Фізико-технологічні особливості формування субмікронних структур великих інтегральних схем
Розроблення субмікронної технології високого рівня в інтегральних схемах, модульності чистих зон з іонізацією ламінарних повітряних потоків для забезпечення високої чистоти з нейтралізацією електростатичних зарядів і індивідуальною обробкою Si-пластин.
Подобные документы
- 101. Дослідження полів напружень і переміщень навколо тонких пружних включень при усталених коливанняx
Побудова інтегральних подань для переміщень та напружень в тілі з тонким смуговим включенням. Формулювання динамічних задач теорії пружності взаємодії з тонким смуговим включенням гармонічних хвиль. Відношення пружних сталих включення та матриці.
автореферат, добавлен 27.09.2014 Аналіз напружено-деформованого стану шаруватих пластин і оболонок із композиційних матеріалів. Особливості варіаційних постановок задач на основі змішаної форми методу скінченних елементів. Розробка спеціальних алгоритмів побудови чисельних розв'язків.
автореферат, добавлен 12.11.2013- 103. Формування структури поверхневих шарів алюмінієвих сплавів під дією імпульсної лазерної обробки
Встановлення закономірностей формування структури поверхневих шарів алюмінію технічної чистоти та сплавів системи Al-Si в умовах нерівноважної кристалізації, які досягалися при імпульсній лазерній обробці. Формування дисперсної квазіевтектичної структури.
автореферат, добавлен 26.09.2015 - 104. Розробка багатокритерійних моделей та засобів управління енерговикористанням у навчальних закладах
Аналіз існуючих моделей та засобів управління енерговикористанням в організаціях бюджетної сфери. Формування складу показників оцінювання рівня енерговикористання у навчальних закладах. Розроблення моделей рейтингового оцінювання рівня енергоефективності.
автореферат, добавлен 14.08.2015 Дослідження та аналіз системи сингулярних інтегральних рівнянь для задач дослідження збуреного напруженого стану ізотропних оболонок з тріщинами різної довжини (наскрізних, поверхневих і внутрішніх), орієнтованими вздовж обох ліній головних кривин.
автореферат, добавлен 26.07.2014Процедура знаходження магнітних полів у феромагнітному середовищі з двоперіодичним розподілом груп різнорідних циліндричних волокон. Використання алгоритму до осереднення фізико-механічних властивостей волокнистих п'єзокерамічних регулярних структур.
автореферат, добавлен 10.08.2014Взаємозв'язок інтегральних характеристик динамічного розсіяння Х-променів, температурних спектрів поглинання пружної енергії зі змінами дефектної структури опромінених монокристалів кремнію високоенергетичними електронами в процесі природного старіння.
автореферат, добавлен 06.07.2014Розробка плазмових і плазмоподібних уповільнюючих структур, які дозволяють одержувати великі й надвеликі потужності. Можливість використання електронних приладів з такими уповільнюючими структурами у НВЧ-генераторах і прискорювачах нового покоління.
автореферат, добавлен 29.09.2015- 109. Розробка математичних методів і дослідження контактної взаємодії пружних тіл при врахуванні тертя
Виведення інтегральних рівнянь низки контактних задач теорії пружності за наявності тертя. Розповсюдження метода Вінера-Гопфа на вказаний клас задач. Дослідження особливостей контактної взаємодії пружних тіл різної геометрії за наявності процесу тертя.
автореферат, добавлен 28.07.2014 Розробка теоретичних положень синтезу схем напівпровідникових вентильних перетворювачів із заданими властивостями на основі головної топологічної матриці. Основні топологічні закономірності структурного синтезу поліпшених схем перетворювальних пристроїв.
автореферат, добавлен 15.11.2013Вплив нормальних процесів на теплопровідність кристалів в залежності від їхньої інтенсивності. Дослідження теплопереносу у кристалічних розчинах, які мають значне число структурних дефектів. Відтворювальна технології вирощування чистих кріокристалів.
автореферат, добавлен 29.07.2014Оптичні характеристики хімічно чистих перехідних металів, їхніх бінарних сплавів, сплавів із благородними металами у широкій області спектра. Зв'язок оптичних властивостей з електронною енергетичною структурою чистих металів та двокомпонентних сполук.
автореферат, добавлен 22.04.2014Можливі процеси взаємодії частинок з речовиною і не зв’язані з іонізацією. Фотоемульсійний метод та особливості його практичного застосування. Методи реєстрації іонізувального випромінювання. Поглинена доза іонізувального випромінювання та його дія.
контрольная работа, добавлен 03.04.2011- 114. Елекрооптичні ефекти в структурах МДН - рідкий кристал, зумовлені перенесенням і накопиченням заряду
Взаємозв’язок процесів переносу і накопичення зарядів в структурах МДН-рідкий кристал з характеристиками електрооптичних ефектів, а також умови виникнення і релаксації нестійкостей орієнтованих нематиків в області пор діелектрика структур М-РК-Д-Н.
автореферат, добавлен 12.02.2014 Аналіз оцінки рівнів регіонального розвитку сфери зовнішнього освітлення. Визначення інтегральних показників розвитку на базі відібраних показників із загальної статистичної звітності. Характеристика середнього рівню розвитку сфери освітлення в Україні.
статья, добавлен 25.09.2017Визначення повітряної лінії (ПЛ). Класифікація ліній за призначенням, за класом напруги. Основні конструктивні елементи ПЛ. Улаштування повітряних ліній електропередач із самонесучими ізольованими проводами. Захист ліній від атмосферних перенапруг.
лекция, добавлен 28.03.2020Внедрение решений, сочетающих элеваторные узлы с термостатами на отопительных аппаратах. Отечественная практика эксплуатации внутренних схем отопления зданий. Сокращение величины расхода сетевой воды, протекающей через теплообменный комнатный аппарат.
статья, добавлен 27.02.2017Вдосконалення способів та засобів підвищення стійкості наявних трансформаторів напруги до нестаціонарних режимів роботи ЕМ 10 кВ з ізольованою нейтраллю. Розроблення нового нерезонуючого трансформатора напруги для забезпечення вищого рівня надійності.
автореферат, добавлен 24.06.2014Мероприятия по усилению электроэнергетического режима для снижения рисков обесточения, уменьшения отключенных потребителей, повышения качества энергии в аварийном режиме. Метод усиления электрической схемы в ремонтных схемах с мощными потребителями.
статья, добавлен 14.04.2018Поперечно-неоднородные пластины и их использование в качестве деталей машин и механизмов, элементов современных конструкций. Анализ развития теорий поперечно-неоднородных упругих пластин, подходов и методов решения. Построение однородных решений.
статья, добавлен 22.03.2016Аналіз вимог чинних в Україні нормативно-технічних документів щодо визначення показників якості природних газів. Вплив фізико-хімічних параметрів газу на забезпечення надійної та безпечної експлуатації побутового газового обладнання житлових будинків.
статья, добавлен 11.10.2018Розробка технологічних основ отримання штучного пористого заповнювача та визначення його фізико-механічних і теплофізичних властивостей. Класифікація обладнання для термообробки в енергозберігаючій технології виробництва штучного пористого заповнювача.
автореферат, добавлен 29.08.2014Розрахунок впливу несиметричних шарових пластин на дію згинаючого та стискаючого навантажень. Оцінка ролі компоненту напружено-деформованого стану для отримання рівноваги. Пружньо-геометричні показники змінності внутрішнього навантаження примежшарів.
автореферат, добавлен 12.02.2014Викладення етапів розроблення системи електропостачання підприємства з використанням сонячної та вітрової енергії для забезпечення освітлення господарства: схема електропостачання на стороні 0,4 кВ; розрахунок обладнання системи з сонячними модулями.
дипломная работа, добавлен 12.05.2014Просторова електромагнітна система трифазного трансформатора на основі геометричної оптимізації активної частини за частковими критеріями. Систематизація варіантів їх конструктивних схем. Конструкторсько-технологічні рішення просторових магнітопроводів.
автореферат, добавлен 07.08.2014