Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста

Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.

Подобные документы

  • Особенности процесса строгания. Элементы режима резания и геометрия срезаемого слоя при строгании. Силы и момент при сверлении. Влияние факторов на осевую силу и крутящий момент при сверлении. Цилиндрическое фрезерование. Особенности процесса резания.

    курс лекций, добавлен 17.11.2010

  • Понятие и принцип действия клеевых машин, их структура и строение, взаимодействие отдельных элементов и валов. Отличительные особенности стандартной и расширенной комплектации. Требования для нанесения слоя покрытия на жесткие материалы и полосами.

    презентация, добавлен 26.05.2015

  • Виды движений, их основные характеристики и передаточные механизмы. Вращательное движение в машинах. Разновидности передач, особенности устройства, специфика работы и сфера применения в технике. Достоинства и недостатки механизмов, их назначение.

    реферат, добавлен 10.11.2010

  • Запорная арматура - предназначена для полного перекрытия потока рабочей среды в трубопроводе и пуска среды в зависимости от требований технологического процесса. Функциональное назначение трубопроводной арматуры, ее виды и технические характеристики.

    контрольная работа, добавлен 27.11.2010

  • Виды повреждений зубчатых колес и причины их возникновения. Типы поверхностных макроразрушений материала зубьев. Зависимость между твердостью рабочих поверхностей зубьев и характером их повреждений. Расчет нагрузочной способности зубчатых колес.

    реферат, добавлен 17.01.2012

  • Анализ технических условий и технологичности конструкции детали. Разработка операционной технологии на операции сверления и резания, схемы базирования и схемы построения операции. Выбор метода обработки, инструмента и технологического оборудования.

    курсовая работа, добавлен 14.01.2011

  • Основные виды деятельности Закрытого акционерного общества "Лужский молочный комбинат". Основные виды выпускаемой продукции. Технологический процесс производства питьевой воды. Сокращение цикла от поступления сырого молока, его переработки до реализации.

    отчет по практике, добавлен 09.08.2015

  • Классификация печей по принципу теплогенерации, по технологическому назначению и режиму работы. Основная характеристика и конструкция стационарной отражательной печи для рафинирования меди. Состав твердого топлива, различные условия процесса его горения.

    курсовая работа, добавлен 09.10.2014

  • Тепловая работа шахтных печей цветной металлургии. Плавка кусковой руды, брикетов, агломерата и различных промежуточных продуктов металлургического производства. Шахтные печи с режимом работы на базе топочного процесса. Особенности теплообмена в слое.

    курсовая работа, добавлен 04.12.2008

  • Описание назначения изделия, состава сборочных единиц и входящих деталей. Выбор материалов, оценка технологических показателей конструкции изделия. Основные операции технологического процесса обработки детали, разработка режимов механической обработки.

    курсовая работа, добавлен 09.08.2015

  • Организация ремонтной службы на машиностроительном предприятии. Причины возрастания роли сервиса, его виды и принципы, законодательная и нормативная база, основные задачи. Структура и периодичность работ по плановому техническому обслуживанию и ремонту.

    методичка, добавлен 06.07.2009

  • Серная кислота: физико-химические свойства и применение. Характеристика исходного сырья. Технологическая схема производства серной кислоты контактным способом. Расчет материального баланса процесса. Тепловой баланс печи обжига колчедана в кипящем слое.

    курсовая работа, добавлен 10.06.2015

  • Технологическая схема получения цинка. Обжиг цинковых концентратов в печах КС. Оборудование для обжига Zn-ых концентратов. Теоретические основы процесса обжига. Расчет процесса обжига цинкового концентрата в печи кипящего слоя. Расчет оборудования.

    курсовая работа, добавлен 23.03.2008

  • Описание физической сущности ручной дуговой сварки покрытым электродом. Физическая сущность процесса сварки. Основные и вспомогательные материалы, вредные факторы. Влияние химических элементов на свариваемость. Расчет параметров режима процесса сварки.

    курсовая работа, добавлен 05.12.2011

  • Ручные, гаечные и машинные метчики. Элементы срезаемого слоя при нарезании резьбы. Элементы конструкции протяжки и схемы резания при протягивании. Процесс образования стружки, её усадка. Текстура деформации, образование нароста на передней поверхности.

    лекция, добавлен 29.09.2013

  • Основные типы и область применения элеватора. Рассмотрение схемы ленточного элеватора. Выбор скорости и тягового органа. Расчет и проектирование элементов и кожуха нории, натяжного устройства. Виды и способы наполнения и разгрузки ковшей. Подбор муфт.

    курсовая работа, добавлен 03.02.2012

  • Режущий инструмент и его общие конструктивные элементы. Виды инструментов. Кинематические элементы и характеристики резания. Системы координатных плоскостей. Элементы и характеристики срезаемого слоя и стружки. Элементы лезвий режущих инструментов.

    реферат, добавлен 29.03.2009

  • Основы технологии термической обработки металлов и сплавов. Термическая обработка - этап технологического процесса изготовления деталей. Улучшение обрабатываемости материалов давлением или резанием. Формирования технических и электрических свойств.

    реферат, добавлен 20.01.2009

  • Общие сведения, основные свойства и компоненты, входящие в состав пластмасс. Слоистые пластические материалы. Сущность и способы сварки, ее предназначение. Аппаратура для сварки, виды разделки кромок и виды швов. Автоматизация электродуговой сварки.

    контрольная работа, добавлен 01.02.2011

  • Параметры топочных газов, подаваемых в сушилку. Расход воздуха, скорость газов и диаметр сушилки. Высота псевдоожиженного слоя. Расчет толщины обечайки, днища. Расчет питателя, вентилятора. Способы повышения интенсивности и экономичности установки.

    курсовая работа, добавлен 23.02.2016

  • Понятие отказа. Причины и последствия возникновения отказов. Показатели безотказности для невосстанавливаемых объектов. Статистическая оценка для средней наработки до отказа. Графическая интерпретация вероятности безотказной работы и вероятности отказа.

    реферат, добавлен 06.02.2012

  • Основные виды деятельности целлюлозно-бумажного комбината, номенклатура выпускаемой продукции и источники инвестиций. Технические виды бумаги и картона, области их применения, особенности технологии производства, расчет материального и теплового баланса.

    дипломная работа, добавлен 18.01.2013

  • Описание детали "вал первичный" коробки передач автомобиля: размеры, материал. Основные дефекты трехступенчатого вала в патроне с неподвижным центром. Технологические операции процесса разборки коробки передач, ремонта зубьев шестерен, шлицев и валов.

    курсовая работа, добавлен 23.03.2018

  • Автоматизация различных стадий производственного процесса, как необходимое условие для комплексной автоматизации производственного процесса. Автоматическая линия. Создание роботизированных технологических комплексов. Виды вспомогательного оборудования.

    презентация, добавлен 12.03.2015

  • Основные физико-химические свойства стекла, его применение в сфере строительства и автомобилестроения. Комфорт и энергосбережение, безопасность и охрана здоровья. Виды стекла в дизайне интерьеров. Сверхпрочные виды стекла, оригинальные изделия их него.

    презентация, добавлен 23.11.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.