Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур
Измерение размеров микроструктур в субмикронном диапазоне. Измерение профиля полупроводниковых структур. Образование методической погрешности при контроле профиля элемента методом атомно-силовой микроскопии. Калибровки с применением мер малой длины.
Подобные документы
Развитие навыков преобразования физических величин. Расчет погрешностей измерений, округление результатов. Формирование дифференциального закона распределения. Точечная оценка результатов измерений. Методы и методики измерений, расчет надежности приборов.
методичка, добавлен 10.09.2017Выбор метода формирования липосомальных контейнеров со встроенными в них полупроводниковыми наночастицами, обеспечивающего минимальный разброс значений диаметра липосомальных контейнеров. Измерение геометрических свойств полупроводниковых наночастиц.
дипломная работа, добавлен 30.08.2016Определение пределов инструментальных абсолютной и относительной погрешностей измерения напряжения. Выбор стандартного класса точности. Доверительные границы случайной составляющей. Определение границы суммарной погрешности результата измерения.
контрольная работа, добавлен 29.06.2015Классификация измерений. Метод непосредственной оценки и метод сравнения с мерой. Прибор прямого действия. Классификация средств измерений. Принципы построения измерительных приборов. Классификация погрешностей средств измерений. Повышение точности.
реферат, добавлен 21.10.2012Рассмотрение государственной системы обеспечения единства измерений. Установление её основных задач. Оценка обеспечения деятельности по обеспечению единства измерений. Выявление требований к измерениям. Формы государственного регулирования в этой области.
реферат, добавлен 28.10.2015- 106. Оптические измерения
Рассмотрение характеристик, изображающих оптические системы. Функционально-модульная идеология синтеза и унификации оптических измерительных систем. Измерение толщин линз, воздушных промежутков и линейных размеров деталей. Пробные асферические стекла.
учебное пособие, добавлен 06.04.2015 Определение главных размеров и электромагнитных нагрузок асинхронных двигателей. Расчет размеров обмотки статора, размеров сердечника, числа пазов и обмотки фазного ротора. Определение магнитной цепи, потерь в ней. Описание рабочих характеристик.
курсовая работа, добавлен 15.12.2013Рассмотрение способа экспериментального измерения углового ускорения с помощью частотного фотодатчика, подключаемого через формирователь импульсов к порту компьютера. Алгоритмы калибровки фотодатчика, цифровой фильтрации и дифференцирования его сигналов.
статья, добавлен 27.05.2018Определение кинематических характеристик и основных размеров кулачкового механизма из условия ограничения угла давления. Полярные координаты центрового профиля. Исходные данные для расчёта на ЭВМ. Построение графиков кинематических характеристик.
контрольная работа, добавлен 06.12.2011Создание интерферометра Майкельсона для измерения малых расстояний на базе дисковода для оптических дисков. Произведение калибровки и пробных измерений для нормальной работы установки. Свет − электромагнитная волна, распространяющаяся в пространстве
лабораторная работа, добавлен 22.03.2019Измерение давление в скважине с применением манометров МГГ. Характеристика глубинного самопишущего манометра поршневого типа МГП. Перспективы использования регистрирующих самопишущих КИП и оптико–механических средств измерения в нефтяной промышленности.
реферат, добавлен 01.12.2021- 112. Физика в моей жизни
Исследование и измерение скорости света в вакууме, реальной среде. Выяснение ее конечности и определение точного значения. Связь с массой и энергией материального тела. Проведение опытов Рёмером, Галилеем и Физо. Определение размеров космических тел.
реферат, добавлен 17.11.2014 Измерение сопротивления контура защитного заземления. Описание измерителя заземления М416, измерителя сопротивления заземления Ф4103-М1. Программа проведения измерений сопротивления петли фаза-нуль, метод амперметра—вольтметра при его измерении.
отчет по практике, добавлен 01.06.2014Гониометрические, рефрактометрические и интерференционные методы измерения показателей преломления и дисперсии оптических материалов в видимой области спектра. Измерение показателей преломления на гониометре методом луча, нормально входящего в призмы.
лабораторная работа, добавлен 07.08.2013Анализ работы мостовой измерительной цепи, работающей на переменном токе, с применением резисторных датчиков на основе миниатюрных тонкопленочных термопреобразователей сопротивления. Эффективность и устойчивость измерений слабых тепловых потоков.
статья, добавлен 26.02.2016Предел абсолютной и относительной погрешности измерения напряжения. Измерения магнитоэлектрическим прибором с учетом класса точности. Абсолютная погрешность измерителей. Доверительные границы неисключенной систематической погрешности результата.
контрольная работа, добавлен 20.11.2016Измерение изменения объема воды при нагреве её от 0 до 90 градусов. Формула расчета коэффициента термического расширения. Погрешности косвенных измерений. Зависимость величины изменения объема жидкости с увеличением температуры при постоянном давлении.
лабораторная работа, добавлен 15.10.2017- 118. Исследование влияния на результаты измерений значений доверительной вероятности и числа измерений
Исследование влияния на результаты измерений значений доверительной вероятности и числа измерений. Расчет грубых погрешностей по критерию Романовского и Томпсона. Метрологические характеристики и методы повышения точности аналогового микрометра со скобой.
контрольная работа, добавлен 06.08.2013 Оценка угловых размеров лоцируемого объекта в условиях малой интенсивности регистрируемого излучения. Построение модели контура поверхности удаленного объекта и определение габаритных размеров. Метод пространственной свертки отсчетов поля интенсивностей.
автореферат, добавлен 31.03.2018- 120. Измерение уровня
Функционирование буйковых и гидростатических средств измерения уровня. Электрические уровнемеры. Измерение уровня сыпучих тел. Схема установки указательных стекол на технологических аппаратах. Особенности работы поплавковых средств измерения уровня.
реферат, добавлен 16.01.2016 Повышение производительности операций поверки и калибровки за счет внедрения автоматизированных рабочих мест, представляющих собой сложные информационно-вычислительные комплексы. Выявление связей между параметрами окружающей среды, результатами измерений.
статья, добавлен 02.02.2019Оценка вероятности ошибочной классификации в зависимости от количества используемых спектральных участков и комбинаций методов, применяемых для получения первичных измерений. Классификация элементов зерновых смесей по данным мультиспектральной обработки.
статья, добавлен 28.11.2016- 123. Повреждение изоляции
Измерение сопротивления изоляции установки, находящейся и не находящейся под напряжением. Определение места повреждения изоляции линии. Измерение сопротивления заземления методом амперметра и вольтметра. Измеритель сопротивления на основе логометра.
лекция, добавлен 02.04.2019 Роль теории и эксперимента в физике. Процесс возникновения фундаментальных теорий. Классическое понимание пространства и времени, субстанциональная концепция. Обработка и представление результатов измерений. Алгоритм расчета погрешностей измерений.
лекция, добавлен 15.09.2017- 125. Измерение потерь в газах методом модуляционной лазерной спектроскопии с прямым преобразованием Фурье
Измерение малых концентраций поглощающих газов в условиях окружающей атмосферы. Спектры поглощения и изменения газов в зависимости от давления и температуры. Связь между параметрами формы линии поглощения и амплитудой девиации частоты лазерного излучения.
статья, добавлен 19.06.2018