Структура та фізичні властивості тонкоплівкових дифузійних бар’єрів W-TI-N та TA-SI-N на підкладках арсеніду та нітриду галію
Фактори, які впливають на структуру та основні фізичні властивості тонких плівок W-Ti-N та Ta-Si-N, отриманих реактивним магнетронним розпиленням. Застосування плівок в якості дифузійних бар’єрів в системах металізації до напівпровідникових сполук.
Подобные документы
Аналіз параметрів для отримання алмазоподібних плівок в умовах електромагнітного опромінювання ростової поверхні. Розрахунок швидкості росту плівок з урахуванням чинника електромагнітного опромінювання у моделях газофазного росту алмазоподібного вуглецю.
автореферат, добавлен 25.02.2015Закономірності впливу структури, умов вирощування і зовнішніх факторів (термічного відпалу, радіаційного опромінення, легування) на термоелектричні характеристики плівок телуриду свинцю та їх аналогів. Методика вимірювання теплопровідності тонких плівок.
автореферат, добавлен 11.11.2013Дослідженню впливу фонових домішок і структурних дефектів на формування та фізичні властивості розбавлених твердих розчинів. Основні мови виникнення аномалій фізичних властивостей. Вивчення процесів одержання слабколегованих шарів кремнієвих композицій.
автореферат, добавлен 15.11.2013Фундаментальні властивості плазми газових розрядів, які вживаються в сучасних технологіях. Застосування плазмодинамічних пристроїв нового покоління для синтезу наномасштабних плівок і покриттів з металевих сполук із заданими функціональними ознаками.
автореферат, добавлен 29.07.2015Фазовий склад і кристалічна будова плівок алюмінію, дослідження їх структурних характеристик і температурної залежності від електрофізичних властивостей. Розрахунок параметрів електроперенесення за лінеарізованою та ізотропною моделями Ательє і Тоссе.
статья, добавлен 23.10.2010Вплив низькотемпературних методів виготовлення плівок систем Cu-In-Se та CuInSe2-ZnSe на їх фазовий склад та структуру для потреб геліоенергетики. Методика осадження плівок ZnSe на поверхні альфа-CIS для буферних шарів плівкових сонячних елементів.
автореферат, добавлен 13.08.2015Створення установки для вимірювання кутових залежностей інтенсивностей поляризованого світла, розробка надійного методу визначення оптичних сталих ультратонких плівок та визначення їх товщини. Дослідження розмірних ефектів та кута брюстера тонких плівок.
автореферат, добавлен 07.03.2014Удосконалення методик отримання плівок металів із відтворюваними структурою та електрофізичними властивостями. Дослідження закономірностей змін електричних властивостей тонких плівок під впливом поверхневого і зерномежового розсіювання носіїв струму.
автореферат, добавлен 05.08.2014Розроблення синтезу мезопористих плівок цирконійвмісного ТіО2 темплатним методом з використанням хелатного стабілізуючого агенту ацетилацетону, що виступають фотокаталізаторами процесів відновлення біхромат-іонів у розчині пари аліфатичних спиртів.
автореферат, добавлен 14.09.2014Аналіз температурних залежностей електропровідності тонких плівок металів. Розмірна залежність ефективного параметру електрон-фононної взаємодії. Тангенс кута нахилу експериментальних температурних залежностей опору для плівок Pd, Pt і Sc. Енергія фонона.
статья, добавлен 23.12.2016Вплив просторово-часової неоднорідності щільної плазми на її фізичні властивості. Методика емісійної і абсорбційної томографічної спектрометрії плазми на основі просторової модуляції випромінювання. Умови формування плазмових згустків у газі і вакуумі.
автореферат, добавлен 12.02.2014Фізичні властивості низькорозмірних напівпровідникових гетероструктур. Дослідження морфологічного переходу від двомірного псевдоморфного росту до трьохмірного в InxGa1-xAs/GaAs наноструктурах. Комбінаційне розсіювання світла в InAs/Al(Ga)Sb структурах.
автореферат, добавлен 30.10.2015Залежність структурних оптичних та фотокаталітичних характеристик плівок та порошків TiO2 і TiO2/Fe2O3 від умов одержання та ступеню полімеризації вихідного розчину. Вплив пороутворювача на реологічні властивості вихідних розчинів плівок оксиду титану.
автореферат, добавлен 28.08.2014Фізичні основи промислово-перспективних технологій виготовлення робочих плівкових елементів різного функціонального призначення з підвищеною електропровідністю, відтворюваністю властивостей і надійністю. Умови дифузійного формування нанорозмірних плівок.
автореферат, добавлен 29.09.2014Визначення характеру взаємодії та фазової рівноваги компонентів в потрійних системах Y – {Al, Si, Ge} – Ga. Кристалічна структура, магнітні та електричні властивості синтезованих потрійних сполук. Ізотермічні перерізи діаграм стану досліджуваних систем.
автореферат, добавлен 22.07.2014Дослідження закономірностей у змінах структурних, електрофізичних, термо-, магніто- і тензорезистивних властивостей сильно легованих та компенсованих гетероепітаксійних плівок Ge. Умови експлуатації мікроелектронних приладів для екстремальної електроніки.
автореферат, добавлен 28.07.2014Результати досліджень магнітоелектричних ефектів в плівках ферит-гранатів оптичними методами – електромагнітооптичного ефекту. Вивчення впливу електричного поля на локальні ділянки плівок з різним просторовим розділенням - сотні мкм. та одиниці мкм.
автореферат, добавлен 30.07.2014Фізичні основи технології створення низькорозмірних і об'ємних напівпровідникових структур та їх електричні, фотоелектронні та оптичні властивості. Розрахунок параметрів енергетичного спектра напівпровідникових чотирикомпонентних твердих розчинів.
автореферат, добавлен 24.06.2014Дослідження процесів формування структури, складу і властивостей зростання плівкових покриттів, утворених залежно від умов розпилення і складу робочого газу. Оптимізація цих умов з метою одержання плівок із заданими фізико-механічними властивостями.
автореферат, добавлен 26.07.2014Стан сучасних уявлень про явище реакційної дифузії. Розвиток атомних методів Монте-Карло у застосуванні до дифузійних процесів. Розробка моделі для опису кінетики твердофазних перетворень між однофазним і двофазним станами під час температурної обробки.
автореферат, добавлен 28.12.2015Дисертаційна робота присвячена дослідженню природи фотолюмінесценції, спектрів поглинання і відбиття, та фотопровідності органічних кристалів і плівок, які складаються з гетероциклічних похідних молекул карбазола, акридона, індола та фенатиазина.
автореферат, добавлен 28.07.2014Предмет вивчення фізики. Основні фізичні поняття природи, фізики, фізичного тіла та фізичних явищ, речовини. Наука про загальні закономірності перебігу явищ природи, властивості і будову матерії, закони її руху. Формування практичних умінь учнів.
разработка урока, добавлен 14.10.2013Аналіз розмірних ефектів у електрофізичних властивостях плівкових систем на основі дисперсних і нанокристалічних шарів. Вплив температури та деформації на питомий опір, коефіцієнт поздовжньої тензочутливості, сутність електроперенесення двошарових плівок.
автореферат, добавлен 24.07.2014Вплив умов кристалізації на атомну будову поверхонь кристалів. Фактори, що впливають на рельєф плівок при рідкофазній епітаксії. Роль адсорбційних процесів при рості кристалів. Характеристика механізму утворення плівок шляхом конденсації з газової фази.
автореферат, добавлен 27.08.2015Дослідження властивостей алмазоподібних плівок вуглецю. Вивчення прихованих шарів карбіду кремнію, синтезованих високодозовою імплантацією вуглецю в монокристалічний кремній. Механізми гетерування домішок та пасивації рекомбінаційно-активних центрів.
автореферат, добавлен 20.04.2014