Фізико-технологічні основи фотолітографії

Фоторезисти і фотошаблони в фотолітографії. Методи виготовлення і характеристики фотошаблонів. Технологія фотолітографії. Забезпечення якості фотолітографії. Порушення якості фотолітографії. Методи боротьби з причинами порушення якості фотолітографії.

Подобные документы

  • Методи кількісної електронної мікроскопії. Роздільна здатність оптичних приладів. Будова та принцип дії растрового просвічуючого та емісійного мікроскопів. Особливості застосування прибору в біології при вивченні тонкої будови і структури клітки тканин.

    реферат, добавлен 16.10.2014

  • Історія виникнення фотометричних методів. Класифікація методів за способом трансформування поглиненої енергії. Основні закономірності світлопоглинання. Методика визначення концентрації речовини в розчині. Устаткування для фотометричних вимірів.

    реферат, добавлен 12.05.2009

  • Розповсюдження молібдену в природі. Фізичні властивості, отримання та застосування. Структурні методи дослідження речовини. Особливості розсіювання рентгенівського випромінювання електронів і нейтронів. Монохроматизація рентгенівського випромінювання.

    дипломная работа, добавлен 24.01.2010

  • Визначення поняття сцинтиляційного спектрометра як приладу для реєстрації і спектрометрії частинок. Основні методи спостереження та вивчення зіткнень і взаємних перетворень ядер і елементарних частинок. Принцип дії лічильника Гейгера та камери Вільсона.

    презентация, добавлен 17.03.2012

  • Основні відомості про кристали та їх структуру. Сполучення елементів симетрії структур, грати Браве. Кристалографічні категорії, системи та сингонії. Вирощування монокристалів з розплавів. Гідротермальне вирощування, метод твердофазної рекристалізації.

    курсовая работа, добавлен 28.10.2014

  • Огляд існуючих лічильників та методів вимірювання витрати рідини. Аналіз можливостей застосування комп’ютерного моделювання при проектуванні лічильника електромагнітного типу. Методи покращення метрологічних характеристик електромагнітних витратомірів.

    курсовая работа, добавлен 01.06.2015

  • Розкладання періодичної функції в ряд Фур'є з погляду фізики. Графоаналітичний метод спектрального аналізу періодичних сигналів. Розрахунок електричної величини. Комп’ютерне моделювання приладу. Використання математичної моделі аналізатора спектру.

    курсовая работа, добавлен 03.11.2014

  • Теорія поглинання світла молекулами. Апаратура для вимірювання поглинання у видимому та ультрафіолетовому світлі. Методика спектрофотометричних вимірювань. Фактори, що впливають на абсорбціонні властивості хромофора. Поглинання поляризованого світла.

    курсовая работа, добавлен 31.10.2014

  • Сучасні технології теплової обробки матеріалів з використанням досвіду з виготовлення цементу, будівельної кераміки, залізобетону. Теплофізичні характеристики газів, повітря, водяної пари, видів палива, родовищ України, місцевих опорів руху повітря.

    реферат, добавлен 23.09.2009

  • Фотометрія як розділ фізичної оптики, предмет та методи її вивчення, ступінь розвитку на сьогодні та досягнення в даній сфері. Яскравість деяких джерел випромінювання. Порядок проходження потоку випромінювання через селективно проглинаючі середовища.

    контрольная работа, добавлен 07.12.2010

  • Визначення поняття спектру електромагнітного випромінювання; його види: радіо- та мікрохвилі, інфрачервоні промені. Лінійчаті, смугасті та безперервні спектри. Структура молекулярних спектрів. Особливості атомно-емісійного та абсорбційного аналізу.

    курсовая работа, добавлен 31.10.2014

  • Умови і наслідки виникнення атмосферних перенапружень. Викликані ними знищення і пошкодження електромашин домашнього господарства і електроустаткування промислових установок, незахищених від перенапружень. Пристрої і методи захисту від перенапруження.

    реферат, добавлен 05.12.2009

  • Електроліти, їх поняття та характеристика основних властивостей. Особливості побудови твердих електролітів, їх різновиди. Класифікація суперпріонних матеріалів. Анізотпрапія, її сутність та основні положення. Методи виявлення суперіонної провідності.

    дипломная работа, добавлен 12.02.2009

  • Розгляд поняття, способів вираження хімічної чистоти та розділення матеріалів. Характеристика сорбційних (абсорбція, адсорбція), кристалічних процесів, рідинної екстракції, перегонки через газову фазу (закони Коновалова) та хімічних транспортних реакцій.

    курсовая работа, добавлен 05.04.2010

  • Електродинамічні зусилля в електричних апаратах, методи розрахунку. Втрати в електричних апаратах. Теплопередача і нагрів провідників при різних режимах роботи. Електричні контакти. Відновлювана міцність та особливості горіння дуги. Вимикачі та реактори.

    курс лекций, добавлен 05.02.2010

  • Основні споживачі продуктів роботи газотурбінних установок. Принципіальна схема й ідеальний цикл газотурбінної установки з підведенням тепла при постійному тиску та об'ємі. Головні методи підвищення коефіцієнту підвищеної дії, регенерація теплоти.

    курсовая работа, добавлен 16.03.2013

  • Теоретичні та фізичні аспекти проблеми визначення швидкості світла. Основні методи, що застосовуються для її визначення. Історія перших вимірювань. Науковці, які проводили досліди. Фізична основа виникнення та розповсюдження світлу, його хвильова природа.

    презентация, добавлен 26.10.2013

  • Сутність та методи утворення гамма-квантів. Взаємодія гамма-квантів з речовинами: фотоефект, комптонівське розсіювання. Негативна дія випромінювання та переваги його застосування в медицині для діагностики захворювань та знищення ракових клітин.

    презентация, добавлен 14.05.2013

  • Перші дослідження електромагнітних явищ. Проблеми поведінки плазми в лабораторних умовах і в космосі. Взаємодія електричних зарядів і струмів. Методи наукового пізнання. Фахові фронтальні лабораторні роботи, які проводяться під керівництвом викладача.

    дипломная работа, добавлен 20.01.2016

  • Методи створення селективних сенсорів. Ефект залежності провідності плівки напівпровідникових оксидів металів від зміни навколишньої атмосфери. Види адсорбції. Природа адсорбційних сил. Установка для вимірювання вольт-амперних характеристик сенсора.

    контрольная работа, добавлен 27.05.2013

  • Обґрунтування необхідності дослідження альтернативних джерел видобування енергії. Переваги і недоліки вітро- та біоенергетики. Методи використання енергії сонця, річок та світового океану. Потенціальні можливості використання електроенергії зі сміття.

    презентация, добавлен 14.01.2011

  • Границі застосовності класичної механіки. Сутність теорії відносності та постулати Ейнштейна. Простір і час в теорії відносності. Поняття про релятивістську динаміку. Молекулярно-кінетичний і термодинамічний методи вивчення макроскопічних систем.

    лекция, добавлен 23.01.2010

  • Різниця координат ідентичних точок реального й ідеального зображень. Проектування ходу променів через реальні оптичні системи. Особливості використання програм для обчислення аберацій оптичних систем. Якість зображення та дозволяюча здатність об'єктиву.

    реферат, добавлен 12.02.2011

  • Оптико-гальванічна спектроскопія. Оптогальванічна лазерна спектроскопія. Експериментальна установка для оптогальванічної спектроскопії розряду в лампі з пустотілим катодом. Оптико-рефракційні методи. Метод термолінзи. Дефлекційний метод – міраж – ефект.

    реферат, добавлен 22.04.2007

  • Предмет, методи і завдання квантової фізики. Закони фотоефекту. Дослідження Столєтова. Схема установки для дослідження фотоефекту. Фотоефект як самостійне фізичне явище. Квантова теорія, що описує фотоефект. Характеристика фотоелементів, їх застосування.

    лекция, добавлен 23.11.2010

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.