Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур
Измерение размеров микроструктур в субмикронном диапазоне. Измерение профиля полупроводниковых структур. Образование методической погрешности при контроле профиля элемента методом атомно-силовой микроскопии. Калибровки с применением мер малой длины.
Подобные документы
Классификация видов измерений. Способ нахождения численного значения физической величины. Повышение точности совокупных и совместных измерений. Метод непосредственной оценки. Погрешность индикации нуля. Исключение погрешности измерительного прибора.
реферат, добавлен 12.01.2014Понятие погрешности результата средств измерения. Расчет метрологических характеристик средств измерений. Определение пределов допустимой абсолютной, относительной и приведенной погрешностей. Вычисление сопротивления шунта, оценка погрешности вольтметра.
практическая работа, добавлен 08.04.2015Изучение классификации измерений, ознакомление с методикой проведения измерений постоянного тока и методами обработки результатов измерений для количественной оценки полученных погрешностей. Амперметр с цифровым индикатором. Динамическая погрешность АЦП.
методичка, добавлен 16.09.2016Методы просвечивающей и растровой электронной, атомно-силовой микроскопии. Изучение строения и фрактальных характеристик массивов нано-/микрочастиц серебра, осажденных из аэрозоля и тумана на диэлектрические подложки (ядерные фильтры и кремний).
статья, добавлен 25.10.2018Исследование прибора для измерения температуры на основе терморезистивного преобразователя (термометра сопротивления). Методические погрешности контактных методов. Измерительные цепи термометров сопротивления. Погрешности, обусловленные терморезистором.
методичка, добавлен 17.01.2018Методы измерения расстояний. Измерение промежутков времени. Применение физических приборов. Метрическая международная система единиц "СИ". Неметрические русские единицы. Измерение физических величин. Погрешности измерений. Виды измерительных приборов.
курсовая работа, добавлен 27.09.2010Погрешность результата и средства измерения. Классы точности средств измерений. Специфика обработки многократных и однократных измерений. Примеры и алгоритмы решения задач на нахождение абсолютной, относительной и приведенной погрешности вольтметра.
контрольная работа, добавлен 20.04.2015Измерение мощности излучателей звука. Определение характеристики направленности преобразователей. Проведение измерений шума. Измерение звукоизоляции и звукопоглощения материалов. Обзор методов определения источников шума. Анализ акустических сигналов.
реферат, добавлен 27.01.2018Расчёт на прочность изотропной наклонной стальной пластинки конечных размеров, ломанного профиля, с жёстко защемлёнными противоположными краями, постоянного сечения, одинаковой жёсткости, как элемента системы деформаторов глубокорыхлителя объёмного типа.
статья, добавлен 31.10.2017Измерение параметров эквивалентной схемы катушки индуктивности в диапазоне частот. Расчет значения эффективной емкости и сопротивления. Вычисление реальных параметров катушки. Измерение зависимости емкости C и тангенса угла потерь конденсатора от частоты.
лабораторная работа, добавлен 23.06.2015Измерение типовой электрической величины заданного размера. Формирование данных для разработки методики выполнения измерений; анализ и выбор методов и средств измерений. Разработка функциональной схемы измерительной установки. Проект документа на МВИ.
курсовая работа, добавлен 25.11.2011Контроль как проверка соответствия норме, классификация его видов. Измерение, контроль и испытание: их отличия и сходство. Измерительные преобразователи, приборы, установка, система, их структурные схемы. Погрешность измерений, их средства и оценка.
курс лекций, добавлен 21.11.2009Определение предела абсолютной и относительной погрешности измерения тока. Оценка инструментальных погрешностей измерения тока. Процесс обработки результатов прямых измерений. Доверительные границы неисключенной систематической и суммарной погрешности.
контрольная работа, добавлен 18.06.2013Изобретение атомно-силового сканирующего зондового микроскопа высокого разрешения, основанного на взаимодействии зонда кантилевера с поверхностью образца. Кантилевер и особенности его работы. Биомедицинские приложения сканирующей зондовой микроскопии.
реферат, добавлен 16.09.2010Исследование возможности использования плоскокиральных структур в устройствах вращения плоскости поляризации излучения. Вероятность перестройки полосы пропускания кросс-поляризованной волны путем изменения размеров щелей и расстояния между диафрагмами.
статья, добавлен 14.07.2016Использование интерферометров, процесс образования безубыточной конфигурации. Измерение максимального числа пространственных частот, процесс построения безубыточной конфигурации с максимизированным числом элементов на двумерных решетках большого размера.
статья, добавлен 14.07.2016Метаматериалы - вещества, обладающие несуществующими в природе оптическими свойствами. Способность метаматериалов управлять показателем преломления. Особенности размеров внутренних структур, внедренных в метаматериал, которые меньше длины волны излучения.
статья, добавлен 01.03.2019Калибровка электростатического ускорителя "Сокол", действующего в составе аналитического ускорительного комплекса ИПФ Украины. Измерение энергетической нестабильности протонного пучка с использованием резонансной ядерной реакции радиационного захвата.
статья, добавлен 23.10.2010Определение материала, из которого сделано твёрдое тело. Понятие прямых и косвенных измерений. Оценка точности результатов одного и многократных прямых измерений. Вычисление объема массы и плотности тела. Расчет погрешности измерительных приборов.
лабораторная работа, добавлен 08.04.2018Оценка целесообразности применения метода фокусировки на объект в оптической микроскопии для определения высотных характеристик образца. Расчет разрешающей способности, погрешности измерений данного метода на основе данных, полученных на микроскопе Leica.
статья, добавлен 27.05.2018Взаимодействие лазерного излучения с металлами и образование микроструктур с периодами, зависящими от длины волны, угла падения, поляризации излучения и оптических свойств металла. Формирование периодических наноструктур под действием серии импульсов.
статья, добавлен 13.11.2018Процедура калибровки измерителей параметров изоляции с использованием мер емкости. Обработка результатов измерений. Основные источники неопределенности результатов. Измерения тангенса угла диэлектрических потерь и емкости высоковольтной изоляции.
статья, добавлен 14.07.2016Программируемая лабораторная измерительная система, ее структура и принцип работы. Рекомбинационные потери в биполярных микроэлектронных структурах. Эффекты продольного падения напряжения. Управление моп-транзистором по подложке в подпороговой области.
методичка, добавлен 12.05.2014Разработка экспериментальной установки, позволяющей производить измерения полного тока, профиля и эмиттанса пучка ионов. Измерение эмиттанса пучка ионов H+ электростатического ускорителя мегаэлектронвольтных энергий. Расчетная схема измерения эмиттанса.
статья, добавлен 29.09.2016Спектроскопия комбинационного рассеяния как востребованный и эффективный инструмент углеродной науки и метрологии. Определение доминирующего типа дефекта в несовершенных сотовидных углеродных структурах, размеров атомно-организованных областей в них.
статья, добавлен 12.07.2021