Фізико-технологічні особливості формування субмікронних структур великих інтегральних схем
Розроблення субмікронної технології високого рівня в інтегральних схемах, модульності чистих зон з іонізацією ламінарних повітряних потоків для забезпечення високої чистоти з нейтралізацією електростатичних зарядів і індивідуальною обробкою Si-пластин.
Подобные документы
Побудова моделей поведінки ребристих пластин та циліндричних оболонок на інерційній основі з урахуванням дискретності підкріплення. Розв’язання задач нестаціонарного деформування, аналіз механічних ефектів у поведінці складових пластин та оболонок.
автореферат, добавлен 23.02.2014Розробка алгоритму застосування методу послідовних наближень для побудови у рядах Неймана розв’язків інтегральних рівнянь в задачах про дію розподілених навантажень. Розподіл напружень і переміщень в ізотропному півпросторі при варіюванні параметрів.
автореферат, добавлен 14.08.2015Особливості, можливості трансформації вторинних енергетичних потоків. Перспективи різних підходів до використання потенціалів вторинної пари, у тому числі за рахунок впливу на ексергію її теплоти зі зростанням здатності до здійснення кінцевого результату.
статья, добавлен 25.11.2016Актуальність вдосконалення технологій, що використовуються при руйнуванні твердих матеріалів у сучасній гідромеханіці. Оцінка факторів впливу на структуру струменя високого тиску. Аналіз конструктивних параметрів формування та витікання струменів.
автореферат, добавлен 27.08.2013Температурні залежності інтенсивності та яскравості випромінювання спектрів фотолюмінесценції кристалів ZnS:Mn при різних значеннях концентрації активатора. Аналіз функції помилок при розкладенні інтегральних спектрів за допомогою функції Гауса.
автореферат, добавлен 15.07.2014Розробка ефективного підходу до розв’язання інтегральних рівнянь і задач ударної взаємодії однакових пружних циліндричних тіл та тіл обертання, який базується на застосуванні перетворення Лапласа з послідуючим розділенням змінних у просторі зображень.
автореферат, добавлен 13.07.2014Узагальнення підходу до дослідження напружено-деформованого стану трансверсально-ізотропних і шаруватих пластин з прямолінійними наскрізними тріщинами при заданому навантаженні з використанням відомих уточнених теорій згину тонких пластин шостого порядку.
автореферат, добавлен 22.07.2014Розробка наукової концепції формування в сплавах заліза структур нано- і субмікророзмірного рівня. Метод подрібнення зеренної структури сплавів заліза до нанорозміров при поєднанні поверхневої інтенсивної пластичної деформації тертям та газових середовищ.
автореферат, добавлен 26.07.2014Формулювання послідовнісного підходу до визначення напружено-деформованого стану локально навантажених тонкостінних пружних тіл. Розвиток методу інтегральних рівнянь з використанням подання функцій Гріна стосовно контактних задач теорії оболонок.
автореферат, добавлен 22.07.2014Теоретичне дослідження властивостей рідин, адсорбованих в пористому середовищі. Використовування різних технік та наближення в рамках теорії інтегральних рівнянь і методів комп’ютерного моделювання. Отримання ряду характеристик для молекул флюїду.
автореферат, добавлен 07.08.2014Деформаційна залежність від пружного вигину, повної інтегральної відбивної здатності монокристалів з випадково розподіленими дефектами. Теорія розсіяння випромінювань у кристалах. Характер розподілу дифрагованої інтенсивності у просторі оберненої гратки.
автореферат, добавлен 07.08.2014Аналіз дії динамічних сил на міцність елементів конструкцій залежно від частоти навантаження. Використання інтегральних рівнянь, механічних квадратур, функції комплексної змінної. Розрахунок напруження на границі колінеарних розрізів залежно від відстані.
статья, добавлен 30.01.2017- 63. Дослідження концентрації напружень поблизу тонких кругових включень при динамічному навантаженні
Визначення напруженого стану у тілах з тонкими круговими включеннями в умовах осесиметричного хвильового навантаження. Розробка ефективних чисельних методик розв’язання отриманих інтегральних рівнянь для широкого діапазону зміни хвильового числа.
автореферат, добавлен 26.02.2015 Аналіз закономірностей миттєвих та інтегральних характеристик енергетичних процесів в колах несинусоїдального струму. Оцінка взаємного впливу елементів кола при заданих режимах роботи генераторів та ключових елементів. Енергетичні характеристики.
автореферат, добавлен 29.08.2013Розробка способів розв’язання задач плоскої теорії пружності для багатошарових основ (кількість шарів скінченна). Узагальнення методів функцій податливості, фіктивних навантажень, розривних переміщень. Дослідження сингулярних інтегральних рівнянь.
автореферат, добавлен 20.07.2015Сучасні методи теорії рідкого стану. Теорія інтегральних рівнянь, термодинамічної теорії збурень. Полідисперсні колоїдні і полімерні системи, їх використання для дослідження фазової поведінки ряду модельних полідисперсних систем на мікроскопічному рівні.
автореферат, добавлен 29.08.2015- 67. Граничноелементний аналіз анізотропного термопружного півпростору з тонкими деформівними включеннями
Побудова інтегральних рівнянь задачі термопружності для анізотропного півпростору, що містить отвори, тріщини, тонкі жорсткі та деформівні включення, що враховують усі можливі комбінації однорідних механічних і теплових крайових умов на межі півпростору.
статья, добавлен 29.11.2016 Поведінка фізичних характеристик псевдоспінових систем з короткосяжними конкуруючими та далекосяжними взаємодіями. Система інтегральних рівнянь функцій розподілу кластерних полів при довільних температурах. Термодинамічні характеристики моделі Ізінга.
автореферат, добавлен 26.09.2015Топологічна класифікація інтегральних многовидів. Обчислення показників і визначення областей орбітальної нестійкості рухів. Розрахунок методом перетинів Пуанкаре траєкторної структури фазового простору в малому околі точних періодичних розв'язків.
автореферат, добавлен 30.10.2015Регуляція рівня внутрішньоклітинної концентрації кальцію. Виявлення взаємної участі мітохондрій та ендоплазматичного ретикулуму великих та малих заднєкорінцевих гангліїв (первинних сенсорних нейронів) ссавців у внутрішньоклітинній кальцієвій сигналізації.
диссертация, добавлен 25.06.2014- 71. Просторові динамічні задачі механіки руйнування при врахуванні контактної взаємодії берегів тріщин
Метод побудови граничних інтегральних рівнянь у нелінійній постановці з використанням фундаментальних розв’язків динамічної теорії пружності. Характеристики механіки руйнування в залежності від напрямку розповсюдження та амплітуди гармонічної хвилі.
автореферат, добавлен 28.09.2014 - 72. Двовимірні крайові задачі про взаємодію плоских нестаціонарних пружних хвиль з тонкими включеннями
Аналітико-числове визначення напруженого стану в тілах, що знаходяться в умовах антиплоскої або плоскої деформації, з тонкими смуговими включеннями під дією нестаціонарного навантаження. Побудова інтегральних подань у просторі зображень за Лапласом.
автореферат, добавлен 29.08.2015 Диференціальний рівень руху твердого тіла і гіростата системи другого порядку. Класифікація тривимірних інтегральних многовидів задачі про рух важкого жорсткого корпусу. Фундаментальні дії рухомих годографів кутової швидкості та кінетичного моменту.
автореферат, добавлен 28.08.2015Процес модернізації розподільчих пристроїв високої напруги шляхом поступової заміни масляних та повітряних вимикачів на елегазові. Пошук засобів по запобіганню виникненню аварійних режимів. Рекомендації по математичному моделюванню перехідних процесів.
статья, добавлен 29.11.2016Дослідження миттєвих та інтегральних характеристик енергетичних процесів в колах несинусоїдального струму. Аналіз складових додаткових втрат електроенергії та розрахунок балансу її складових в однофазних та багатофазних колах з ключовими елементами.
автореферат, добавлен 04.03.2014