тонких плівок на основі твердих розчинів PbTe-Bi2Te3, осаджених у вакуумі на слюдяні та ситалові підкладки. Мозаїчна структура парофазного конденсата, сформована за механізмом зародження Фольмера-Вебера.
статья, добавлен 13.10.2016Фазовий склад плівкових гранульованих сплавів. Моделі розмірних ефектів в електрорезистивних властивостях багатошарових плівок. Методи дослідження кристалічної структури, фазового та елементного складу. Фазовий стан одношарових плівок Co, Fe, Ag та Au.
диссертация, добавлен 08.11.2016Оптимальні параметри для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Механізми впливу випромінювання видимого і УФ-діапазонів на процеси росту і структуру плівок. Дія електромагнітного випромінювання.
автореферат, добавлен 29.09.2015Електронна польова емісія у вакуумі з кремнієвих і вуглецевих нанокомпозитних напівпровідникових структур на Si і GaAs. Локальна передпробійна формовка напівпровідникових і діелектричних плівок електричним полем. Покращення емісійних параметрів катодів.
автореферат, добавлен 14.09.2015Дослідження кристалічної структури, гальваномагнітних властивостей та доменної структури плівок сплаву Fe0,5-Ni0,5. Особливості використання такого сплаву у техніці для створення магнітопроводів, осердь електромагнітів, які є магнітом’яким матеріалом.
статья, добавлен 23.10.2010Виготовлення і застосування плівок, їх фізичні та хімічні властивості. Уявлення про фізичну природу анізотропії феромагнетиків. Розширення можливостей дослідження зв'язку між структурними характеристиками і фізичними властивостями магнітних матеріалів.
курсовая работа, добавлен 23.12.2015Вивчення процесів утворення вуглецевих конденсатів при осадженні потоків активованих часток вуглецю (атомів, іонів, радикалів і іонізованих молекул). Одержання алмазоподібних і алмазних плівок, що мають необхідні властивості (механічні, оптичні).
автореферат, добавлен 22.07.2014Створення масиву наночастинок Au на напівпровідникових плівках CdS термічним відпалюванням у вакуумі плівок золота товщиною 6 нм. Дослідження морфології поверхні плівок CdS, покритих масивом наночастинок золота, визначення середніх розмірів наночастинок.
статья, добавлен 13.10.2016Вивчення багатокомпонентних халькогенідів міді і срібла у масивних зразках, в тонких плівках. Фазоутворення у розрізах Cu2S-Ag2Se, Cu2S-Ag2Те, Cu2S-Cu2Se, Cu2S-Cu2Te, їх дослідження методами ДТА і рентгеноструктурного аналізу. Закономірності росту плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Вплив виду, концентрації легуючої домішки на фазовий склад і параметри кристалічної структури, оптичні й електричні властивості плівок оксиду цинку. Оптимізація технологічних параметрів різних видів магнетронного розпилення для одержання легованих плівок.
автореферат, добавлен 30.07.2014Дослідження процесів дефектоутворення та їх впливу на структуру та електричні властивості плівок селеніду свинцю. Характеристика механізмів фізичних процесів, що мають місце при вирощуванні плівок. Моделі атомних дефектів у тонких плівках селеніду свинцю.
автореферат, добавлен 27.07.2014Аналіз структури, механізмів самовпорядкування в надтонких органічних плівках речовин на інтерфейсі рідина – тверде тіло. Фізичні властивості таких плівок (електронні, трибологічні, фазові переходи). Методика отримання субмоношарових і моношарових плівок.
автореферат, добавлен 28.09.2014Дослідження електро- та фотофізичних властивостей плівок напівпровідникових молекулярних композитів на основі полімерів і полікомплексів азобензолу і гетерополіядерних комплексів з координованими іонами металів. Здійснення голографічного запису.
автореферат, добавлен 30.07.2015Аналіз кристалічної структури, електронних і коливальних спектрів конденсованих плівок С60, легованих молекулами кисню і атомами міді. Вплив радіаційних пошкоджень на розсіяння світла, фотолюмінесценцію і оптичну провідність плівок молекул фулеренів.
автореферат, добавлен 29.07.2014Доцільність застосування анодного процесу формування плівок кадмію сульфіду з електроліту на основі органічного апротонного розчинника. Принципова технологічна схема способу одержання тонких полікристалічних стрічок CdS і CdTe електролітичним способом.
автореферат, добавлен 29.08.2015Установлення впливу дифузійних бар'єрів на структуру і фазовий склад, а також на процеси силіцидоутворення в багатошарових покриттях Sc/W/Si/W. Порівняльні випробування термічної стабільності покрить. Вимірювання рентгенооптичних характеристик дзеркал.
автореферат, добавлен 25.06.2014Оптичні властивості тонких плівок і керамік на основі оксидів вольфраму і вісмуту, особливості їх люмінесценції при різних видах збудження. Встановлення механізму випромінювання та дослідження характеристик центрів захоплення термоактиваційними методами.
автореферат, добавлен 25.06.2014Аналіз структури, мікромеханічної поведінки та нанотвердості нанокристалічних плівок металів–аналогів хрому і молібдену осаджених електродуговим і магнетронним розпиленням та газополуменевим напиленням. Підвищення твердості шляхом інженерії меж зерен.
автореферат, добавлен 07.08.2014Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Способи створення омічних і випростовуючих контактів, параметри та властивості базових підкладинок. Особливості міжзонної та екситонної рекомбінації у дифузійних шарах II-VI напівпровідників. Випромінювальна рекомбінація простих та асоціативних центрів.
автореферат, добавлен 29.09.2014Моделі для реалізації методу математичного планування і оптимізації багатофакторного експерименту у способі вирощування тонких плівок з парової фази методом гарячої стінки. Експериментальні дослідження структури і електричних властивостей тонких плівок.
автореферат, добавлен 23.11.2013Вивчення механізмів струмопереносу і фоточутливості плівок свинець сульфіду із різним потенційним рельєфом зон та впливу технологічних факторів на ці механізми. Розробка технології нанесення фоточутливих плівок на кремнієву підкладку зі схемами комутації.
автореферат, добавлен 07.01.2014Змішаний стан феромагнетик-парамагнетик у складних оксидах на основі марганцю. Характерні риси впливу магнітно-впорядкованої фази на магнітно-невпорядковану. Магнітні властивості плівок магнетиту, осаджених на наноструктуровані підкладинки оксиду магнію.
автореферат, добавлен 29.07.2015