Эллипсометрия, как метод неразрушающего контроля

Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.

Подобные документы

  • Сущность технологических приемов химического травления и контроля качества поверхности пластин кремния. Особенности термического вакуумного напыления алюминия на полупроводниковую подложку. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов.

    методичка, добавлен 13.06.2013

  • Анализ состава системы учета и контроля ядерных материалов, методика комплексной оценки ее состояния. Расчет показателей качества измерений и организации системы, оценка степени подготовки персонала. Изучение методов определения весовых коэффициентов.

    дипломная работа, добавлен 27.01.2014

  • Состав элегазового электротехнического оборудования, задачи контроля его параметров. Канал контроля влажности элегаза. Мониторинг подстанционного оборудования. Диапазон величин контролируемых параметров. Конструкции системы диагностики и контроля КРУЭ.

    курсовая работа, добавлен 01.02.2012

  • Анализ существующих типов закладных устройств и способов их обнаружения. Построение модели для расчета теплового поля поверхности земли. Демаскирующие признаки взрывных устройств. Тепловой вид неразрушающего контроля и теплофизическое описание дефектов.

    курсовая работа, добавлен 19.06.2014

  • Природа и характеристики магнитного поля. Магнитные свойства различных веществ и источники магнитного поля. Устройство электромагнитов, их классификация, применение и примеры использования. Соленоид и его применение. Расчет намагничивающего устройства.

    курсовая работа, добавлен 17.01.2011

  • Выбор измерительного прибора для допускового контроля параметров. Определение доверительных границ неисключенной доверительной погрешности результата измерения. Назначение и принцип действия цифровых универсальных вольтметров и их составных частей.

    курсовая работа, добавлен 14.04.2019

  • Основные виды контроля состояния силового трансформатора во время работы и при периодических обследованиях, выявление его дефектов. Газохроматографический анализ масла и методы его интерпретации. Использование автоматизированных систем контроля.

    дипломная работа, добавлен 19.05.2011

  • Роль и значение измерений в науке и технике. Перспективы развития электроизмерительной техники. Структурная схема электронно-лучевого осциллографа, назначение основных его узлов. Метод петли из жил кабеля (метод Муррея). Номинальная постоянная счетчика.

    контрольная работа, добавлен 05.11.2010

  • Метод неразрушающего послойного исследования внутренней структуры объекта посредством его многократного просвечивания в различных пересекающихся направлениях. Принцип работы рентгеновской компьютерной томографии (КТ). Изменение окна изображения КТ.

    реферат, добавлен 02.06.2009

  • Метод совпадений и антисовпадений как один из экспериментальных методов ядерной физики и физики элементарных частиц. Регистрация частиц и квантов с заданной между ними корреляцией в пространстве и во времени. Способы повышения временного разрешения.

    контрольная работа, добавлен 15.01.2014

  • Упругое и неупругое рассеяние света, теория комбинационного метода. Применение Рамановской спектроскопии для контроля лекарственных, наркотических и токсичных средств. Комбинационное рассеяние света как метод изучения вещества, основные преимущества.

    курсовая работа, добавлен 28.10.2011

  • Волноводный акустический метод контроля. Спектральное представление сигнала. Выбор и обоснование, расчет основных параметров для платы аналого-цифрового преобразования. Подробные характеристики ноутбука DELL Inspirion N5110. Автоматическая система.

    курсовая работа, добавлен 09.03.2013

  • Метрологическое обеспечение контроля электрических величин. Параметры и свойства измерительной техники: показания средств измерений; градуировочная характеристика; разрешающая способность, диапазон, предел, чувствительность. Методика выполнения измерений.

    презентация, добавлен 31.07.2012

  • Общая характеристика методов, применяемых для измерения параметров капилляров фильер: голографической интерферометрии, Фурье-оптики, микроскопический. Сравнительный анализ рассмотренных методов, определение их основных преимуществ и недостатков.

    контрольная работа, добавлен 20.05.2013

  • Краткий обзор наиболее распространенных видов приборов учета и различных способов автоматизированного контроля и учета электроэнергии. Состав и содержание основных стадий проектирования системы автоматизированной системы контроля и учета электроэнергии.

    отчет по практике, добавлен 24.06.2015

  • Характеристика системы электроснабжения промышленного предприятия. Проектирование и расчет автоматизированной системы контроля и учета энергоносителей. Анализ технических параметров и выбор электрических счетчиков, микроконтроллеров, трансформаторов тока.

    контрольная работа, добавлен 29.01.2014

  • Особенности разработки схемы теплового контроля водяного котла утилизатора КУВ-35/150, способы организации процесса регулирования питания. Этапы расчета узла измерения расхода сетевой воды за котлом. Анализ функциональной схемы теплового контроля.

    дипломная работа, добавлен 15.01.2013

  • Особенности конструкции и диагностирования трансформаторных вводов. Метод контроля вводов путем измерения тангенса угла диэлектрических потерь и емкости изоляции. Дефектоскопия, основанная на хроматографическом анализе растворенных в масле газов (ХАРГ).

    реферат, добавлен 25.02.2011

  • Исследование кристаллической структуры поверхности с помощью рентгеновских и электронных пучков. Дифракция электронов низких и медленных энергий (ДЭНЭ, ДМЭ), параметры. Тепловые колебания решетки, фактор Дебая-Валлера. Реализация ДЭНЭ, применение метода.

    курсовая работа, добавлен 08.06.2012

  • Основные положения математической физики и теории дифференциальных уравнений. Поперечные колебания. Метод разделения переменных или метод Фурье. Однородные линейные уравнения второго порядка с постоянными коэффициентами.

    дипломная работа, добавлен 08.08.2007

  • Методы учета и контроля ядерных материалов в "мокром" хранилище отработавшего ядерного топлива реакторных установок ВВЭР-1000. Требования к применению средств контроля доступа и проведению физической инвентаризации. Порядок оценки безвозвратных потерь.

    дипломная работа, добавлен 16.01.2014

  • Перспективы методов контроля оптической толщины покрытий различного функционального назначения. Контроль толщины оптических покрытий на основе тугоплавких оксидов формируемых методом электронно-лучевого синтеза. Расчёт интерференционных покрытий.

    дипломная работа, добавлен 18.03.2015

  • Анализ применяемых методов и средств контроля, регулирования и сигнализации технологических параметров. Выбор и обоснование микропроцессорного контроллера. Разработка функциональной схемы электропривода. Передаточная функция управляемого выпрямителя.

    дипломная работа, добавлен 31.12.2015

  • Методика выполнения измерений как технология и процесс измерений. Формирование исходных данных, выбор методов и средств измерений. Разработка документации методики выполнения измерений напряжения сложной формы на выходе резистивного делителя напряжения.

    курсовая работа, добавлен 25.11.2011

  • Ознакомление с методом компенсации в практике измерений физических величин. Погрешности при введении в электрическую цепь амперметра или вольтметра. Компенсационные методы и их суть. Мост постоянного тока Уитстона.

    лабораторная работа, добавлен 18.07.2007

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.