Фізико-технологічні основи фотолітографії
Фоторезисти і фотошаблони в фотолітографії. Методи виготовлення і характеристики фотошаблонів. Технологія фотолітографії. Забезпечення якості фотолітографії. Порушення якості фотолітографії. Методи боротьби з причинами порушення якості фотолітографії.
Подобные документы
Зміни властивостей на передкристилізаційних етапах. Причини високої корозійної стійкості аморфних сплавів. Феромагнетизм і феримагнетизм аморфних металів. Деформація і руйнування при кімнатній температурі. Технологічні особливості опору аморфних сплавів.
курсовая работа, добавлен 20.12.2013Характеристика теплових мереж і кадровий склад підприємства. Фізико-географічні та кліматичні особливості району. Вдосконалення технологічної схеми та проект об’єкту реконструкції з екологічної точки зору. Оцінка економічної ефективності проекту.
дипломная работа, добавлен 07.03.2013Основні напрямки в конструюванні теплового устаткування. Тепловий розрахунок котла. Рівняння теплового балансу пристрою електричного варильного. Розрахунок трубчастого нагрівального елемента. Основні технологічні вимоги до конструкцій варильних апаратів.
курсовая работа, добавлен 13.03.2013Поняття і класифікація діелектриків, оцінка впливу на них випромінювання високої енергії. Ознайомлення із властивостями діелектриків - вологопроникністю, крихкістю, механічною міцністю, в'язкістю, теплопровідністю, стійкістю до нагрівання та охолодження.
реферат, добавлен 23.11.2010Головними видами злочинів, які набули масовий характер в електроенергетиці, є крадіжки електроенергії та електроустаткування. Принцип роботи охоронного пристрою для діагностування несанкціонованого підключення до мережі та маніпулювання з лічильником.
статья, добавлен 10.02.2011Расчетные характеристики топлива. Материальный баланс рабочих веществ в котле. Тепловой баланс котельного агрегата. Характеристики и тепловой расчет топочной камеры. Расчет фестона, пароперегревателя, воздухоподогревателя. Характеристики топочной камеры.
курсовая работа, добавлен 21.06.2015Параметри природних газів з наведенням формул для їх знаходження: густина, питомий об’єм, масовий розхід, лінійна, масова швидкість, критичні параметри та ін. Термодинамічні властивості газів, процес дроселювання; токсичні і теплотворні властивості.
реферат, добавлен 10.12.2010Дослідження електричних властивостей діелектриків. Поляризація та діелектричні втрати. Показники електропровідності, фізико-хімічні та теплові властивості діелектриків. Оцінка експлуатаційних властивостей діелектриків та можливих областей їх застосування.
контрольная работа, добавлен 11.03.2013Термоелектричні явища, відомі у фізиці твердого тіла. Ефект Зеєбека в основі дії термоелектричних перетворювачів, їх технічні можливості. Основні правила поводження з термоелектричними колами. Виготовлення термопар для вимірювання низьких температур.
курсовая работа, добавлен 12.02.2011Специфіка проектування електричної мережі цеху з виготовлення пiдiймальних пристроїв машинобудівного заводу. Розрахунок електричних навантажень. Вибір кількості і потужності силових трансформаторів КТП з урахуванням компенсації реактивної потужності.
курсовая работа, добавлен 14.03.2014Определение параметров схемы замещения однофазного трансформатора, экспериментальное построение внешней характеристики. Механические характеристики асинхронного двигателя с короткозамкнутым ротором. Внутренне устройство и принцип действия генератора.
лабораторная работа, добавлен 29.06.2012Основні фізико-хімічні властивості NaCI, різновиди та порядок розробки кристалохімічних моделей атомних дефектів. Побудування топологічних матриць, визначення числа Вінера модельованих дефектів, за якими можна визначити стабільність даної системи.
дипломная работа, добавлен 14.08.2008Главные параметры воздуха и их изменение с высотой. Геометрические характеристики профиля и крыла. Картина обтекания крыла, распределение давления и влияние механизации на его аэродинамические характеристики. Рекомендации по безопасности полетов.
реферат, добавлен 14.02.2013- 114. П’єзодатчик тиску
Аналіз сучасного стану існуючих п’єзодатчиків тиску з мікроконтролером. Розробка оптимального маршруту виготовлення датчика регістра за КМОН-технологією та проведено моделювання технологічного маршруту в програмному середовищі Microwind 3.1 Profesional.
дипломная работа, добавлен 28.11.2012 Моделі структур в халькогенідах кадмію і цинку. Характеристика областей існування структур сфалериту і в’юрциту. Кристалічна структура і антиструктура в телуриді кадмію. Кристалоквазіхімічний аналіз. Процеси легування. Утворення твердих розчинів.
дипломная работа, добавлен 14.08.2008Составление уравнений по законам Киргофа. Расчет напряжений в нагрузке, комплексной передаточной функции, амплитудно-частотной характеристики и фазочастотной характеристики. Построение логарифмической амплитудной частоты, определение крутизны среза.
практическая работа, добавлен 24.12.2017Назначение электрооборудования и основные технические характеристики пассажирского лифта. Техническое обоснование выбора электропривода. Выбор рода тока и величины напряжения. Расчет мощности электропривода. Построение механической характеристики.
курсовая работа, добавлен 24.02.2013Положения метрологического обеспечения. Полномочия Комитета по стандартизации, метрологии и сертификации при Совете Министров РБ (Госстандарта). Классификация СИ и их характеристики. Основные характеристики средств измерения электрических величин.
дипломная работа, добавлен 12.11.2008Методика проектирования турбогенератора, его характеристики. Определение размеров и электромагнитных нагрузок. Расчет обмоточных данных статора. Ток возбуждения при нагрузке, диаграмма Потье. Параметры, постоянные времени и токи короткого замыкания.
курсовая работа, добавлен 28.05.2013Назначение и технические характеристики электропечи. Технологический процесс технического обслуживания электрооборудования электропечи. Организация рабочего места и техника безопасности при техническом обслуживании электрооборудования электропечи.
реферат, добавлен 15.07.2010Конструктивные особенности и теплотехнические характеристики парогенератора. Исследование теплотехнических характеристик бурого угля и условий его сжигания: объемы продуктов сгорания, подсчет энтальпии газов, конструктивные характеристики топки.
дипломная работа, добавлен 10.02.2011Основные понятия и определения систем передачи дискретных сообщений. Сигнальные созвездия при АФМ и квадратурная АМ. Спектральные характеристики сигналов с АФМ. Модулятор и демодулятор сигналов, помехоустойчивость когерентного приема сигналов с АФМ.
дипломная работа, добавлен 09.07.2013Види систем електричного живлення, планування та основні вимоги до них. Джерела безперебійного й гарантованого електроживлення. Електромеханічні перетворювачі напруги. Вибір схеми інвертора, опис принципу дії. Собівартість виготовлення блоку живлення.
дипломная работа, добавлен 21.02.2011Способи одержання плазми. Загальна характеристика та основні вимоги до плазмових джерел. Фізико-технічні завдання, що виникають при конструюванні плазмових джерел. Відмінні особливості та застосування плазмових джерел із замкненим дрейфом електронів.
дипломная работа, добавлен 20.03.2011Види систем електроживлення, вимоги до них. Огляд існуючих перетворювачів напруги. Опис структурної схеми інвертора. Вибір елементної бази: транзисторів, конденсаторів, резисторів та трансформаторів. Розрахунок собівартості виготовлення блоку живлення.
дипломная работа, добавлен 08.02.2011