Фізико-технологічні основи фотолітографії
Фоторезисти і фотошаблони в фотолітографії. Методи виготовлення і характеристики фотошаблонів. Технологія фотолітографії. Забезпечення якості фотолітографії. Порушення якості фотолітографії. Методи боротьби з причинами порушення якості фотолітографії.
Подобные документы
Загальні відомості про методи детекції газів. Поверхневі напівпровідникові датчики газів, принцип їх дії, основи їх побудови. Сучасні датчики газів, та методи їх отримання. Нові матеріали та наноструктури – перспективна база елементів для датчиків газів.
курсовая работа, добавлен 09.05.2010Вивчення будови та значення деревини в народному господарстві. Опис фізичних та хімічних властивостей деревини. Аналіз термогравіметричного методу вимірювання вологості. Дослідження на міцність при стиску. Інфрачервона та термомеханічна спектроскопія.
курсовая работа, добавлен 22.12.2015Розгляд елементів (резистор, конденсатор) та технології виробництва (методи масковий, фотолітографія, комбінований) інтегральних схем. Вивчення особливостей термічного, катодного, іоно-плазмового напилення, анодування та електрохімічного осадження.
курсовая работа, добавлен 09.05.2010Особливості конструкції та технології виготовлення джерела світла ЛБ-20Е. Лампи, розраховані на роботу в стандартних мережах змінного струму без трансформації напруги. Контроль якості, принцип роботи. Нормування трудових та матеріальних витрат.
курсовая работа, добавлен 25.08.2012Оптимізація якості електричної енергії, її значення як енергетичної проблеми. Несиметрія електричних режимів, її природа, характеристика і регламентування. Методи і засоби симетрування. Симетрування режиму на фізичній моделі системи електропостачання.
курсовая работа, добавлен 05.05.2009Класифікація планарних оптичних хвилеводів. Особливості роботи з хлороформом. Методи вимірювання показника заломлення оптичного хвилеводу. Спектрофотометричні методи вимірювання тонких плівок. Установка для вимірювання товщини тонкоплівкового хвилеводу.
дипломная работа, добавлен 29.04.2013Загальні відомості про способи детекції газів. Поверхневі напівпровідникові датчики газів, принцип їх дії, основи їх побудови. Нові матеріали та наноструктури – перспективна база елементів для датчиків і технології, що використовуються при їх побудові.
курсовая работа, добавлен 12.04.2010Розробка, виробництво виробів електронної техніки. Фоторезисти - складні полімерно-мономерні системи, у яких під дією випромінювання визначеного спектрального складу протікають фотохімічні процеси. Фоторезисти на основі поливинилциннамата і його похідних.
курсовая работа, добавлен 15.12.2008Теплофізичні методи дослідження полімерів: калориметрія, дилатометрія. Методи дослідження теплопровідності й температуропровідності полімерів. Дослідження електричних властивостей полімерів: електретно-термічний аналіз, статичні та динамічні методи.
курсовая работа, добавлен 12.12.2010Аналіз призначення розроблювального блоку, умови його експлуатації. Технологія виготовлення друкованої плати. Застосування автоматизації при виготовленні блоку. Розрахунок та оцінка технологічності конструкцій, головні способи та засоби підтримки ритму.
курсовая работа, добавлен 18.10.2014Характеристика основних даних про припої та їх використання. Особливості пайки напівпровідників, сполук припоїв і режимів пайки германія й кремнію. Сполуки низькотемпературних припоїв, застосовуваних при пайці германія й кремнію. Паяння друкованих плат.
курсовая работа, добавлен 09.05.2010Фізико-хімічні основи процесів в галузях хімічних технологій, визначення швидкості законами теплопередачі. Процеси перенесення маси енергії і кількості руху, рівняння нерозривності суцільності потоку. Гідростатична подібність, емпіричні залежності.
лекция, добавлен 17.07.2011Контактні методи вимірювання температури полум’я та особливості їх застосування. Метод абсолютної та відносних інтенсивностей спектральних ліній. Безконтактні методи вимірювання температури полум’я. Визначення "обертальної" та "коливальної" температури.
курсовая работа, добавлен 04.05.2011Вимоги до джерел водопостачання та водозабірних пристрої. Вимоги до питної води, оцінка її якості. Загальна схема механізованого водозабору та шахтного колодязя. Водопровідні мережі і системи. Водонапірні башти і резервуари. Насоси і водопідйомники.
презентация, добавлен 07.12.2013Будова та принцип дії атомної електричної станції. Характеристика Південноукраїнської, Хмельницької, Рівненської, Запорізької, Чорнобильської та Кримської атомних електростанцій. Гарні якості та проблеми ядерної енергетики. Причини вибуху на ЧАЕС.
презентация, добавлен 15.04.2014Обґрунтування вибору лігніну як альтернативного виду палива для котлоагрегату БКЗ-75-39. Розрахунок основного і допоміжного обладнання для котлоагрегату з врахуванням в якості палива відходів гідролізного виробництва. Виробництво брикетів з лігніну.
дипломная работа, добавлен 18.11.2013Характеристика матеріалів, які використовуються для одержання оптичних волокон: властивості кварцу, очищення силікатного скла, полімерні волокна. Дослідження методів та технології виробництва оптичних волокон. Особливості волоконно-оптичних ліній зв'язку.
курсовая работа, добавлен 09.05.2010Принципи нормування параметрів ланцюга в тимчасовій області операторним та частотним методами при аперіодичному та періодичному впливах імпульсу. Побудова амплітудно-фазової, амплітудно-частотної та фазочастотної характеристик функції передачі ланцюга.
курсовая работа, добавлен 28.11.2010Розробка раціонального варіанту електропостачання споживачів підстанції з дотриманням вимог ГОСТ до надійності і якості електроенергії, що відпускається споживачам. Розробка електричної схеми і компоновка підстанції, вибір основного устаткування.
курсовая работа, добавлен 28.05.2009Зондові наноскопічні установки з комп'ютерним управлінням і аналізом даних. Метод атомно-силової мікроскопії; принцип і режими роботи, фізичні основи. Зондові датчики АСМ: технологія виготовлення, керування, особливості застосування до нанооб’єктів.
курсовая работа, добавлен 22.12.2010Фізична сутність явища інтерференції світла. Перевірка якості обробки поверхонь. Поняття дифракційної решітки. Поляризація світла. Поляроїд як оптичний прилад у вигляді прозорої плівки. Основна перевага поляроїдів перед поляризаційними призмами.
презентация, добавлен 28.04.2014Методи та засоби виміру вологості. Вимірювальні величини кількості вологи. Основні характеристики вологовмісту. Принцип дії психрометричних вологомірів. Технічні характеристики і застосування датчиків, первинних перетворювачей й регуляторів вологості.
курсовая работа, добавлен 21.01.2011Принципові особливості роботи галогенних ламп. Технологія виготовлення основних деталей лампи, її складання. Контроль та випробування готового виробу. Нормування витрат, що йдуть на виробництво лампи типу КГМ 24-60. Розробка технологічної документації.
курсовая работа, добавлен 31.10.2012Розрахунок опори шунта та додаткового резистора. Метрологічні характеристики моста постійного струму. Схема підключення електронопроменевого осцилографу. Характеристики амперметрів, фазометрів та ватметру. Основна та додаткова інструментальна похибка.
контрольная работа, добавлен 12.11.2010Серед видів люмінесцентного аналізу виділяють методи кількісного аналізу, якісного аналізу та люмінесцентну мікроскопію. Методи люмінесцентного аналізу знайшли застосування при проведенні досліджень в медицині, в криміналістичному аналізі, дефектоскопії.
реферат, добавлен 24.06.2008