Эллипсометрия, как метод неразрушающего контроля

Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.

Подобные документы

  • Тонкопленочные слои; назначение тонких пленок, методы их нанесения. Устройство вакуумного оборудования для получения тонких пленок. Основные стадии осаждения пленок и механизмы их роста. Контроль параметров технологических процессов и осажденных слоев.

    курсовая работа, добавлен 11.09.2014

  • Рассмотрение понятия астигматическая разность и формула её определения в практике изготовления стигматических линз из оптического бесцветного стекла. Характеристики материала, виды преломлений, параметры конструкций и методика контроля их качества.

    реферат, добавлен 16.05.2011

  • Структура межзеренных границ наноструктурированных материалов и сверхпластичность наноструктур. Сущность закона Хола-Петча. Дефекты в наноструктурированных материалах. Влияние границ раздела на механические свойства нанокристаллических наноматериалов.

    курсовая работа, добавлен 21.09.2013

  • Выбор методов и средств измерений. Типовые метрологические характеристики вольтметра. Методика выполнения измерений переменного напряжения сложной формы на выходе резистивного делителя напряжения методом вольтметра в рабочих условиях, обработка данных.

    контрольная работа, добавлен 25.11.2011

  • Физические основы и практические результаты использования проникающих излучений в технологии ядерного легирования полупроводниковых материалов. Их применение в производстве полупроводниковых приборов, мощных кремниевых диодов, тиристоров и транзисторов.

    курсовая работа, добавлен 08.06.2015

  • Природа электрического тока. Устройства для передачи электрической энергии и контроля ее параметров. Прокладка кабелей в коллекторах и туннелях. Монтаж полок и стоек. Защита кабелей от механических повреждений. Вспомогательные элементы электрической цепи.

    курс лекций, добавлен 09.03.2017

  • Определение вязкости биологических жидкостей. Метод Стокса (метод падающего шарика). Капиллярные методы, основанные на применении формулы Пуазейля. Основные достоинства ротационных методов. Условия перехода ламинарного течения жидкости в турбулентное.

    презентация, добавлен 06.04.2015

  • Достижения современной планарной технологии и значение в них физики поверхностей. Трехслойная система как базовая структура микроэлектроники. Влияние поверхности на работу полупроводниковых приборов: оптоэлектронные приборы, сверхпроводящие пленки.

    курсовая работа, добавлен 17.05.2009

  • Сущность понятий магнетизма, ферромагнетизма, магнитной анизотропии, доменов. Анализ явления гистерезиса в ферромагнетике, перехода из парамагнетика в ферромагнетик и природа ферромагнетизма. Методы исследования тонких ферромагнитных пленок, их сравнение.

    дипломная работа, добавлен 05.11.2009

  • Основные положения и алгоритм решения задач методом эквивалентного генератора. Применение метода междуузлового напряжения при анализе многоконтурной электрической схемы, имеющей только два потенциальных узла. Составление эквивалентной схемы замещения.

    презентация, добавлен 22.09.2013

  • Выбор марки и толщины листов стали и типа изоляции пластин. Определение испытательных напряжений обмоток. Расчет механических сил в обмотках при коротком замыкании. Определение размеров пакетов и активных сечений стержней и ярм, параметров холостого хода.

    курсовая работа, добавлен 13.01.2016

  • Особенности частичного насыщения поверхностных атомов кремния метильными группами и методов моделирования кластера минимального размера. Иммобилизация метильных групп на поверхность димеризованного гидрогенизированного кластера в различных соотношениях.

    доклад, добавлен 26.01.2011

  • Эффект появления незеркальных отражений и соответствующих пиков интенсивностей в преломленных пучках. Рассмотрение результатов прохождения нейтронной волны через границу раздела двух доменов. Методика обработки результатов рефлектометрических измерений.

    реферат, добавлен 19.06.2010

  • Системы условных обозначений при использовании полупроводниковых приборов в электронных устройствах для унификации их обозначения и стандартизации параметров. Графические обозначения и стандарты. Биполярные транзисторы, принципы и правила их обозначения.

    презентация, добавлен 09.11.2014

  • Технология изготовления, свойства и сферы применения квантовых ям, нитей и точек. Метод молекулярно-лучевой эпитаксии для выращивания кристаллических наноструктур. Использование двойной гетероструктуры полупроводниковых лазеров для генерации излучения.

    дипломная работа, добавлен 05.04.2016

  • Описание основных мероприятий, направленных на повышение эксплуатационной надежности электрооборудования. Формы контроля состояния токоведущих частей и контактных соединений. Обслуживание потребительских подстанций. Эксплуатация трансформаторного масла.

    реферат, добавлен 24.12.2008

  • Особенности применения метода эквивалентных синусоид для приближенного расчета режима в нелинейных цепях. Метод эквивалентного генератора для цепей с одним нелинейным элементом. Метод итераций для расчета сложных схем с применением вычислительной техники.

    презентация, добавлен 28.10.2013

  • Исходные соотношения теории теплопроводности и термоупругости тонких изотропных оболочек. Применение двумерного интегрального преобразования Фурье к исходным соотношениям. Сведение задачи теплопроводности к системам сингулярных интегральных уравнений.

    дипломная работа, добавлен 11.06.2013

  • Элементы рабочего процесса в котельной установке. Обоснование необходимости автоматизации технологических параметров. Система автоматического регулирования и контроля питания котла, ее монтаж и наладка. Спецификация на монтажные изделия и материалы.

    дипломная работа, добавлен 01.06.2015

  • Влияние улучшения термоизоляции на потенциал энергосбережения. Ситуация с энергосбережением в России. Анализ распространенных и высокоэффективных методов улучшения термоизоляции зданий, находящихся в нашем климате. Способы контроля за утечками тепла.

    реферат, добавлен 17.03.2013

  • Природа явления, свойства, способы получения и использование сжиженных газов. Безопасный метода Линде, эффективный метод Клода, исследование свойств при нулевой температуре с помощью сжиженных газов. Применение газов в промышленности, медицине.

    реферат, добавлен 23.04.2011

  • Характеристика подстанции ГПП-4 ОАО "НЛМК". Анализ системы контроля распределения электроэнергии и основных электрических параметров. Расчет искусственного освещения помещений, составление электробаланса. Оценка уровня надежности работы подстанции.

    дипломная работа, добавлен 27.12.2012

  • Методы и средства изучения свойств наноструктур. Экспериментальное исследование электрофизических параметров полупроводниковых материалов. Проведение оценочных расчетов теоретического предела минимального размера изображения, получаемого при литографии.

    дипломная работа, добавлен 28.03.2016

  • Градиентный метод Флетчера-Ривса: стратегия поиска, алгоритм, пример. Постановка задачи оптимизации. Задача на минимум функции скорости и ускорения. Проблемы в составлении штрафной функции, необходимой для избавления ограничений и выборе параметра.

    курсовая работа, добавлен 30.06.2011

  • Физические основы различных распылений: ионного, катодного, магнетронного, высокочастотного. Получение покрытий распылением в несамостоятельном газовом разряде. Методы контроля параметров осаждения покрытий. Вакуумная металлизация полимерных материалов.

    курсовая работа, добавлен 19.01.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.