Эллипсометрия, как метод неразрушающего контроля

Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.

Подобные документы

  • Создание технических средств метрологического обеспечения контроля качества полупроводниковых материалов. Анализ установки по измерению удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом. Измерение сопротивления кремния монокристаллического.

    дипломная работа, добавлен 24.07.2012

  • Классификация и модели тепловой дефектоскопии. Модель активного теплового контроля пассивных дефектов. Оптическая пирометрия. Приборы теплового контроля. Схемы яркостного визуального пирометра с исчезающей нитью. Пирометр спектральных отношений.

    реферат, добавлен 15.01.2009

  • Структурная схема контроля трансформаторных подстанций. Характеристика семейства PROFIBUS. Принцип действия измерительного трансформатора постоянного тока. Режим управления преобразователем частоты. Оценка погрешности каналов измерения напряжения и тока.

    курсовая работа, добавлен 29.05.2010

  • Сущность метода магнитной дефектоскопии. Расчет составляющих напряженности поля. Разработка автоматизированной системы магнитопорошкового контроля оси колесной пары вагон. Регулирование скорости вращения асинхронных двигателей с короткозамкнутым ротором.

    дипломная работа, добавлен 19.06.2014

  • Расчет резистивной цепи методом наложения. Система уравнений по методу законов Кирхгофа. Метод эквивалентного генератора. Матрично-топологический метод, применение. Классический, оперативный метод расчета. Графики характера тока, его изменение во времени.

    курсовая работа, добавлен 10.06.2012

  • Методы получения наноразмерных объектов и контроля их характеристик. Изменение механических, электрических, магнитных, оптических и химических свойств металлов при переходе в наносостояние. Определение характеристик наноразмерных частиц в суспензиях.

    реферат, добавлен 26.06.2010

  • Дифракция быстрых электронов на отражение как метод анализа структуры поверхности пленок в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии. Анализ температурной зависимости толщины пленки кремния и германия на слабо разориентированой поверхности кремния.

    курсовая работа, добавлен 07.06.2011

  • Расчёт состояния и параметров пара в начале и конце процесса, коэффициента теплоотдачи у поверхности панели. Расчёт газовой постоянной воздуха, молекулярной массы и количества теплоты. H-d-диаграмма влажного воздуха. Понятие конвективного теплообмена.

    контрольная работа, добавлен 02.03.2014

  • Расчет основных размеров и массы трансформатора. Определение испытательных напряжений обмоток и параметров холостого хода. Выбор марки, толщины листов стали и типа изоляции пластин, индукции в магнитной системе. Расчет параметров короткого замыкания.

    курсовая работа, добавлен 20.03.2015

  • Реостатные и индуктивные преобразователи. Анализ методов и средств контроля линейных перемещений. Расчет параметров оптической системы. Описание оптико-механической схемы. Расчет интегральной чувствительности. Расчет потерь излучения в оптической системе.

    курсовая работа, добавлен 19.05.2013

  • Вычисление геометрических отражений как способ контроля правильности выбора формы помещения и очертаний его внутренних поверхностей. Определение дополнительных акустических параметров зала. Частотный анализ звукового поля. Расчет времени реверберации.

    контрольная работа, добавлен 12.09.2014

  • Четыре основы метрологического обеспечения измерений: научная, организационная, нормативная и техническая. Методика выполнения измерений, государственный метрологический надзор. Закон "Об обеспечении единства измерений", специальные и вторичные эталоны.

    контрольная работа, добавлен 28.02.2011

  • Средства обеспечения единства измерений, исторические аспекты метрологии. Измерения механических величин. Определение вязкости, характеристика и внутреннее устройство приборов для ее измерения. Проведение контроля температуры и ее влияние на вязкость.

    курсовая работа, добавлен 12.12.2010

  • Метод конечных элементов (МКЭ) — численный метод решения задач прикладной физики. История возникновения и развития метода, области его применения. Метод взвешенных невязок. Общий алгоритм статического расчета МКЭ. Решение задач методом конечных элементов.

    курсовая работа, добавлен 31.05.2012

  • Выбор структурной схемы подстанции и понижающих трансформаторов. Расчет токов короткого замыкания. Выбор схем распределительных устройств высокого и низкого напряжения. Подбор коммутационной аппаратуры, токоведущих частей, средств контроля и измерений.

    курсовая работа, добавлен 24.09.2014

  • Метод контурных токов позволяет уменьшить количество уравнений системы. Метод узловых потенциалов. Положительное направление всех узловых напряжений принято считать к опорному узлу. Определить токи в ветвях.

    реферат, добавлен 07.04.2007

  • Пример использования ЯМР в качестве аналитического метода, принцип его применения. Идентификация известных и неизвестных веществ, характеристика внешнего и внутреннего стандарта. Мультиплетная структура линий, методика ЯМР для определения концентраций.

    реферат, добавлен 27.08.2009

  • Методы расчета простых и сложных заземлителей в однородной и неоднородной среде. Обоснование необходимости определения показателей надежности при проектировании заземляющих устройств. Выбор метода контроля основных параметров заземляющих устройств.

    дипломная работа, добавлен 13.06.2012

  • Методика нахождения недостающих параметров цикла адиабатного процесса. Расчет теплообмена от нагретых газов к воде через многослойную стенку из слоёв сажи, накипи, металла и масла. Вычисление коэффициента теплопроводности со стороны воды и газа.

    контрольная работа, добавлен 13.11.2009

  • Способы организации контроля технического состояния высоковольтных кабельных линий. Аппаратные средства, борьба с помехами при регистрации частичных разрядов. Техническое исполнение системы "КМК-500". Управление затратами на поддержание оборудования.

    презентация, добавлен 07.03.2016

  • Исследование физических свойств тонких плёнок Cu, полученных методом отжига интерметаллических слоёв Cu-In-Ga в комбинированной атмосфере паров серы и селена в потоке инертного газа. Анализ и оценка преимуществ данного метода перед ему подобными.

    реферат, добавлен 25.06.2010

  • Одно из наиболее ярких научных достижений ХХ столетия - теория метода комбинационного рассеяния. Упругое и комбинационное рассеяние света. Применение Рамановской спектроскопии для контроля лекарственных, наркотических и токсичных средств и веществ.

    курсовая работа, добавлен 08.06.2011

  • Примесные состояния атомного типа в полупроводниковых квантовых ямах, проволоках, точках во внешних полях. Магнитооптическое поглощение комплексов "квантовая точка–водородоподобный примесный центр". Актуальность исследований и их практическое применение.

    дипломная работа, добавлен 23.08.2010

  • Основные закономерности развития и особенности формирования регулярных поверхностных микро- и наноструктур. Анализ получения регулярных поверхностных и пористых микро- и наноструктур с использование методов объемной микрообработки и фотолитографии.

    курсовая работа, добавлен 08.10.2015

  • Средства контроля и регулирования параметров теплогидравлического режима реактора. Оперативный контроль параметров расхода теплоносителя через технологический канал средствами СЦК Скала. Порядок корректировки режима при работе реактора на мощности.

    отчет по практике, добавлен 07.08.2013

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.