Эллипсометрия, как метод неразрушающего контроля

Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.

Подобные документы

  • Комбинационное рассеяние как переход электрона с одного колебательно-вращательного уровня на другой в результате взаимодействия молекулы с внешним полем. Общая характеристика лазерных методов детектирования веществ. Особенности лидарных методов.

    презентация, добавлен 19.02.2014

  • Полупроводниковый кремний как один из важнейших полупроводниковых материалов, используемых в настоящее время. Ширина энергетического зазора между дном зоны проводимости и потолком валентной зоны, в котором отсутствуют разрешённые состояния для электрона.

    контрольная работа, добавлен 25.11.2012

  • Общие сведения о полупроводниках. Методы очистки и переплавки полупроводниковых материалов. Металлургия германия и кремния. Применение полупроводников. Тепловые сопротивления. Фотосопротивления. Термоэлементы. Холодильники и нагреватели.

    реферат, добавлен 25.06.2004

  • Методы определения диэлектрических проницаемостей вещества, основанные на изучении поля стоячей волны в исследуемом диэлектрике. Определение параметров вещества путем спирального и диафрагмированного резонаторов. Методика электротехнических измерений.

    дипломная работа, добавлен 07.08.2014

  • Предел, ограничивающий точность измерений. Математическая формулировка принципа неопределенностей Гайзенберга. Принцип соответствия между квантовомеханическими величинами и понятиями классической механики. Волновая функция и ее статистический смысл.

    презентация, добавлен 28.07.2015

  • Методика измерений и обработки результатов, принципы взвешивания. Вычисление систематических и случайных погрешностей. Проверка сходимости и воспроизводимости результатов измерений, полученных при взвешивании на аналитических и технохимических весах.

    лабораторная работа, добавлен 16.10.2013

  • Свет как электромагнитные волны. Явление интерференции света. Характерные особенности дифракционных явлений в оптике. Демонстрационные эксперименты по волновой оптике. Изучение зависимости показателя преломления воздуха от давления, метод измерений.

    курсовая работа, добавлен 18.11.2014

  • Теорема о циркуляции вектора. Работа сил электростатического поля. Потенциальная энергия. Разность потенциалов, связь между ними и напряженностью. Силовые линии и эквипотенциальные поверхности. Расчет потенциалов простейших электростатических полей.

    презентация, добавлен 13.02.2016

  • Описание структуры и алгоритмов работы интегральных микросхем. Исследование образования поверхностных дефектов при воздействии низкоинтенсивного гамма-излучения. Методика прогнозирования отказов тестовых генераторов. Сопоставление результатов испытаний.

    диссертация, добавлен 15.01.2015

  • Выбор необходимого состава системы релейной защиты блока, обеспечивающего полноту его защищенности, расчет вставок срабатывания и разработка схемы подключения устройств. Разработка методов проведения технического обслуживания реле контроля сигнализатора.

    курсовая работа, добавлен 22.11.2010

  • Расчет энергии иона. Количественная интерпретация данных о рассеянии быстрых ионов. Метод спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий. Форма энергетических спектров двухкомпонентных материалов. Спектр кремния с анатомами на поверхности.

    контрольная работа, добавлен 14.11.2011

  • Импульсный метод измерения дальности и частоты сигнала. Оценка амплитуды детерминированного сигнала. Потенциальная точность измерения угловых координат. Задача нелинейной фильтрации параметров сигнала. Оптимальная импульсная характеристика фильтра.

    реферат, добавлен 13.10.2013

  • Магнитоэлектрические измерительные механизмы. Метод косвенного измерения активного сопротивления до 1 Ом и оценка систематической, случайной, составляющей и общей погрешности измерения. Средства измерения неэлектрической физической величины (давления).

    курсовая работа, добавлен 29.01.2013

  • Конструкция турбины и ее технико-экономические показатели. Выбор оптимального значения степени парциальности. Число нерегулируемых ступеней давления и распределение теплового перепада между ними. Расчет осевого усилия, действующего на ротор турбины.

    курсовая работа, добавлен 13.01.2016

  • Электрофизические свойства полупроводников. Структура полупроводниковых кристаллов. Элементы зонной теории твердого тела. Микроструктурные исследования влияния электронного облучения на электрофизические характеристики полупроводниковых приборов.

    курсовая работа, добавлен 18.09.2015

  • Понятие случайного процесса. Описания случайных процессов. Состояние системы с хаотической динамикой. Метод ансамблей Гиббса. Описание движения шаровидной частицы. Метод решения задач броуновского движения. Стохастическое дифференциальное уравнение.

    презентация, добавлен 22.10.2013

  • Коэффициенты диффузии, ступенчатые поверхности. Алгоритм Метраполиса, метод Монте-Карло, парциальное и среднее покрытие, термодинамический фактор. Диффузия системы взаимодействующих частиц. Зависимость среднего покрытия от химического потенциала.

    дипломная работа, добавлен 10.12.2013

  • Схематическое описание переменного состояния электрической цепи, пример преобразования Лапласа. Проведение расчета оригинала переменного состояния цепи с помощью теоремы разложения. Приближенное состояние электрической цепи и методы его интегрирования.

    презентация, добавлен 20.02.2014

  • Характеристика и назначение измерений, проводимых в процессе летных испытаний и эксплуатации объектов ракетно-космической техники. Сущность внешнетраекторных и радиотелеметрических измерений параметров объектов. Критерии выбора принципов построения РТС.

    реферат, добавлен 08.10.2010

  • Оптико-гальванічна спектроскопія. Оптогальванічна лазерна спектроскопія. Експериментальна установка для оптогальванічної спектроскопії розряду в лампі з пустотілим катодом. Оптико-рефракційні методи. Метод термолінзи. Дефлекційний метод – міраж – ефект.

    реферат, добавлен 22.04.2007

  • Средняя квадратическая погрешность результата измерения. Определение доверительного интервала. Систематическая погрешность измерения величины. Среднеквадратическое значение напряжения. Методика косвенных измерений. Применение цифровых частотомеров.

    контрольная работа, добавлен 30.11.2014

  • Расчет кожухотрубных и пластинчатых теплообменников. Графо-аналитический метод определения коэффициента теплопередачи и поверхности нагрева. Гидравлический расчет кожухотрубных теплообменников, трубопроводов воды, выбор насосов и конденсатоотводчика.

    курсовая работа, добавлен 30.11.2015

  • Решение линейных дифференциальных уравнений, характеризующих переходные процессы в линейных цепях. Прямое преобразование Лапласа. Сущность теоремы разложения. Законы Ома и Кирхгофа в операторной форме. Схема замещения емкости. Метод контурных токов.

    презентация, добавлен 28.10.2013

  • Комплексные сенсорные системы типа "электронный язык", их функциональные возможности. Структура емкостного тонкопленочного сенсора, функционализированного углеродными нанотрубками. Операция очистки ситаловых пластин. Суть фотолитографического процесса.

    дипломная работа, добавлен 18.05.2016

  • Определение размеров патрубков отбора пара из турбины. Число нерегулируемых ступеней давления и распределение теплового перепада между ними. Детальный тепловой расчет двухвенечной ступени скорости. Расчет осевого усилия, действующего на ротор турбины.

    курсовая работа, добавлен 13.01.2016

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.