Эллипсометрия, как метод неразрушающего контроля
Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.
Подобные документы
Комбинационное рассеяние как переход электрона с одного колебательно-вращательного уровня на другой в результате взаимодействия молекулы с внешним полем. Общая характеристика лазерных методов детектирования веществ. Особенности лидарных методов.
презентация, добавлен 19.02.2014Полупроводниковый кремний как один из важнейших полупроводниковых материалов, используемых в настоящее время. Ширина энергетического зазора между дном зоны проводимости и потолком валентной зоны, в котором отсутствуют разрешённые состояния для электрона.
контрольная работа, добавлен 25.11.2012Общие сведения о полупроводниках. Методы очистки и переплавки полупроводниковых материалов. Металлургия германия и кремния. Применение полупроводников. Тепловые сопротивления. Фотосопротивления. Термоэлементы. Холодильники и нагреватели.
реферат, добавлен 25.06.2004Методы определения диэлектрических проницаемостей вещества, основанные на изучении поля стоячей волны в исследуемом диэлектрике. Определение параметров вещества путем спирального и диафрагмированного резонаторов. Методика электротехнических измерений.
дипломная работа, добавлен 07.08.2014- 105. Квантовые состояния
Предел, ограничивающий точность измерений. Математическая формулировка принципа неопределенностей Гайзенберга. Принцип соответствия между квантовомеханическими величинами и понятиями классической механики. Волновая функция и ее статистический смысл.
презентация, добавлен 28.07.2015 Методика измерений и обработки результатов, принципы взвешивания. Вычисление систематических и случайных погрешностей. Проверка сходимости и воспроизводимости результатов измерений, полученных при взвешивании на аналитических и технохимических весах.
лабораторная работа, добавлен 16.10.2013Свет как электромагнитные волны. Явление интерференции света. Характерные особенности дифракционных явлений в оптике. Демонстрационные эксперименты по волновой оптике. Изучение зависимости показателя преломления воздуха от давления, метод измерений.
курсовая работа, добавлен 18.11.2014Теорема о циркуляции вектора. Работа сил электростатического поля. Потенциальная энергия. Разность потенциалов, связь между ними и напряженностью. Силовые линии и эквипотенциальные поверхности. Расчет потенциалов простейших электростатических полей.
презентация, добавлен 13.02.2016- 109. Применение ионизирующего излучения для ускоренных испытаний на надежность МОП интегральных микросхем
Описание структуры и алгоритмов работы интегральных микросхем. Исследование образования поверхностных дефектов при воздействии низкоинтенсивного гамма-излучения. Методика прогнозирования отказов тестовых генераторов. Сопоставление результатов испытаний.
диссертация, добавлен 15.01.2015 Выбор необходимого состава системы релейной защиты блока, обеспечивающего полноту его защищенности, расчет вставок срабатывания и разработка схемы подключения устройств. Разработка методов проведения технического обслуживания реле контроля сигнализатора.
курсовая работа, добавлен 22.11.2010Расчет энергии иона. Количественная интерпретация данных о рассеянии быстрых ионов. Метод спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий. Форма энергетических спектров двухкомпонентных материалов. Спектр кремния с анатомами на поверхности.
контрольная работа, добавлен 14.11.2011Магнитоэлектрические измерительные механизмы. Метод косвенного измерения активного сопротивления до 1 Ом и оценка систематической, случайной, составляющей и общей погрешности измерения. Средства измерения неэлектрической физической величины (давления).
курсовая работа, добавлен 29.01.2013Импульсный метод измерения дальности и частоты сигнала. Оценка амплитуды детерминированного сигнала. Потенциальная точность измерения угловых координат. Задача нелинейной фильтрации параметров сигнала. Оптимальная импульсная характеристика фильтра.
реферат, добавлен 13.10.2013Конструкция турбины и ее технико-экономические показатели. Выбор оптимального значения степени парциальности. Число нерегулируемых ступеней давления и распределение теплового перепада между ними. Расчет осевого усилия, действующего на ротор турбины.
курсовая работа, добавлен 13.01.2016Электрофизические свойства полупроводников. Структура полупроводниковых кристаллов. Элементы зонной теории твердого тела. Микроструктурные исследования влияния электронного облучения на электрофизические характеристики полупроводниковых приборов.
курсовая работа, добавлен 18.09.2015Понятие случайного процесса. Описания случайных процессов. Состояние системы с хаотической динамикой. Метод ансамблей Гиббса. Описание движения шаровидной частицы. Метод решения задач броуновского движения. Стохастическое дифференциальное уравнение.
презентация, добавлен 22.10.2013Коэффициенты диффузии, ступенчатые поверхности. Алгоритм Метраполиса, метод Монте-Карло, парциальное и среднее покрытие, термодинамический фактор. Диффузия системы взаимодействующих частиц. Зависимость среднего покрытия от химического потенциала.
дипломная работа, добавлен 10.12.2013Схематическое описание переменного состояния электрической цепи, пример преобразования Лапласа. Проведение расчета оригинала переменного состояния цепи с помощью теоремы разложения. Приближенное состояние электрической цепи и методы его интегрирования.
презентация, добавлен 20.02.2014Характеристика и назначение измерений, проводимых в процессе летных испытаний и эксплуатации объектов ракетно-космической техники. Сущность внешнетраекторных и радиотелеметрических измерений параметров объектов. Критерии выбора принципов построения РТС.
реферат, добавлен 08.10.2010Оптико-гальванічна спектроскопія. Оптогальванічна лазерна спектроскопія. Експериментальна установка для оптогальванічної спектроскопії розряду в лампі з пустотілим катодом. Оптико-рефракційні методи. Метод термолінзи. Дефлекційний метод – міраж – ефект.
реферат, добавлен 22.04.2007Средняя квадратическая погрешность результата измерения. Определение доверительного интервала. Систематическая погрешность измерения величины. Среднеквадратическое значение напряжения. Методика косвенных измерений. Применение цифровых частотомеров.
контрольная работа, добавлен 30.11.2014Расчет кожухотрубных и пластинчатых теплообменников. Графо-аналитический метод определения коэффициента теплопередачи и поверхности нагрева. Гидравлический расчет кожухотрубных теплообменников, трубопроводов воды, выбор насосов и конденсатоотводчика.
курсовая работа, добавлен 30.11.2015Комплексные сенсорные системы типа "электронный язык", их функциональные возможности. Структура емкостного тонкопленочного сенсора, функционализированного углеродными нанотрубками. Операция очистки ситаловых пластин. Суть фотолитографического процесса.
дипломная работа, добавлен 18.05.2016Решение линейных дифференциальных уравнений, характеризующих переходные процессы в линейных цепях. Прямое преобразование Лапласа. Сущность теоремы разложения. Законы Ома и Кирхгофа в операторной форме. Схема замещения емкости. Метод контурных токов.
презентация, добавлен 28.10.2013Определение размеров патрубков отбора пара из турбины. Число нерегулируемых ступеней давления и распределение теплового перепада между ними. Детальный тепловой расчет двухвенечной ступени скорости. Расчет осевого усилия, действующего на ротор турбины.
курсовая работа, добавлен 13.01.2016