Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста

Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.

Подобные документы

  • Разработка маршрутного технологического процесса изготовления детали "корпус водила нижнего". Описание технологической операции для фрезерования пазов. Выбор оборудования и режущего инструмента для данной операции. Расчет параметров режима резания.

    курсовая работа, добавлен 15.12.2014

  • Понятие асбестоцементных листов, свойства сырьевых материалов для их производства. Специфика технологии, основные операции. Виды готовой продукции, области ее применения. Технико-экономические показатели. Анализ деятельности ОАО "Белгородасбестцемент".

    курсовая работа, добавлен 02.11.2009

  • Разработка структуры технологической операции для детали "Планшайба". Схема базирования и установки заготовки в приспособлении. Технологические базы для черновой обработки детали "Стойка". Отработка чертежа детали "Вал" и "Вилка" на технологичность.

    курсовая работа, добавлен 09.12.2012

  • Производительность бумагоделательной машины. Расчет полуфабрикатов для производства бумаги. Выбор размалывающего оборудования и оборудования для переработки оборотного брака. Расчет емкости бассейнов и массных насосов. Приготовление суспензии каолина.

    курсовая работа, добавлен 14.03.2012

  • Изучение технологических операций изготовления изделий, нормативно-технической документации по идентификации и планированию процессов производства, влияющих на качество продукции. Виды дефектов, причины их возникновения и меры по предупреждению.

    отчет по практике, добавлен 13.07.2011

  • Конструкторско-технологическое согласование. Идентификация поверхностей и элементов детали и заготовки. Определение плана обработки поверхностей. Формирование маршрутного технологического процесса и содержание операции. Определение режима обработки.

    практическая работа, добавлен 19.02.2011

  • Современная наука о прочности, ее цели и задачи, основные направления. Классификация тел (элементов конструкции) по геометрическому признаку. Модель нагружения. Внутренние силовые факторы в поперечном сечении стержня. Перемещения и деформации, их виды.

    презентация, добавлен 10.12.2013

  • Обработка металлов и других материалов путем снятия незначительного слоя (опиливания) напильниками. Классификация, виды и критерии выбора напильников. Подготовка к опиливанию и приёмы опиливания, контроль поверхности. Механизация опиловочных работ.

    реферат, добавлен 22.04.2014

  • Расшифровка марки стали. Характер влияния углерода и легирующих элементов заданной стали на положение критических точек. Выбор и обоснование последовательности операции предварительной и окончательной термообработки деталей. Режим термообработки деталей.

    контрольная работа, добавлен 05.12.2008

  • Расшифровка марки стали. Характер влияния углерода и легирующих элементов заданной стали на положение критических точек. Выбор и обоснование последовательности операции предварительной и окончательной термообработки деталей. Режим термообработки деталей.

    контрольная работа, добавлен 05.12.2008

  • Причины движения жидкости, его виды. Свойства потока при плавно изменяющемся движении. Гидротрансформаторы: устройство и применение. Устройство и рабочий процесс гидротрансформатора. Вальные насосы: виды потерь, снижение неравномерности подачи жидкости.

    контрольная работа, добавлен 03.01.2013

  • Надежность машин и механизмов как важнейшее эксплуатационное свойство. Методы проектирования и конструирования, направленные на повышение надежности. Изучение влияния методов обработки на формирование физико-механических свойств поверхностного слоя.

    реферат, добавлен 18.04.2016

  • Технологические основы процесса сверления отверстий. Типы станков и их основные узлы. Влияние материала и геометрических элементов сверла. Изменение геометрических параметров режущей части сверл. Основные режимы финишных операций изготовления сверл.

    дипломная работа, добавлен 30.09.2011

  • Организация ремонта автомобилей и основные требования к процессу. Разработка технологического процесса восстановления детали и последующей сборки. Расчет режимов сборочных операций. Размерный анализ конструкции. Нормы времени на сборочные операции.

    методичка, добавлен 06.03.2010

  • Оценка технологической точности обработки на контрольной операции. Значения индексов воспроизводимости для оценок технологического процесса. Количество попаданий в интервал. Причины, влияющие на технологический процесс. Составление карт контроля.

    курсовая работа, добавлен 20.07.2009

  • Контроль параметров теплоносителя и измерение давления газовой среды в процессе работы сушилок. Психрометрическая разность как разница между показаниями "сухого" и "мокрого" термометров. Влагосодержание газа, величина парциального давления водяного пара.

    реферат, добавлен 26.07.2010

  • Прически Древних Рима, Греции и Египта. Отношение греков и египтян к украшениям и косметике. Варианты стрижек "Каре". Их выполнение и укладка. Операции по обработке различных участков волос головы. Основные виды применяемых инструментов и приспособлений.

    дипломная работа, добавлен 26.05.2015

  • Выбор заготовки и способа ее получения, расчет обоснование необходимых размеров. Основные этапы и маршрутизация технологического процесса изготовления, определение квалификации работ, принципы нормирования. Определение себестоимости операции и детали.

    контрольная работа, добавлен 15.01.2016

  • Стандартизация как система упорядочения объектов на основе создания нормативных документов. Методы нормирования свойств объектов стандартизации. Понятие и виды унификации. Виды действующих стандартов. Технические условия. Виды погрешностей измерений.

    контрольная работа, добавлен 18.01.2010

  • Понятие и виды ликвации, причины их возникновения и способы устранения. Сущность и методику измерения ударной вязкости механических свойств металла. Цементация стали: сущность процесса, структура, свойства и области применения. Титан и его сплавы.

    контрольная работа, добавлен 26.06.2013

  • Разработка прогрессивного технологического процесса на изготовление фланца и средства его оснащения. Расчет припусков, режимов резания и норм времени на наиболее производительные и перспективные операции. Технологические наладки на операции с ЧПУ.

    курсовая работа, добавлен 25.03.2019

  • Сталь марки 15Х - низкоуглеродистая хромистая конструкционная цементуемая сталь содержит углерод, хром и марганец. Анализ влияния углерода и легирующих элементов стали на технологию ее термообработки. Операции термообработки деталей из стали этой марки.

    контрольная работа, добавлен 05.12.2008

  • Определение материального баланса колонны и рабочего флегмового числа. Высота светлого слоя жидкости на тарелке и паросодержание барботажного слоя. Коэффициенты массопередачи, диффузии и вязкости паров. Конструктивный и гидравлический расчет колонны.

    курсовая работа, добавлен 09.03.2015

  • Анализ влияния плотности орошения форсунками на качество слябовой заготовки в электросталеплавильном цехе ОАО "Уральская Сталь". Зона вторичного охлаждения, снижение брака слябовой заготовки. Совершенствование технологии оптимизации режима охлаждения.

    дипломная работа, добавлен 25.12.2013

  • Виды, свойства, основные характеристики и использование термоусадочной пленки. Виды молочной пленки: премиум; средний; эконом-класс. Пленки с твист-эффектом, основные марки. Воздушно-пузырчатая пленка как многофункциональный упаковочный материал.

    контрольная работа, добавлен 10.03.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.