Фізико-технологічні особливості формування субмікронних структур великих інтегральних схем
Розроблення субмікронної технології високого рівня в інтегральних схемах, модульності чистих зон з іонізацією ламінарних повітряних потоків для забезпечення високої чистоти з нейтралізацією електростатичних зарядів і індивідуальною обробкою Si-пластин.
Подобные документы
Теорія електронних і фононних температурних хвиль у напівпровідниках скінченої довжини, які виникають у результаті об’ємного поглинання модульованого світла. Процеси нестаціонарних термодифузійних потоків у субмікронних напівпровідникових плівках.
автореферат, добавлен 30.07.2014Характеристика випадків ураження блискавкою повітряних ліній електропередач. Розробка методики визначення критичної швидкості наростання струму блискавки на фронті аперіодичного імпульсу. Аналіз ефективності грозозахисту повітряних ліній електропередачі.
статья, добавлен 27.07.2016Отримання апостеріорних інтегральних оцінок точності наближених розв’язків варіаційних задач для змішаного функціонала Рейсснера. Приведення структур розв’язків, що задовольняють усі граничні умови крайових задач статики нетонких оболонок з отворами.
автореферат, добавлен 22.07.2014Дослідження оптичних та люмінесцентних властивостей поруватого кремнію і структур на його основі. Розробка лабораторної технології та вивчення фізико-хімічних особливостей формування і морфології шарів поруватого кремнію, визначення їх оптичних констант.
автореферат, добавлен 20.07.2015Элементная база преобразователей электрической энергии. Работа однофазных вентильных схем. Особенности некоторых режимов в схемах выпрямителей. Примерный порядок проектирования схем преобразователей с естественной коммутацией. Выбор вентилей (тиристоров).
учебное пособие, добавлен 11.12.2015Розробка шредінгерівського формалізму методу спотворених хвиль неперервнго спектру для аналізу та розрахунку процесу одноелектронного захоплення з одночасною іонізацією у високоенергетичних іон-атомних зіткненнях. Аналіз амплітуди процесу захоплення.
статья, добавлен 27.12.2016Метод розрахунку шаруватих структур – змішана схема методу скінченних елементів у переміщеннях – міжшарових контактних напруженнях. Алгоритм числового дослідження даного впливу. Розробка та обґрунтування теорії податливих на зсув і стиснення пластин.
автореферат, добавлен 28.09.2014- 33. Закономірності формування та еволюції нерівноважного структурного стану іонно-плазмових конденсатів
Структурний стан матеріалів, одержаних за умов високої нерівноважності процесів. Формування та еволюція фазового складу, структури, субструктурних характеристик конденсатів вольфраму, одержаних за нерівноважних умов осадження з іонно-плазмових потоків.
автореферат, добавлен 14.09.2015 Дослідження статичних та динамічних характеристик аварійних режимів в розподільних мережах. Вдосконалення методу дистанційного визначення місця пошкодження в повітряних розподільних мережах з конструктивною, структурною та режимною неоднорідністю.
автореферат, добавлен 26.08.2015Вплив дрейфу електронів та атомів на оптичні, магнітні та електричні характеристики напівпровідникових кристалів та наномірних плівок. Методи скорочення наносекундних і пікосекундних лазерних імпульсів, технологія формування субмікронних фазових структур.
автореферат, добавлен 30.07.2014Розрахунок інтегральних виразів для спектрально-кутових розподілів потужності випромінювання систем заряджених частинок. Вплив фактора когерентності на тонку структуру спектра випромінювання двох електронів, що рухаються по гвинтовій лінії у вакуумі.
автореферат, добавлен 28.07.2014- 37. Властивості йонно-модифікованих тонкоплівкових і багатошарових структур на основі елементів IV групи
Дослідження механізмів йонно-стимульованого формування структур з прихованими діелектричними та напівпровідниковими шарами. Вплив на особливості процесів формування і властивості багатошарових структур вуглецю, домішок кисню та механічних напружень.
автореферат, добавлен 12.02.2014 Класифікація повітряних ліній електропередачі, їх характеристики. Проміжні, кутові, відгалужувальні, перехресні й кінцеві опори, їх виконання з підкосами або з відтяжками. Складання і оснащення опор повітряних ліній. Монтаж проводів повітряних ліній.
реферат, добавлен 29.08.2010Дослідження фотоіндукованих фізико-хімічних процесів формування регулярних структур із наноцентрів під дією стаціонарних просторово-періодичних світлових полів у адитивно забарвлених кристалах KCl як сукупності конкуруючих дифузійно-дрейфових процесів.
автореферат, добавлен 11.08.2014Створення методики визначення критичних навантажень для пластин при простому завантаженні. Дослідження розподілу напружень та матриці Гріна. Оцінка стійкості пластин з різними граничними умовами. Нелінійний зв'язок між напруженнями і деформаціями.
автореферат, добавлен 26.07.2014Монтаж повітряних ліній. Приймання в експлуатацію повітряних ліній після їх спорудження. Організація робочого місця електромонтера. Основні заходи безпеки роботи з електрообладнанням. Техніка безпеки при експлуатації, монтажі та ремонті повітряних ліній.
реферат, добавлен 21.02.2014Методи та програмні засоби для аналізу великих обсягів спектральних даних, що налічують десятки тисяч ліній. Особливості та труднощі обробки обертальних і коливально-обертальних спектрів високої роздільної здатності великого числа коливальних станів.
автореферат, добавлен 30.08.2014Методи термічного випаровування в квазізамкнутому об’ємі. Окиснення леткого попередника. Енергетичні стани електронів. Загальні закономірності фізико–хімічних процесів формування п’єзоактивних оксидних та халькогенідних структур з розвиненою поверхнею.
автореферат, добавлен 27.07.2014Нормы погрешности измерений. Средства измерений и вспомогательные устройства, используемые при контроле отклонения от плоскостности поверхности стеклянных пластин, пластин с зеркально отраженной поверхностью из других материалов с диаметром не менее 8 мм.
методичка, добавлен 29.01.2014Дослідження характеристики процесу накопичення прибутку для багатоканальних стохастичних мереж. Проведення асимптотичного аналізу систем інтегральних рівнянь, що описують роботу стохастичної мережі напівмарковського типу. Метод гауссівської апроксимації.
автореферат, добавлен 28.08.2014Фізико-технологічні параметри процесу формування тонких плівок шляхом термоіонного і реакційного термоіонного осаджування, різних модифікацій магнетронного розпилення та методами активованого плазмою хімічного осадження і лазерного випаровування.
автореферат, добавлен 22.04.2014Чисельно-аналітичний метод розв’язання задач електродинаміки на основі інтегральних рівнянь макроскопічної електродинаміки і його застосування для проведення багатопараметричних розрахунків електродинамічних характеристик електромагнітних полів.
автореферат, добавлен 29.08.2014Розвиток чисельного методу на основі використання інтегральних рівнянь для проведення багатопараметричних розрахунків електродинамічних характеристик та аналізу фізичних особливостей електромагнітних полів, розсіяних плоскими двоперіодичними решітками.
автореферат, добавлен 02.10.2018Виявлення ознак та особливостей різноманітних математичних моделей шаруватих пластин і оболонок. Варіаційна постановка змішаних граничних задач для шаруватих структур як основа методу скінченних елементів. Визначення міжшарових контактних напружень.
автореферат, добавлен 05.01.2014Азотування заліза в газовому дуговому розряді низького тиску. Забезпечення наступного накладання зносостійких шарів та надтвердих покриттів при температурах підкладки. Вакуумно-дугова ерозія порошкових катодів та її вплив на властивості поверхні.
автореферат, добавлен 26.09.2015