Фізико-технологічні основи фотолітографії
Фоторезисти і фотошаблони в фотолітографії. Методи виготовлення і характеристики фотошаблонів. Технологія фотолітографії. Забезпечення якості фотолітографії. Порушення якості фотолітографії. Методи боротьби з причинами порушення якості фотолітографії.
Подобные документы
Дослідження стану електронів за допомогою фотоелектронної й оптичної спектроскопії. Аналіз електронної й атомної будови кристалічних і склоподібних напівпровідників методами рентгенівської абсорбційної спектроскопії. Сутність вторинної електронної емісії.
реферат, добавлен 17.04.2013Спостереження броунівського руху. Визначення відносної вологості повітря, руйнівної напруги металу. Вивчення властивостей рідин. Розширення меж вимірювання вольтметра і амперметра. Зняття вольт амперної характеристики напівпровідникового діода.
практическая работа, добавлен 14.05.2009Класифікація напівпровідникових матеріалів: германія, селену, карбіду кремнію, окисних, склоподібних та органічних напівпровідників. Електрофізичні властивості та зонна структура напівпровідникових сплавів. Методи виробництва кремній-германієвих сплавів.
курсовая работа, добавлен 17.01.2011Магнітні властивості композиційних матеріалів. Вплив модифікаторів на електропровідність композитів, наповнених дисперсним нікелем і отверджених в магнітному полі. Методи розрахунку діелектричної проникності. Співвідношення Вінера, рівняння Ліхтенекера.
дипломная работа, добавлен 18.06.2013Особливості розробки малопотужного тиристорного електроприводу постійного струму. Аналіз існуючих тиристорних електроприводів постійного струму. Розрахунок техніко-економічних показників систем електроприводу. Можливі несправності і методи їх усунення.
курсовая работа, добавлен 16.05.2013Водень як один з найбільш поширених елементів на Землі. Поняття водневої технології. Методи отримання водневого палива. Різновиди водню та їх характеристика. Роль водню і водневої технології у кругообігу речовин у природі. Водневі двигуни та енергетика.
реферат, добавлен 25.09.2010Характеристика методів отримання плівкових матеріалів, заснованих на фізичному випаровуванні: від історично перших методів термічного випаровування до сучасних іонно-плазмових, молекулярно-променевих та лазерних методів осадження. Рідкофазна епітаксія.
курсовая работа, добавлен 17.05.2012Методи добування наночастинок. Рентгенофазовий аналіз речовини. Ніхром та його використання. Рентгеноструктурні дослідження наночастинок, отриманих методом вибуху ніхромових дротинок. Описання рефлексу оксиду нікелю NiO за допомогою функції Гауса.
курсовая работа, добавлен 24.05.2015Розподіл однофазних зварювальних машин між фазами. Методи визначення розрахункового навантаження за нагрівом в фазах та розрахункового піку навантаження у найбільш навантаженій фазі. Розрахунки для інших зварювальних машин. Середнє навантаження в фазах.
задача, добавлен 12.07.2010Область частот гіперзвуку, його природа і шкала дії. Поширення гіперзвуку в твердих тілах. Механізм поширення гіперзвуку в кристалах напівпровідників, в металах. Взаємодія гіперзвуку зі світлом. Сучасні методи випромінювання і прийому гіперзвуку.
реферат, добавлен 10.11.2010Загальне поняття про будову лічильника Гейгера-Мюллера, його призначення. Функції скляного віконця трубки. Процес реєстрації нейтронів. Історія винаходу лічильника. Камера Вільсона як детектор треків швидких заряджених частинок. Процес конденсації пари.
презентация, добавлен 15.04.2013Класифікація та методи вимірювання. Термодинамічні величини. Термодинамічна температура. Температурний градієнт. Температурний коефіцієнт відносної зміни фізичної величини. Теплота, кількість теплоти. Тепловий потік. Коефіцієнт теплообміну. Ентропія.
реферат, добавлен 19.06.2008Характеристики та класифікація напівпровідників. Технологія отримання напівпровідників. Приготування полікристалічних матеріалів. Вплив ізохорного відпалу у вакуумі на термоелектриці властивості і плівок. Термоелектричні властивості плюмбум телуриду.
дипломная работа, добавлен 09.06.2008Коротка характеристика будівлі - приміщення гуртожитку. Характеристика системи опалення, розрахунок її параметрів. Розрахунок комплексного коефіцієнта приведення. Необхідна витрата теплоносія на ділянці. Методи та прийоми теплоенергозбереження в будівлі.
курсовая работа, добавлен 22.02.2011Дослідження функцій гіроскопу. Ефект Саньяка. Гіроскопія на ефекті Саньяка. Волоконна гіроскопія на основі кільцевих інтерферометрів. Методи отримання максимально чутливих волоконних гіроскопів. Джерела додаткових невзаємностей волоконних гіроскопів.
презентация, добавлен 07.08.2013Будова та принцип роботи безконтактного двигуна постійного струму. Схеми керування, визначення положення ротора БД. Силові схеми електроприводів з БДПС. Синтез блоку керування. Блок комутації обмоток вентильного двигуна. Методи синтезу дискретних систем.
дипломная работа, добавлен 15.05.2019Загальна характеристика Придніпровської ТЕС. Шкідливі і небезпечні чинники котлотурбінного цеху. Комбіновані методи і апаратура очищення газів. Аналіз ефективності роботи існуючої системи пилогазоочищення та розробка пропозицій, щодо її модернізації.
дипломная работа, добавлен 17.06.2013Світ шукає енергію. Скільки потрібно енергії. Альтернативні джерела енергії. Вітрова енергія. Енергія річок. Енергія світового океану. Енергія морських течій. Енергія сонця. Атомна енергія. Воднева енергетика. Сучасні методи виробництва водню.
дипломная работа, добавлен 29.05.2008Методи наближеного розв’язання крайових задач математичної фізики, що виникають при моделюванні фізичних процесів. Використання засобів теорії наближень атомарними функціями. Способи розв’язання крайових задач в інтересах математичного моделювання.
презентация, добавлен 08.12.2014Конструкція реактора ВВЕР-1000, характеристика його систем та компонентів. Модернізована схема водоживлення і продування парогенератора ПГВ-1000, методи підвищення його надійності та розрахунок теплової схеми. Економічна оцінка науково-дослідної роботи.
дипломная работа, добавлен 15.10.2013- 96. Трьох- і чотирьох хвильове розсіяння світла на поляритонах в кристалах ніобіту літію з домішками
Дослідження кристалів ніобіту літію з різною концентрацією магнію. Використання при цьому методи спонтанного параметричного розсіяння і чотирьох хвильове зміщення. Розробка методики чотирьох хвильового зміщення на когерентне порушуваних поляритонах.
курсовая работа, добавлен 18.10.2009 Розвиток асимптотичних методів в теорії диференціальних рівнянь. Асимптотичні методи розв’язання сингулярно збурених задач конвективної дифузії. Нелінійні моделі процесів типу "конвекція-дифузія-масообмін". Утворення речовини, що випадає в осад.
курсовая работа, добавлен 23.04.2017Ураган как атмосферный вихрь с пониженным атмосферным давлением в центре: знакомство с причинами и географией возникновения, анализ электрических и магнитных свойств. Общая характеристика наиболее эффективных электрических методов управления ураганами.
реферат, добавлен 05.04.2016Основные динамические характеристики средств измерения. Функционалы и параметры полных динамических характеристик. Весовая и переходная характеристики средств измерения. Зависимость выходного сигнала средств измерения от меняющихся во времени величин.
презентация, добавлен 02.08.2012Расчет и построение механической характеристики двигателя по аналитическому уравнению. Определение механической характеристики рабочей машины, приведенной к валу двигателя. Суммарный приведенный момент инерции системы "двигатель - рабочая машина".
контрольная работа, добавлен 04.07.2021