Фізико-технологічні основи фотолітографії

Фоторезисти і фотошаблони в фотолітографії. Методи виготовлення і характеристики фотошаблонів. Технологія фотолітографії. Забезпечення якості фотолітографії. Порушення якості фотолітографії. Методи боротьби з причинами порушення якості фотолітографії.

Подобные документы

  • Зміни властивостей на передкристилізаційних етапах. Причини високої корозійної стійкості аморфних сплавів. Феромагнетизм і феримагнетизм аморфних металів. Деформація і руйнування при кімнатній температурі. Технологічні особливості опору аморфних сплавів.

    курсовая работа, добавлен 20.12.2013

  • Характеристика теплових мереж і кадровий склад підприємства. Фізико-географічні та кліматичні особливості району. Вдосконалення технологічної схеми та проект об’єкту реконструкції з екологічної точки зору. Оцінка економічної ефективності проекту.

    дипломная работа, добавлен 07.03.2013

  • Основні напрямки в конструюванні теплового устаткування. Тепловий розрахунок котла. Рівняння теплового балансу пристрою електричного варильного. Розрахунок трубчастого нагрівального елемента. Основні технологічні вимоги до конструкцій варильних апаратів.

    курсовая работа, добавлен 13.03.2013

  • Поняття і класифікація діелектриків, оцінка впливу на них випромінювання високої енергії. Ознайомлення із властивостями діелектриків - вологопроникністю, крихкістю, механічною міцністю, в'язкістю, теплопровідністю, стійкістю до нагрівання та охолодження.

    реферат, добавлен 23.11.2010

  • Головними видами злочинів, які набули масовий характер в електроенергетиці, є крадіжки електроенергії та електроустаткування. Принцип роботи охоронного пристрою для діагностування несанкціонованого підключення до мережі та маніпулювання з лічильником.

    статья, добавлен 10.02.2011

  • Расчетные характеристики топлива. Материальный баланс рабочих веществ в котле. Тепловой баланс котельного агрегата. Характеристики и тепловой расчет топочной камеры. Расчет фестона, пароперегревателя, воздухоподогревателя. Характеристики топочной камеры.

    курсовая работа, добавлен 21.06.2015

  • Параметри природних газів з наведенням формул для їх знаходження: густина, питомий об’єм, масовий розхід, лінійна, масова швидкість, критичні параметри та ін. Термодинамічні властивості газів, процес дроселювання; токсичні і теплотворні властивості.

    реферат, добавлен 10.12.2010

  • Дослідження електричних властивостей діелектриків. Поляризація та діелектричні втрати. Показники електропровідності, фізико-хімічні та теплові властивості діелектриків. Оцінка експлуатаційних властивостей діелектриків та можливих областей їх застосування.

    контрольная работа, добавлен 11.03.2013

  • Термоелектричні явища, відомі у фізиці твердого тіла. Ефект Зеєбека в основі дії термоелектричних перетворювачів, їх технічні можливості. Основні правила поводження з термоелектричними колами. Виготовлення термопар для вимірювання низьких температур.

    курсовая работа, добавлен 12.02.2011

  • Специфіка проектування електричної мережі цеху з виготовлення пiдiймальних пристроїв машинобудівного заводу. Розрахунок електричних навантажень. Вибір кількості і потужності силових трансформаторів КТП з урахуванням компенсації реактивної потужності.

    курсовая работа, добавлен 14.03.2014

  • Определение параметров схемы замещения однофазного трансформатора, экспериментальное построение внешней характеристики. Механические характеристики асинхронного двигателя с короткозамкнутым ротором. Внутренне устройство и принцип действия генератора.

    лабораторная работа, добавлен 29.06.2012

  • Основні фізико-хімічні властивості NaCI, різновиди та порядок розробки кристалохімічних моделей атомних дефектів. Побудування топологічних матриць, визначення числа Вінера модельованих дефектів, за якими можна визначити стабільність даної системи.

    дипломная работа, добавлен 14.08.2008

  • Главные параметры воздуха и их изменение с высотой. Геометрические характеристики профиля и крыла. Картина обтекания крыла, распределение давления и влияние механизации на его аэродинамические характеристики. Рекомендации по безопасности полетов.

    реферат, добавлен 14.02.2013

  • Аналіз сучасного стану існуючих п’єзодатчиків тиску з мікроконтролером. Розробка оптимального маршруту виготовлення датчика регістра за КМОН-технологією та проведено моделювання технологічного маршруту в програмному середовищі Microwind 3.1 Profesional.

    дипломная работа, добавлен 28.11.2012

  • Моделі структур в халькогенідах кадмію і цинку. Характеристика областей існування структур сфалериту і в’юрциту. Кристалічна структура і антиструктура в телуриді кадмію. Кристалоквазіхімічний аналіз. Процеси легування. Утворення твердих розчинів.

    дипломная работа, добавлен 14.08.2008

  • Составление уравнений по законам Киргофа. Расчет напряжений в нагрузке, комплексной передаточной функции, амплитудно-частотной характеристики и фазочастотной характеристики. Построение логарифмической амплитудной частоты, определение крутизны среза.

    практическая работа, добавлен 24.12.2017

  • Назначение электрооборудования и основные технические характеристики пассажирского лифта. Техническое обоснование выбора электропривода. Выбор рода тока и величины напряжения. Расчет мощности электропривода. Построение механической характеристики.

    курсовая работа, добавлен 24.02.2013

  • Положения метрологического обеспечения. Полномочия Комитета по стандартизации, метрологии и сертификации при Совете Министров РБ (Госстандарта). Классификация СИ и их характеристики. Основные характеристики средств измерения электрических величин.

    дипломная работа, добавлен 12.11.2008

  • Методика проектирования турбогенератора, его характеристики. Определение размеров и электромагнитных нагрузок. Расчет обмоточных данных статора. Ток возбуждения при нагрузке, диаграмма Потье. Параметры, постоянные времени и токи короткого замыкания.

    курсовая работа, добавлен 28.05.2013

  • Назначение и технические характеристики электропечи. Технологический процесс технического обслуживания электрооборудования электропечи. Организация рабочего места и техника безопасности при техническом обслуживании электрооборудования электропечи.

    реферат, добавлен 15.07.2010

  • Конструктивные особенности и теплотехнические характеристики парогенератора. Исследование теплотехнических характеристик бурого угля и условий его сжигания: объемы продуктов сгорания, подсчет энтальпии газов, конструктивные характеристики топки.

    дипломная работа, добавлен 10.02.2011

  • Основные понятия и определения систем передачи дискретных сообщений. Сигнальные созвездия при АФМ и квадратурная АМ. Спектральные характеристики сигналов с АФМ. Модулятор и демодулятор сигналов, помехоустойчивость когерентного приема сигналов с АФМ.

    дипломная работа, добавлен 09.07.2013

  • Види систем електричного живлення, планування та основні вимоги до них. Джерела безперебійного й гарантованого електроживлення. Електромеханічні перетворювачі напруги. Вибір схеми інвертора, опис принципу дії. Собівартість виготовлення блоку живлення.

    дипломная работа, добавлен 21.02.2011

  • Способи одержання плазми. Загальна характеристика та основні вимоги до плазмових джерел. Фізико-технічні завдання, що виникають при конструюванні плазмових джерел. Відмінні особливості та застосування плазмових джерел із замкненим дрейфом електронів.

    дипломная работа, добавлен 20.03.2011

  • Види систем електроживлення, вимоги до них. Огляд існуючих перетворювачів напруги. Опис структурної схеми інвертора. Вибір елементної бази: транзисторів, конденсаторів, резисторів та трансформаторів. Розрахунок собівартості виготовлення блоку живлення.

    дипломная работа, добавлен 08.02.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.