Структура та фізичні властивості тонкоплівкових дифузійних бар’єрів W-TI-N та TA-SI-N на підкладках арсеніду та нітриду галію
Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
Подобные документы
- 76. Надтонкі діелектричні молекулярні плівки, організація і еволюція їх структури, оптичні властивості
Вивчення структурної стабільності високовпорядкованих діелектричних молекулярних плівок в залежності від інтеркаляції іонів металів. Аналіз механізмів фазових перетворень періодичної металоорганічної матриці і росту напівпровідникових нанокристалів.
автореферат, добавлен 25.09.2015 - 77. Вплив H, C, N і Si на електронну структуру та фізичні властивості кристалів на основі сполук Fe і Cr
Спін-поляризований розрахунок енергетичної зонної структури і рентгенівських емісійних спектрів нітрида заліза Fe4N. Релятивістський розрахунок цементиту Fe3C. Обчислення енергетичної зонної структури і енергії когезії сплавів CrNiFe2Hx (x = 0, 2, 4).
автореферат, добавлен 18.11.2013 Комплексне теоретичне та експериментальне дослідження структурних і електрофізичних характеристик багатофазних шаруватих систем на основі кремнію, а також впливу віддзеркалювальних шарів на властивості фотоперетворювальних і транзисторних композицій.
автореферат, добавлен 23.11.2013Оптимальні режими дифузії для створення легованих оловом шарів II–VI сполук, дослідження їх електричних, фотоелектричних, структурних та оптичних властивостей. Спільні та відмінні риси характеру фізичних процесів у шарах, які зумовлені домішкою олова.
автореферат, добавлен 29.08.2015Поняття та класифікація, поляризація діелектриків. Вплив зовнішніх факторів на діелектричну проникність. Формування діелектричних плівок на поверхні напівпровідникових пластин. Отримання шарів оксиду і нітриду кремнію, реактивне іонно-плазмове розпилення.
курсовая работа, добавлен 26.08.2016Оптико-люмінесцентні властивості тонких плівок і керамік при оптичному, лазерному та рентгенівському збудженнях. Інтерпретація механізмів випромінювання і фотостимульованих процесів у люмінесцентних матеріалах. Сутність рекомбінаційних процесів.
автореферат, добавлен 14.07.2015Фазовий склад і структура плівок, вирощених із парової фази. Механізми деградації електричних властивостей плівки. Встановлення залежності типу провідності і концентрації носіїв струму. Аналіз профілів властивостей плівок різної структурної досконалості.
автореферат, добавлен 14.07.2015Встановлення взаємозв'язку структури алмазних та алмазоподібних вуглецевих плівок з умовами осадження. Дослідження фоточутливості отриманих гетеропереходів в ультрафіолетовій області випромінювання. Практичне використання плівок в оптоелектроніці.
автореферат, добавлен 22.04.2014Дослідження спектрів пропускання аморфних плівок (As2S3)100-x(SbSI)x у залежності від умов експонування. Визначення значення ширини псевдозабороненої зони та показника заломлення плівок. Виявлення основних причин змін оптичних характеристик плівок.
статья, добавлен 30.01.2016Фізичні основи оптичного зв'язку. Випромінювальні напівпровідникові прилади та їх фізичні характеристики. Умови генерації світла лазерними діодами. Засоби модуляції оптичного випромінювання. Властивості поширення світла у світловодах, вікна прозорості.
методичка, добавлен 24.06.2014Вплив анізометрії форми наповнювачів на властивості та характеристики релаксаційних процесів в досліджуваних електролітних системах. Аналіз особливостей впливу природи нанонаповнювачів на структуру та властивості досліджуваних полімерних електролітів.
автореферат, добавлен 30.07.2015- 87. Структурні, магнітні та магніторезистивні властивості трикомпонентного плівкового сплаву Ni-Fe-Co
Експериментальні дослідження структурно-фазового стану, магнітних і магніторезистивних властивостей тонких плівок сплаву Ni-Fe-Co, що проявляють анізотропний магнітоопір, найбільше значення якого спостерігається при перпендикулярній геометрії вимірювання.
статья, добавлен 13.10.2016 Розробка загальної теорії обчислення ефективної нелінійної діелектричної проникності дисперсних систем. Дослідження ефекту підсилення локального поля в композитах на основі нелінійного діелектрика і металу. Розрахунок оптичних характеристик тонких плівок.
автореферат, добавлен 27.04.2014Схема процесу пароутворення та конденсації. Випаровування в закритій посудині. Основні властивості насиченої пари. Рівняння стану iдеального газу. Пружність водяної пари та відносна вологість повітря. Кипiння - процес випаровування в серединi рідини.
презентация, добавлен 21.05.2012Термодинамічні властивості сплавів подвійних та потрійних систем. Виготовлення методом індукційної плавки оптимальної кількості сплавів системи Ni–B–C в багатій на нікель області концентрацій, їх термічна обробка. Фізичні властивості окремих фаз.
автореферат, добавлен 28.09.2015Вивчення питання установлення взаємозв'язку фізичних властивостей епітаксійних плівок ферит-гранатів (ЕПФГ) з технологічними факторами, що визначають синтез плівок з анізотропією типу "кутова фаза" на підкладках різної кристалографічної орієнтації.
автореферат, добавлен 24.06.2014Встановлення залежності сили Казиміра від товщини плівок, плазмової частоти, частот об'ємної й поверхневої електронної релаксації, температури. Залежність сили казимірівського притягання тонкої металевої плівки від значення параметра дзеркальності.
автореферат, добавлен 04.03.2014Кристалографічні зміни в структурі інтеркалатів А3В6 і А52В63, проведення фазового аналізу та електрофізичних властивостей. Енергоємність та встановлення механізму струмотворчої реакції ЛДС, покращення експлуатаційних параметрів фільтрових конденсаторів.
автореферат, добавлен 27.07.2014Одержання методом реактивного магнетронного розпилення плівок різних фаз оксиду. Дослідження будови та мікроструктури плівок Bi2O3 за допомогою рентгенофазового аналізу, оптичної та електроннооптичної мікроскопії і специфіка їх температурної стабільності.
автореферат, добавлен 29.07.2014Основні якості, параметри, типи, застосування та перспективи фотоприймачів. Конструкція, переваги та недоліки фоторезистора. Структура фотодіода та його вольт-амперна характеристика. Технологія виготовлення та фізичні якості лавинного фотодіоду.
реферат, добавлен 08.11.2010Температурна залежність питомого опору і термічного коефіцієнту опору чутливих елементів. Розробка методики визначення внеску інтерфейсного розсіювання електронів у термо- та тензорезистивні властивості тонкоплівкових чутливих елементів датчиків.
автореферат, добавлен 28.09.2015Дослідження кінетики структурно-фазових перетворень і з’ясування механізму формування наночастинок кремнію в процесі термічного відпалу тонких плівок SiOx. Визначення впливу плазмової високочастотної обробки на характеристики ФЛ нанокомпозитів nc-Si-SiOx.
автореферат, добавлен 27.12.2015Дослідження електронної і магнітної структури вихідних і імплантованих іонами монокристалічних ферит-гранатових плівок. Вплив концентрації радіаційних дефектів на електронну структуру магнітного розупорядкування в імплантованих приповерхневих шарах.
автореферат, добавлен 12.02.2014Електричні властивості монокристалів, які використовуються для виготовлення інфрачервоних детекторів, інтерпретуються в рамках моделі вузькозонного напівпровідника, а оптичні властивості по теорії Кейна із сильно непараболічними енергетичними зонами.
автореферат, добавлен 24.02.2014Вирощування i комплексне дослідження оптико-фізичних властивостей великогабаритних i високоякісних монокристалів. Побудова карти деформаційної електронної густини безводних боратів літію. Ростові дефекти i вплив легування на властивості кристалів.
автореферат, добавлен 10.01.2014