Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур

Измерение размеров микроструктур в субмикронном диапазоне. Измерение профиля полупроводниковых структур. Образование методической погрешности при контроле профиля элемента методом атомно-силовой микроскопии. Калибровки с применением мер малой длины.

Подобные документы

  • Постоянные, переменные, векторные и скалярные физические величины. Понятие абсолютной и относительной погрешности. Алгоритм введения физической величины. Измерение физических величин с помощью штангенциркуля и пуговицы, определение их погрешностей.

    лабораторная работа, добавлен 10.06.2013

  • Исследование электростатического поля. Определение ЭДС элемента методом компенсации. Измерение сопротивления методом моста Уитстона. Последовательное и параллельное соединение проводников. Определение емкости конденсатора при помощи мостиковой схемы.

    методичка, добавлен 24.06.2015

  • Прямые и косвенные измерения физической величины. Способы обработки приборных ошибок, абсолютная и относительная погрешности. Определение среднего квадратичного отклонения. Понятие доверительной вероятности. Расчет плотности твердых тел правильной формы.

    методичка, добавлен 16.09.2014

  • Физические основы работы атомно-силового микроскопа. Силовое взаимодействие между зондом и поверхностью. Вид потенциала Ленарда-Джонса. Технология изготовления зондовых датчиков атомно-силовых микроскопов. Контактная атомно-силовая микроскопия.

    реферат, добавлен 06.09.2015

  • Характеристика и анализ методов измерения изоляции воздушного и ударного шума внутренними и наружными ограждающими конструкциями жилых и общественных зданий. Требования к помещениям, аппаратура. Оценка погрешности измерений статистическими методами.

    курсовая работа, добавлен 27.12.2012

  • Основы метрологического обеспечения, установление и применение научных и организационных основ, технических средств, правил и норм, необходимых для достижения требуемой точности измерений. Особенности контроля и измерения параметров в теплоэнергетике.

    контрольная работа, добавлен 08.05.2024

  • Изучение возможности решения контактных задач теории упругости, задачи о штампе, используя дискретную модель сплошной среды. Идея моделирования сплошной среды с использованием дискретного элемента конечных размеров. Метод последовательных перемещений.

    статья, добавлен 22.03.2016

  • Изучение электронного осциллографа: измерение величины сигнала. Измерение емкости конденсатора мостовым методом. Работа генератора пилообразных колебаний с неоновой лампой. Знакомство с явлением термоэлектричества. Определение удельного заряда электрона.

    учебное пособие, добавлен 19.05.2017

  • Свойства германиевого и кремниевого выпрямительных полупроводниковых диодов при изменении температуры окружающей среды, измерение их вольт-амперных характеристик. Параметры стабилитрона и туннельного диода, анализ уровня напряжения в электрических схемах.

    методичка, добавлен 05.02.2015

  • Вычисление и особенности измерения скорости тела, скатывающегося с наклонной плоскости. Характеристика и специфика возникновения возможной погрешности при расчете. Описание процесса использования рулетки, секундомера, мяча и прямоугольной коробки.

    лабораторная работа, добавлен 18.09.2015

  • Теоретические и методические основы расчета полупроводниковых диодов и транзисторов на p-n-переходах. Рекомендации по определению электрических параметров и построению зонной диаграммы полупроводниковых приборов, а также микроэлектронных устройств.

    методичка, добавлен 08.09.2015

  • Экспериментальное исследование процесса образования наночастиц при абляции меди, латуни и серебра импульсным излучением YAG: Nd-лазера в этаноле, анализ их характеристик. Определение размеров наночастиц методом фотонной корреляционной спектроскопии.

    статья, добавлен 23.06.2018

  • Особенности измерений вероятностных характеристик. Измерение математического ожидания. Характеристика средней мощности и дисперсии среднеквадратического напряжения. Распределение вероятностей случайных сигналов. Спектральный анализ случайного сигнала.

    презентация, добавлен 30.01.2016

  • Устройство и принцип работы измерительного прибора. Измерение сопротивлений, ёмкостей, индуктивностей и других электрических величин. Область применения моста постоянного тока. Изучение порядка проведения измерений. Погрешности и причины их появления.

    реферат, добавлен 24.06.2020

  • Эталоны единиц электрических величин. Изучение физических основ электрических измерений и классификация электроизмерительной аппаратуры. Регистрирующие, цифровые и аналоговые измерительные приборы. Измерение сигналов переменного тока. Измерительные мосты.

    курсовая работа, добавлен 10.10.2012

  • Эталоны длины и массы, хранящиеся в Международном бюро мер и весов в Севре. Анализ воздействия метрологических центров на создание и хранение первичных эталонов, а также передачу размеров единиц. Главная особенность определения физической константы.

    презентация, добавлен 23.12.2021

  • Сущность, классификация и методы измерений физической величины. Измерение как преобразование измеряемой физической величины в число. Виды средств измерительной техники. Основные характеристики погрешностей измерительного прибора или преобразователя.

    контрольная работа, добавлен 09.06.2015

  • Система обеспечения единства измерений в РФ. Единицы величин, средства и методики выполнения измерений. Понятие Государственного стандарта (ГОСТ) и эталона. Производные нормы международной системы единиц. Поверка средств измерений и основы метрологии.

    практическая работа, добавлен 04.05.2015

  • Государственная система обеспечения единства измерений, ее структура, основные задачи и объекты деятельности. Описание и краткая характеристика методов стандартизации и история сертификации. Определение абсолютной и относительной погрешности измерения.

    контрольная работа, добавлен 24.06.2015

  • Нормы погрешности измерений. Средства измерений и вспомогательные устройства, используемые при контроле отклонения от плоскостности поверхности стеклянных пластин, пластин с зеркально отраженной поверхностью из других материалов с диаметром не менее 8 мм.

    методичка, добавлен 29.01.2014

  • Проведение экспериментальных исследований для формирования элементов и структур микрофлюидики для гибридных сенсорных систем. Суть параметров ионно-лучевого травления по шаблонам, исходя из анализа результатов эксперимента и создания микроканалов.

    статья, добавлен 29.05.2017

  • Параметры контурных катушек и измерение их индуктивности. Индикация короткозамкнутых витков. Особенности измерения индуктивностей методом вольтметра-амперметра. Назначение универсальных измерительных мостов. Резонансные измерители индуктивностей.

    реферат, добавлен 26.02.2013

  • Дифференциальные уравнения движения материальной точки и их интегрирование. Первый закон Ньютона. Инерциальные системы отсчета, сложение сил. Принцип суперпозиции, возникновение ускорений. Измерение деформации тел – изменение формы и размеров тел.

    презентация, добавлен 22.12.2014

  • Составление планировки холодильника, определение размеров основных и вспомогательных помещений. Расчет длины грузовых платформ. Расчет и подбор камерных приборов охлаждения. Анализ охлаждения масла в винтовых компрессорах. Смешивание смазочных материалов.

    курсовая работа, добавлен 23.02.2019

  • Развитие навыков преобразования физических величин. Расчет погрешностей измерений, округление результатов. Формирование дифференциального закона распределения. Точечная оценка результатов измерений. Методы и методики измерений, расчет надежности приборов.

    методичка, добавлен 10.09.2017

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.