Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур
Измерение размеров микроструктур в субмикронном диапазоне. Измерение профиля полупроводниковых структур. Образование методической погрешности при контроле профиля элемента методом атомно-силовой микроскопии. Калибровки с применением мер малой длины.
Подобные документы
Сущность и назначение измерений. Основные понятия, методы и средства, применяемые при измерении, контроле и испытаниях продукции. Классификации измерительных сигналов. Основные понятия теории погрешностей. Разработка технологии приемочного контроля.
учебное пособие, добавлен 14.04.2014Измерение мощности, частоты и полного сопротивления устройств в диапазоне СВЧ. Характеристики радиоизмерительных приборов. Калориметрические измерители мощности. Резонансные и гетеродинные частотомеры. Поляризационные измерители полных сопротивлений.
реферат, добавлен 24.11.2010Создание физической модели нелинейной колебательной системы релаксационного типа на основе одно- и двухпереходных полупроводниковых структур. Объяснение экспериментальных закономерностей, характеризующих процессы в нелинейных колебательных системах.
автореферат, добавлен 27.07.2018Понятие и обработка прямых и косвенных измерений. Источники систематических и случайных ошибок. Оценка погрешности значения физической величины. Пример расчета абсолютной погрешности при плотности тела, определенной методом гидростатического взвешивания.
реферат, добавлен 14.12.2013Измеряемые величины в продуктах сгорания органических видов топлива в энергетике. Процедуры организации измерений. Простейшие устройства, работающие в уходящих газах. Методика измерений массовых выбросов загрязняющих веществ котельных установок.
статья, добавлен 30.01.2017Изучение устройства, технических свойств и применений электромеханических измерительных приборов магнитоэлектрической, электродинамической и электромагнитной систем. Измерение постоянных и переменных напряжений и токов. Анализ погрешности измерений.
лабораторная работа, добавлен 25.10.2021Основные положения и методы измерения мощности. Измерение амплитуды с использованием приемника. Измерение амплитуды ВЧ-сигналов с использованием монолитных интегральных схем. Измерение амплитуды с использованием непосредственной выборки ВЧ-сигналов.
реферат, добавлен 16.10.2020Исследование особенностей формирования высокоэффективных детекторных структур больших размеров с оптимальными электрофизическими и радиометрическими свойствами. Анализ физических механизмов, влияющих на формирование амплитуды энергетических спектров.
автореферат, добавлен 24.05.2018Анализ применения двухмерно-периодических поглощающих структур в оптическом и терагерцовом диапазоне. Расчет диаграмм рассеяния и отражения многослойных структур. Анализ оптимальных параметров структур для наблюдения наибольшего эффекта поглощения.
статья, добавлен 11.01.2018Моделирование процесса прямых измерений постоянного напряжения и силы тока методом непосредственной оценки. Практическое определение пределов погрешностей измерений по классу точности прибора. Выбор способа коммутации входов и выходов КУ между собой.
лабораторная работа, добавлен 02.02.2015Основные сведения о метрологии, измерениях и средствах измерений. Метрологическое обеспечение при производстве и эксплуатации технических устройств. Измерение параметров электрических сигналов электронными приборами, значения магнитной восприимчивости.
презентация, добавлен 26.11.2020Анализ хронологии развития микроскопии. Строение и принцип работы оптического микроскопа. Исследование контраста изображения и разрешающей способности прибора с сильно увеличивающими стеклами. Особенность измерения размеров микроскопических объектов.
реферат, добавлен 29.05.2016- 63. Оценка погрешностей прямых и косвенных измерений при изучении колебаний математического маятника
Методика вычисления средних значений измеряемых величин и доверительного интервала прямых и косвенных измерений при заданной доверительной вероятности. Ускорение свободного падения. Измерение длины и определение периода колебаний математического маятника.
лабораторная работа, добавлен 14.05.2015 Возможности системного анализа распределительных электрических сетей энергетической системы с применением когнитивных измерений. Важность мониторинга распределительной электрической сети с точки зрения эксплуатационных условий для заданных интервалов.
статья, добавлен 25.11.2020Измерение ЭДС гальванических элементов, составленных из медного и цинкового электродов. Экспериментальное определение их потенциалов при соответствующих концентрациях при помощи сравнения с хлорсеребряным электродом. Вычисление погрешности измерения.
лабораторная работа, добавлен 22.04.2015Методы и принципы измерений, используемые в физических лабораториях при изучении физико-химических систем. Учет погрешностей, измерения электрических сигналов и давлений. Измерение температуры и световых потоков, источников и приемников излучения.
учебное пособие, добавлен 19.02.2013Рассмотрение метода анализа статических и динамических характеристик структур на основе карбида кремния. Вычисление подвижности основных носителей заряда в широком диапазоне температур и уровней легирования в многослойных полупроводниковых материалах.
статья, добавлен 09.03.2015Доверительный интервал для двух значений доверительной вероятности. Оценка систематической погрешности. Доверительные границы случайной погрешности. Определение параметров транзисторов вместе с погрешностями. Поверка и функционирование средств измерений.
контрольная работа, добавлен 18.11.2015Совокупный и совместный виды электрических измерений. Измерение напряжения на участке электрической цепи. Полупроводниковые приборы. Однополупериодный выпрямитель (четвертьмост). Принцип действия генератора, якоря. Результаты смещения магнитного поля.
контрольная работа, добавлен 20.12.2014Измерение зависимости повышения температуры железного бруска в муфельной печи от времени. Вычисление по результатам измерений теплоёмкости исследуемого образца. Законы и соотношения, использованные при выводе расчётной формулы: закон Джоуля-Ленца и Ома.
лабораторная работа, добавлен 23.04.2016Физические основы и принцип работы атомно-силового микроскопа, его внутреннее устройство и главные компоненты. Анализ схемы зондового датчика, а также факторы, влияющие на его взаимодействие с поверхностью. Качественный вид потенциала Леннарда-Джонса.
реферат, добавлен 25.05.2020- 72. Виды измерений
Основные элементы процесса измерения. Теория погрешностей и обработки результатов измерений. Способы уменьшения случайных и систематических погрешностей. Оценка случайных погрешностей прямых равноточных измерений. Классификация средств измерений.
курс лекций, добавлен 05.03.2012 Овладение методами измерения напряжений в цепях электронных схем. Получение навыков работы с электронными вольтметрами и освоения подхода к их выбору. Оценка погрешности результата измерения напряжений. Измерение входного сопротивления вольтметра.
лабораторная работа, добавлен 08.12.2019Применение сложнопрофильных деталей в современном машиностроении. Параметризация задачи влияния изменения геометрических размеров контактирующих тел на распределение контактных давлений и размеры контактной площадки в сопряжении тел конечных размеров.
статья, добавлен 22.03.2016Поверка технического амперметра, нахождение абсолютной и относительной погрешностей. Измерение постоянного тока и напряжения в цепи. Виды и погрешности электрических измерений. Выбор измерительной аппаратуры - амперметра, вольтметра, счётчика однофазного.
контрольная работа, добавлен 23.03.2013