Фізико-технологічні особливості формування субмікронних структур великих інтегральних схем
Розроблення субмікронної технології високого рівня в інтегральних схемах, модульності чистих зон з іонізацією ламінарних повітряних потоків для забезпечення високої чистоти з нейтралізацією електростатичних зарядів і індивідуальною обробкою Si-пластин.
Подобные документы
Характеристики діодів з міждолинним переносом електронів при введенні в матеріал глибоких нейтральних центрів захоплення електронів. Особливості виникнення та існування високочастотних нестійкостей струму при повній, частковій компенсації напівпровідника.
автореферат, добавлен 30.08.2014Формулювання розрахункової моделі для дослідження процесів руйнування та прогнозування залишкової довговічності твердих тіл (елементів трибоспряжень) при їх циклічному контактуванні. Покроковий розрахунок траєкторій тріщин на базі інтегральних рівнянь.
автореферат, добавлен 30.08.2014Теория пластин с учётом сдвиговых деформаций и ее развитие. Динамика пластин с учётом податливости на сдвиг и инерции поворота. Существование двух спектров собственных частот. Обоснование качественного различия между двумя спектрами собственных частот.
статья, добавлен 22.03.2016Математичне моделювання негармонійних коливань, що виникають при взаємодії розподілених в просторі електронних потоків. Спектральний аналіз коливань зарядів, струмів, полів на вибірках. Адаптація параметричних методів спектрального оцінювання функцій.
автореферат, добавлен 30.10.2015- 80. Використання ітераційної теорії для дослідження локального термопружного згину ортотропних пластин
Розробка та впровадження методики побудови фундаментального розв’язку рівнянь термопружного згину ортотропних пластин за ітераційною теорією. Дослідження впливу теплофізичних параметрів і ортотропії матеріалу на термопружний стан ортотропних пластин.
автореферат, добавлен 28.08.2015 Основний вплив поляризаційного фактора на граничні значення напруженості імпульсних електромагнітних полів. Характеристика провідних доріжок та контактної площадки. Особливість деградаційних процесів мікросхем, що призводять до катастрофічних відмов.
автореферат, добавлен 27.07.2014Аналіз розподілів напружень і термонапружень в неоднорідних термочутливих багатошарових пружних тілах, спричинених силовими і температурними навантаженнями: напружено-деформований стан порожнистих, суцільних циліндрів, куль; кільцевого, суцільного дисків.
автореферат, добавлен 07.03.2014Дослідження напруженого стану кусково-однорідної ізотропної пластинки з коловим розрізом по лінії умовного поділу матеріалів за умови контактування їхніх берегів. Розв’язок системи сингулярних інтегральних рівнянь методом механічних квадратур і колокації.
статья, добавлен 25.10.2016Классические теории композитных конструкций при решении задач расчета напряженно-деформированного состояния многослойных пластин. Определение областей геометрических параметров пластин и колец; физико-механические характеристики композиционных материалов.
статья, добавлен 29.10.2018Математичне обґрунтування та дослідження застосування диференційного підходу до вимірювань великих, змінних у часі потоків ядерного випромінювання. Розрахунок перерізу реакції поглинання нейтронів ядром 181Та з використанням програмного пакету Empire II.
автореферат, добавлен 25.08.2014- 86. Дослідження концентрації напружень поблизу тонких кругових включень при динамічному навантаженні
Побудова інтегральних подань для переміщень і напружень у тілі з тонкими круговими включеннями. Аналітико-чисельне визначення напруженого стану у тілах із тонкими круговими включеннями в умовах осесиметричного усталеного хвильового навантаження.
автореферат, добавлен 25.02.2015 Технологічні основи одержання керамічних галогеновмісних високотемпературних надпровідників і гібридних контактних структур типу "ВТНП-киснево-вмісний напівпровідник". Комплексні дослідження фізичних властивостей, розробка гібридних контактних структур.
автореферат, добавлен 15.11.2013Розробка і дослідження способів побудови інтегральних силових модулів, адаптованих до різних умов застосування, зміни параметрів зовнішніх ланцюгів і частоти комутації. Створення імпульсних напівпровідникових перетворювачів малої та середньої потужності.
автореферат, добавлен 22.06.2014Вдосконалення чисельних методів розв'язку задач гідродинаміки і теплообміну в'язкої нестисливої рідини. Розробка методик чисельного моделювання, призначених для дослідження нових задач. Встановлення залежностей інтегральних і локальних характеристик.
автореферат, добавлен 12.02.2014Обчислення фундаментальних розв'язків динамічної теорії пружності для матеріалу з плоскою тріщиною. Аналіз розподілу векторів контактних сил взаємодії і переміщень на поверхні тріщини за різних частот навантаження. Метод граничних інтегральних рівнянь.
автореферат, добавлен 24.06.2014- 91. Термопружність багатошарових пластин складної форми в плані при наявності міжшарових джерел тепла
Розробка ефективних методів розв’язання задач теплопровідності і термопружності багатошарових пластин складної форми в плані, що мають плівкові розподілені джерела тепла. Аналіз температурного поля і напружено-деформованого стану багатошарових пластин.
автореферат, добавлен 28.09.2015 Особливості розробки теорії комбінованих структур з діелектричним резонансом Е-типу. Дослідження конструкцій керованих селективних пристроїв, що дають змогу керувати резонансною частотою в широкому діапазоні частот при збереженні високої добротності.
автореферат, добавлен 24.02.2014Вивчення напружно-деформованого стану та граничної рівноваги ортотропних циліндричних оболонок з тріщинами. Системи нелінійних сингулярних інтегральних рівнянь. Аналіз моделі Леонова-Панасюка-Дагдейла та методів дисторсій в теорії оболонок з тріщинами.
автореферат, добавлен 23.02.2014Встановлення коректного розв'язку лінійних інтегральних рівнянь другого роду з компактними операторами, що мають великі ядра. Математичне тестування методу розв'язання нелінійної граничної задачі відновлення потенціалу за модулем його градієнта на ЕОМ.
автореферат, добавлен 25.04.2014- 95. Моделі і методи аналітичної теорії нетонких пластин та пологих оболонок при статичному навантаженні
Розвинення варіанта аналітичної теорії однорідних лінійно пружних пластин та пологих оболонок. Побудова моделей нетонких однорідних та шаруватих фізично лінійних і нелінійних пластин та пологих оболонок з використанням варіаційного принципу Рейснера.
автореферат, добавлен 28.08.2015 Дослідження динамічних коефіцієнтів інтенсивності напружень у тривимірних безмежних пружних тілах, методом граничних інтегральних рівнянь. Параметри коливного процесу у тілі з плоскими круговими концентраторами напружень для широкого спектру частот.
автореферат, добавлен 12.07.2014Сутність іон-молекулярного підходу в теорії розчинів електролітів на випадок іон-молекулярної і міжмолекулярної асоціативних взаємодій. Виведення аналітичних виразів для термодинамічних функцій моделі. Вплив асоціації на властивості міжфазної області.
автореферат, добавлен 07.03.2014- 98. Використання інтегральних представлень в теорії пружності та термопружності для складних областей
Розробка методики розв’язання плоскої задачі теорії теплопровідності та пружності для багатозв’язного напівнескінченного тіла. Одержання розв’язки нових контактних задач про вдавлювання квадратного в плані штампу в багатозв’язну область з плоскою межею.
автореферат, добавлен 06.07.2014 Розробка теоретичної бази проектування високоефективних контурів тепло- і холодоспоживання на суднах. Встановлення закономірностей впливу нерівномірних повітряних потоків на теплове навантаження нагрівачів і охолоджувачів повітря систем кондиціонування.
автореферат, добавлен 20.04.2014- 100. Розв’язок задач термопружності для кусково-однорідних анізотропних пластин з отворами та тріщинами
Розробка методики визначення термонапруженого стану (ТНС) кусково-однорідних анізотропних пластин з отворами, тріщинами, включеннями довільної конфігурації. Розв'язок на її основі практичних задач із встановленням закономірностей впливу на ТНС пластин.
автореферат, добавлен 29.07.2015