Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
Подобные документы
Анализ существующей методики получения поверхностного слоя методом электроискрового легирования, которая не учитывает образование слоя на начальном этапе. Зависимость переноса массы от плотности анода и катода. Образование первичного и вторичного слоя.
статья, добавлен 21.04.2014Изготовление отливок в песчано-глинистой форме. Заливка форм, выбивка, обрубка и очистка. Изготовление отливок из разных сплавов: содержащих в составе чугун, сталь, цветные металлы. Технологичность конструкции деталей. Виды брака и технический контроль.
контрольная работа, добавлен 03.07.2015Анализ условий работы помольных шаров. Обоснование выбора марки стали. Расчет режимов термической обработки изделий с использованием критических точек фазовых переходов. Контроль твёрдости обработанных деталей. Возможные виды брака, методы его устранения.
курсовая работа, добавлен 15.04.2015Дефекты и структура сталей и макроструктурный метод. Строение и дефекты стального слитка. Выявление расположения и размеров кристаллов дендритов в центре и на периферии при травлении продольного и поперечного сечения слитка. Виды усадочных раковин.
лабораторная работа, добавлен 30.03.2009Расстановка трудовых ресурсов и распределение работ. Выбор способа изготовления отливки "Кронштейн". Подвод расплава в форму и его расчет. Виды брака и меры их предупреждения. Подготовка ковшей и заливка форм. Характеристика используемого оборудования.
курсовая работа, добавлен 17.06.2012Оснащение ресурсного центра "Полимер". Свойства перерабатываемого материала. Выявление и устранение дефектов литьем под давлением. Возможные виды брака и их устранение. Образование облоя по линии разъема литьевой формы. Деформация при извлечении из формы.
отчет по практике, добавлен 04.01.2015Винт нажимной с габаритными размерами 26х70 мм: общая характеристика. Технологический процесс изготовления винта, выбор и характеристика оборудования, режущих инструментов, измерительных инструментов. Возможные виды брака. Технология обработки резьбы.
дипломная работа, добавлен 23.09.2013- 33. Маршрутная технология производства стальной углеродистой пружинной проволоки 2 класса из марки 70
Процесс изготовления и применение проволоки стальной, углеродистой, пружинной 2 класса, ГОСТ9389–75. Механические свойства стали 70. Патентирование катанки. Подготовка поверхности металла к волочению. Испытание и контроль качества проволоки. Виды брака.
презентация, добавлен 11.02.2014 Патентный поиск по конструкциям машин для нарезки плодов. Описание машинно-аппаратурной схемы производства компотов из яблок. Яблочное сырье и его характеристика. Виды брака компота из яблок и меры его предупреждения. Рецептура компотов из яблок.
курсовая работа, добавлен 03.01.2012Первичные виды сырья в деревообработке. Круглые сортименты от лесозаготовительных производств. Основные виды пиломатериалов. Операции продольного и поперечного раскроя. Грунтование изделия методом налива прозрачной грунтовкой на лаконаливной машине.
курсовая работа, добавлен 13.06.2011Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
курсовая работа, добавлен 12.06.2010Конструкция детали и условия ее эксплуатации. Выбор способа изготовления отливки. Определение места и уровня подвода металла. Расчет элементов литниково-питающей системы. Изготовление пресс-формы, моделей, литейной формы. Анализ возможных видов брака.
курсовая работа, добавлен 22.08.2012Термическая обработка чугуна: понятие и виды. Микроструктура и свойства сталей после химико-термической обработки: цементация и азотирование. Зависимость твердости от содержания углерода по глубине цементованного слоя. Распределение азота по толщине слоя.
реферат, добавлен 26.06.2012Станки с числовым программным управлением — оборудование, выполняющее различные технологические операции по заданной программе. Их преимущество, классификация и виды. Функциональные составляющие ЧПУ, технологические возможности и конструкция станков.
реферат, добавлен 21.03.2011Типовые технологические маршруты изготовления зубчатых колес и влияние технологических факторов на динамику, виброактивность, ресурс и надежность работы передач. Оценка качества поверхностного слоя зубьев и основные операции процесса их изготовления.
реферат, добавлен 01.05.2009Производственная программа термического участка. Схема нормализационного отжига. Определение действительного годового фонда времени работы оборудования. Тепловой расчет печи. Причины возникновения брака. Промышленная экология, выбросы вредных веществ.
дипломная работа, добавлен 26.10.2014Обоснование метода получения композиционных материалов (контактного формования), основные требования к сырью и готовой продукции. Описание спроектированной технологической схемы изготовления и контроля производства, видов брака и способов его устранения.
дипломная работа, добавлен 27.02.2015Основные виды испарителей. Эксплуатация листотрубных, гладкотрубных, ребристотрубных и кожухотрубных испарителей. Обеспечение эффективного процесса теплопередачи. Техническое обслуживание испарителей, основные виды неисправностей и методы их устранения.
реферат, добавлен 18.01.2014- 44. Исследование процесса движения частиц в газоплазменном потоке при газотермическом нанесении покрытий
Характеристика основных закономерностей процесса газотермического нанесения покрытий. Устройство плазматрон. Преимущества технологии газотермического нанесения покрытий. Моделирование воздействия концентрированного потока энергии на поверхность.
контрольная работа, добавлен 16.06.2013 Основные характеристики процесса измерения, виды деятельности. Критерии процесса и результативность управления. Корректирующие и предупреждающие действия. Сбор и группировка возможных причин несоответствий процесса. Оценка смещения, анализ сходимости.
курсовая работа, добавлен 01.02.2016Виды и свойства керамических покрытий, способы получения. Электронные ускорители низких энергий в технологиях получения покрытий. Нанесение покрытий CVD-методом. Золь-гель технология. Исследование свойств нанесенных покрытий, их возможные дефекты.
курсовая работа, добавлен 11.10.2011- 47. Стекло
История производства стекла. Основные стеклообразующие вещества. Различные виды стекол и их основные свойства. Тонированное, цветное, художественное, защитное, узорчатое и зеркальное стекла. Применение стекла в оптической и строительной промышленности.
презентация, добавлен 20.04.2013 Методика конструкционных расчётов резисторов. Особенности расчета топологии микросборки (расчет пассивных элементов схемы и их расположения на подложке) и ее маршрутной технологии. Расчёт мощности прямолинейного резистора и резистора типа "квадрат".
курсовая работа, добавлен 28.02.2010Ознакомление с содержанием и особенностями применения фотолитографического метода. Анализ загрязняющих веществ, сбрасываемых в канализационные сети. Рассмотрение реагентного, ионообменного и адсорбционного способов очистки производственных сточных вод.
курсовая работа, добавлен 27.02.2012Структура технологического процесса по эскизам обработки вала: количество операций, установы, позиции, переходы и рабочие ходы. Расчёты для единичного и крупносерийного производства. Достижение точности обработки. Число установов заготовки в операции.
контрольная работа, добавлен 14.06.2013