Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
Подобные документы
Оборудование для нанесения фоторезиста методом центрифугирования. Оборудование для разделения подложек на кристаллы – лазерное скрайбирование, защита объектива от продуктов испарения. Резка стальными полотнами и дисками, лазерное разделение пластин.
контрольная работа, добавлен 03.10.2009Основные параметры фоторезистов - светочувствительность, разрешающая способность, кислотостойкость, адгезия к подложке и технологичность. Понятие светочувствительности. Светочувствительность негативных фоторезистов. Пороговая светочувствительность.
реферат, добавлен 06.01.2009Сущность проблемы по дефекту "внутренняя плена". Сортамент продукции трубопрокатного цеха. Механические свойства и технологический процесс производства бесшовных труб. Виды брака при производстве гильзы. Подогрев труб в печи с шагающими балками.
дипломная работа, добавлен 12.12.2013Расчет надежности операции или процента брака. Построение эмпирической кривой. Методика определения разности между наибольшим и наименьшим размерами, которая разбивается на несколько интервалов. Теоретическая кривая распределения результатов замера.
контрольная работа, добавлен 08.03.2012Технология выплавки сплава и работа оборудования. Выбор шихты для выплавки и огнеупорных материалов. Контроль качества продукции. Тепловой расчет печи, баланс плавки. Возможные виды брака, основные методы борьбы с браком, способы устранения брака.
дипломная работа, добавлен 14.06.2015- 6. Определение вероятности брака для формообразующих операций, выполняемых в условиях несовмещения баз
Установление соответствия брака для формообразующих операций сравнением заданного чертежного размера детали с ожидаемым значением технологического размера. Определение вероятности брака с помощью законов нормального распределения и равной вероятности.
лабораторная работа, добавлен 07.06.2012 Порядок рассмотрения, принятия, внесения и отмены технических регламентов. Шаги оптимизации улучшения качества продукции и снижения брака. Основные этапы построения диаграммы Парето. Особенности проведения анализа по группам брака ("АВС-анализ").
контрольная работа, добавлен 07.02.2010Изучение технологического процесса производства полипропиленовых труб методом экструзии. Контроль процесса по стадиям. Виды брака, пути его предотвращения. Материальный баланс производства. Расчет и выбор основного и вспомогательного оборудования.
дипломная работа, добавлен 08.09.2015Проблема минимизации брака деталей по чертежным размерам в условиях несовмещения конструкторских и технологических баз при нарушении условия наименьшей погрешности и правила единой установочной базы. Определение вероятности брака для заданных размеров.
лабораторная работа, добавлен 07.06.2012Классификация методов переработки пластиковой тары. Принцип создания кипящего слоя. Печь псевдоожиженного слоя, ее схема. Компоновка производственной линии сортировки отходов. Изменение сопротивления слоя сыпучих материалов от скорости сушильного агента.
курсовая работа, добавлен 08.04.2015Сущность производственного процесса, его виды и структура, основные операции и их назначение, отличительные черты от технологического процесса. Порядок определения трудоемкости технологической операции и нормы времени, необходимой для ее реализации.
реферат, добавлен 20.11.2009Процесс удаления влаги из материала путем испарения или выпаривания. Выбор и обоснование способа сушки и типа лесосушильных камер. Спецификация пиломатериалов. Формирование сушильных штабелей. Технология проведения камерной сушки. Виды и причины брака.
курсовая работа, добавлен 10.12.2013Технологический процесс и маршрутная схема механической обработки деталей стола. Расчёт основных и вспомогательных материалов, в оборудования и инструмента. Виды брака, причины и пути устранения. Организация технического контроля качества изделия.
дипломная работа, добавлен 19.12.2013Построение диаграммы Парето по исследованию причин брака продукции путем анализа дефектов и типичных повреждений. Исследование причин появления бракованных деталей. Предупредительная граница разброса размеров в выборке. Использование карты Шухарта.
контрольная работа, добавлен 24.07.2009Брак – продукция, изготовленная с отступлениями от стандартов и технических условий, его классификация по видам, причинам и виновникам. Исследование и регистрация дефектов стартеров, выявление факторов брака с использованием диаграммы и графика Парето.
лабораторная работа, добавлен 22.05.2012Основы технологии литья под давлением. Виды брака и методы его устранения. Описание технологического процесса литья при низком давлении. Литье тонкостенных изделий, микролитье пластмасс. Литье крупногабаритных корпусных деталей с тонкостенными решетками.
реферат, добавлен 16.04.2011Контроль и оперативное управление параметрами технологического процесса производства стартерных свинцово-кислотных аккумуляторных батарей. Принципы производства батарей, выбор технологического оборудования, контроль, виды брака и способы их устранения.
отчет по практике, добавлен 08.05.2010Выполнение комплексной оценки качества металлопродукции - стального каната двойной свивки типа лк-р конструкции. Схема технологического процесса производства стального каната. Возможные виды брака. Определение комплексной оценки качества продукции.
курсовая работа, добавлен 21.05.2015Основные классификации резьб, их основные параметры и признаки. Особенности процесса резания и формирования поверхностного слоя. Влияние состава и структуры стеклопластиков на их обрабатываемость. Технологические операции и параметры процесса нарезания.
курсовая работа, добавлен 13.03.2011Обработка поверхностей инструментальной оснастки лазерным излучением. Структурные составляющие модифицированного слоя легированных сталей. Изменение скорости лазерной обработки поверхностного слоя. Распределение микротвердости в поверхностном слое.
статья, добавлен 29.06.2015Описание технологии получения кронштейна задней подвески кабины из чугуна марки ВЧ40 методом литья в песчано-глинистую форму отливки. Расчет времени охлаждения отливки. Технология изготовления стержней. Основные виды брака и меры по его устранению.
курсовая работа, добавлен 22.12.2011Расчет операций по достижению оптимальных значений чертежных размеров деталей. Оптимизация технологических размеров-координат для минимизации брака деталей в условиях несовмещения конструкторских баз при соблюдении правила единой установочной базы.
лабораторная работа, добавлен 07.06.2012Эскиз тела вращения и размерная схема тела по координате оси. Расчет размерных цепей по координате оси и брака по размеру Н7: расчетная схема определения вероятности брака для размера H7, величины значений нормированной функции Лапласа для схемы.
лабораторная работа, добавлен 07.06.2012Технические требования к детали и выбор марки пластмассы, его обоснование. Разработка аппаратурно-технологической схемы производства, ее теоретическая основа, виды брака и его устранение. Выбор оборудования. Составление технической документации.
курсовая работа, добавлен 29.10.2013Государственные стандарты на шихтовые материалы и продукцию литья. Выбор оборудования и способа рафинирования металла. Описание конструкции миксера. Возможные виды брака, способы их устранения. Требования безопасности при обслуживании оборудования.
курсовая работа, добавлен 11.10.2012