Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур
Измерение размеров микроструктур в субмикронном диапазоне. Измерение профиля полупроводниковых структур. Образование методической погрешности при контроле профиля элемента методом атомно-силовой микроскопии. Калибровки с применением мер малой длины.
Подобные документы
Постоянные, переменные, векторные и скалярные физические величины. Понятие абсолютной и относительной погрешности. Алгоритм введения физической величины. Измерение физических величин с помощью штангенциркуля и пуговицы, определение их погрешностей.
лабораторная работа, добавлен 10.06.2013Исследование электростатического поля. Определение ЭДС элемента методом компенсации. Измерение сопротивления методом моста Уитстона. Последовательное и параллельное соединение проводников. Определение емкости конденсатора при помощи мостиковой схемы.
методичка, добавлен 24.06.2015Прямые и косвенные измерения физической величины. Способы обработки приборных ошибок, абсолютная и относительная погрешности. Определение среднего квадратичного отклонения. Понятие доверительной вероятности. Расчет плотности твердых тел правильной формы.
методичка, добавлен 16.09.2014Физические основы работы атомно-силового микроскопа. Силовое взаимодействие между зондом и поверхностью. Вид потенциала Ленарда-Джонса. Технология изготовления зондовых датчиков атомно-силовых микроскопов. Контактная атомно-силовая микроскопия.
реферат, добавлен 06.09.2015Характеристика и анализ методов измерения изоляции воздушного и ударного шума внутренними и наружными ограждающими конструкциями жилых и общественных зданий. Требования к помещениям, аппаратура. Оценка погрешности измерений статистическими методами.
курсовая работа, добавлен 27.12.2012- 81. Решение контактных задач теории упругости с использованием дискретного элемента конечных размеров
Изучение возможности решения контактных задач теории упругости, задачи о штампе, используя дискретную модель сплошной среды. Идея моделирования сплошной среды с использованием дискретного элемента конечных размеров. Метод последовательных перемещений.
статья, добавлен 22.03.2016 Основы метрологического обеспечения, установление и применение научных и организационных основ, технических средств, правил и норм, необходимых для достижения требуемой точности измерений. Особенности контроля и измерения параметров в теплоэнергетике.
контрольная работа, добавлен 08.05.2024Изучение электронного осциллографа: измерение величины сигнала. Измерение емкости конденсатора мостовым методом. Работа генератора пилообразных колебаний с неоновой лампой. Знакомство с явлением термоэлектричества. Определение удельного заряда электрона.
учебное пособие, добавлен 19.05.2017Свойства германиевого и кремниевого выпрямительных полупроводниковых диодов при изменении температуры окружающей среды, измерение их вольт-амперных характеристик. Параметры стабилитрона и туннельного диода, анализ уровня напряжения в электрических схемах.
методичка, добавлен 05.02.2015Теоретические и методические основы расчета полупроводниковых диодов и транзисторов на p-n-переходах. Рекомендации по определению электрических параметров и построению зонной диаграммы полупроводниковых приборов, а также микроэлектронных устройств.
методичка, добавлен 08.09.2015Экспериментальное исследование процесса образования наночастиц при абляции меди, латуни и серебра импульсным излучением YAG: Nd-лазера в этаноле, анализ их характеристик. Определение размеров наночастиц методом фотонной корреляционной спектроскопии.
статья, добавлен 23.06.2018Вычисление и особенности измерения скорости тела, скатывающегося с наклонной плоскости. Характеристика и специфика возникновения возможной погрешности при расчете. Описание процесса использования рулетки, секундомера, мяча и прямоугольной коробки.
лабораторная работа, добавлен 18.09.2015Особенности измерений вероятностных характеристик. Измерение математического ожидания. Характеристика средней мощности и дисперсии среднеквадратического напряжения. Распределение вероятностей случайных сигналов. Спектральный анализ случайного сигнала.
презентация, добавлен 30.01.2016Устройство и принцип работы измерительного прибора. Измерение сопротивлений, ёмкостей, индуктивностей и других электрических величин. Область применения моста постоянного тока. Изучение порядка проведения измерений. Погрешности и причины их появления.
реферат, добавлен 24.06.2020Эталоны единиц электрических величин. Изучение физических основ электрических измерений и классификация электроизмерительной аппаратуры. Регистрирующие, цифровые и аналоговые измерительные приборы. Измерение сигналов переменного тока. Измерительные мосты.
курсовая работа, добавлен 10.10.2012Эталоны длины и массы, хранящиеся в Международном бюро мер и весов в Севре. Анализ воздействия метрологических центров на создание и хранение первичных эталонов, а также передачу размеров единиц. Главная особенность определения физической константы.
презентация, добавлен 23.12.2021Сущность, классификация и методы измерений физической величины. Измерение как преобразование измеряемой физической величины в число. Виды средств измерительной техники. Основные характеристики погрешностей измерительного прибора или преобразователя.
контрольная работа, добавлен 09.06.2015Система обеспечения единства измерений в РФ. Единицы величин, средства и методики выполнения измерений. Понятие Государственного стандарта (ГОСТ) и эталона. Производные нормы международной системы единиц. Поверка средств измерений и основы метрологии.
практическая работа, добавлен 04.05.2015Государственная система обеспечения единства измерений, ее структура, основные задачи и объекты деятельности. Описание и краткая характеристика методов стандартизации и история сертификации. Определение абсолютной и относительной погрешности измерения.
контрольная работа, добавлен 24.06.2015Нормы погрешности измерений. Средства измерений и вспомогательные устройства, используемые при контроле отклонения от плоскостности поверхности стеклянных пластин, пластин с зеркально отраженной поверхностью из других материалов с диаметром не менее 8 мм.
методичка, добавлен 29.01.2014Проведение экспериментальных исследований для формирования элементов и структур микрофлюидики для гибридных сенсорных систем. Суть параметров ионно-лучевого травления по шаблонам, исходя из анализа результатов эксперимента и создания микроканалов.
статья, добавлен 29.05.2017Параметры контурных катушек и измерение их индуктивности. Индикация короткозамкнутых витков. Особенности измерения индуктивностей методом вольтметра-амперметра. Назначение универсальных измерительных мостов. Резонансные измерители индуктивностей.
реферат, добавлен 26.02.2013Дифференциальные уравнения движения материальной точки и их интегрирование. Первый закон Ньютона. Инерциальные системы отсчета, сложение сил. Принцип суперпозиции, возникновение ускорений. Измерение деформации тел – изменение формы и размеров тел.
презентация, добавлен 22.12.2014Характеристика особенностей атомно-шероховатых поверхностей и атомно-гладких граней роста кристалла. Изучение вида объекта-микрометра под микроскопом. Рассмотрение снимков роста кристалла, полученных с помощью цифрового микроскопа Intel Play QX-3.
лабораторная работа, добавлен 22.03.2015Составление планировки холодильника, определение размеров основных и вспомогательных помещений. Расчет длины грузовых платформ. Расчет и подбор камерных приборов охлаждения. Анализ охлаждения масла в винтовых компрессорах. Смешивание смазочных материалов.
курсовая работа, добавлен 23.02.2019