Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Фотолитография и основы оптики. Проекционная, контактная печать и печать с зазором. Характеристики электронно-лучевых установок, поглощение излучения высоких энергий. Радиационные повреждения приборов. Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.

Подобные документы

  • Физиологические эффекты воздействия лазерного излучения на организм. Требования к изготовителям лазерных приборов. Классификация лазерных излучателей. Классы опасности лазерного излучения по СНиП 5804-91. Гигиеническое нормирование лазерного излучения.

    реферат, добавлен 05.08.2011

  • Формирование рентгеновского излучения трубкой. Схема процессов взаимодействия рентгеновского излучения с веществом. Характеристика и особенности фотоэлектрического эффекта, механизмы поглощения энергии фотонов. Сущность дифракции рентгеновских лучей.

    презентация, добавлен 24.01.2017

  • Принцип работы принимающей электронно-лучевой трубки. Угол отклонения луча трубки. Ионная ловушка, задержка подачи напряжения на анод либо модулятор. Достоинства и недостатки электронно-лучевых трубок. Цветные кинескопы, маски современных кинескопов.

    курсовая работа, добавлен 09.02.2017

  • Сущность теории Ритца. Модификация гипотезы Ритца для рассеянного излучения, фотонная модель и инерция энергии. Теория дисперсии и теорема затухания, эффект Доплера первого порядка. Продление времени жизни быстрых мезонов, кинематика высоких энергий.

    статья, добавлен 15.11.2018

  • Литография - технологический метод, предназначенный для формирования на подложке топологического рисунка микросхемы с помощью чувствительных к излучению покрытий. Задачи и операции фотолитографии. Сушка проявленного слоя, удаление с подложки фоторезиста.

    презентация, добавлен 26.10.2020

  • Энергетическая структура полупроводников. Квантовые точки, нити и ямы. Определение ширины запрещенной зоны из температурной зависимости электропроводности полупроводников. Исследование спектральной зависимости фоточувствительности полупроводников.

    реферат, добавлен 26.10.2015

  • Исторические сведения об изучении тока и электричества. Физика полупроводников. Собственная проводимость полупроводников. Зонная теория проводимости. Приместная проводимость. Устройство и принцип действия полупроводниковых приборов. Диод и стабилитрон.

    реферат, добавлен 03.11.2008

  • Основные закономерности движения заряженных частиц в условиях высокого и низкого вакуума. Проектирование вакуумных и плазменных (газоразрядных) приборов. История изобретения электронно-лучевой трубки. Рассмотрение концепции термоядерного синтеза.

    лекция, добавлен 08.07.2014

  • Изучение общих принципов устройства и работы цифровых приёмников излучения на примере цифровой камеры CANON 1000D. Основы устройства приборов с зарядовой связью. Общие принципы фотометрического определения температуры. Цветовые характеристики камер.

    лабораторная работа, добавлен 23.12.2014

  • Основні поняття, предмет вивчення та різновиди оптики. Ключові світлові характеристики випромінювання. Закони геометричної оптики як наслідок принципу Ферма. Пояснення закономірностей фотоефекту з точки зору хвильової та квантової теорії світла.

    курс лекций, добавлен 07.08.2017

  • Рассмотрение сущности амплитудного и фазового контрастов. Технология формирования изображения в оптической системе. Анализ аберраций в электронном микроскопе. Примеры применения электронной микроскопии высокого разрешения в физике твердого тела.

    лекция, добавлен 21.03.2014

  • История оптики и измерительных приборов, особенности их практического применения. Основные положения теории Гюйгенса и волновые свойства света, анализ работы спектроскопа. Истоки ядерной физики, развитие методов регистрации излучений (альфа, бета, гамма).

    реферат, добавлен 28.01.2015

  • Полупроводники с собственной, электронной и дырочной проводимостью. Электронно-дырочный переход в состоянии равновесия. Контакт между полупроводниками одинакового типа проводимости. Концентрация примесей, воздействия светового и ионизирующего излучений.

    контрольная работа, добавлен 05.07.2016

  • Этапы совершенствования полупроводниковой технологии для решения задач микроминиатюризации и интеграции электронной аппаратуры. Особенности примесной проводимости, эффект компенсации доноров и акцепторов. Измерение удельного сопротивления полупроводников.

    курсовая работа, добавлен 03.06.2016

  • Свет как особый вид электромагнитных волн, воспринимаемый человеческим глазом. Знакомство с особенностями влияния электромагнитного излучения бытовых приборов на организм человека. Рассмотрение основных способов защиты от электромагнитных полей.

    реферат, добавлен 13.11.2021

  • Анализ тепловых процессов в рентгеновских трубках с вращающимся двухслойным анодом при различных видах нагрузок. Разработка ионно-плазменной технологии нанесения металлических пленок на бериллиевые окна рентгеновских трубок с прострельными анодами.

    автореферат, добавлен 31.07.2018

  • Способы достижения рациональных режимов электропотребления на предприятиях. Изучение физических основ светотехники, конструкции световых приборов и источников излучения. Проектирование осветительных установок и эксплуатация светотехнических устройств.

    методичка, добавлен 05.05.2015

  • Понятие полупроводниковых приборов, история их развития. Признаки и свойства полупроводников. Структура элементарных частиц: электрона и протона. Причины появления у кремния полупроводниковых свойств. Вольт-амперные характеристики электронных компонентов.

    статья, добавлен 04.01.2021

  • Физиологические и психологические аспекты цветовой оптики: геометрия глаза, угол разрешения, поле зрения, пределы яркостной чувствительности глаза. Доказательство необходимости изучения курса "Цветовой оптики" и проблемы его внедрения в школьную практику.

    дипломная работа, добавлен 24.02.2014

  • Определение сущности электромагнитного и инфракрасного излучения. Рассмотрение источников электромагнитного излучения. Интерференция света и его волновые свойства. Особенности использования дифракционной решетки. Содержание закона преломления света.

    презентация, добавлен 10.03.2021

  • Анализ результатов эксперимента с поляриметром жесткого рентгеновского излучения (20-100 кэВ) СПР-Н на борту обсерватории "КОРОНАС-Ф". Определение спектральных и временных параметров, оценка поляризации. Изучение теплового рентгеновского излучения.

    статья, добавлен 21.05.2018

  • Общее понятие об электрическом заряде. Дискретный ряд разрешенных энергий, с которыми могут существовать электроны в атоме. Заряженные частицы в твердом теле. Функция распределения Ферми-Дирака. Определение концентрации электронов в зоне проводимости.

    лекция, добавлен 27.09.2017

  • История открытия и использования полупроводников. Анализ причин зависимости электрического сопротивления металлов и полупроводников от температуры. Зонная теория проводимости. Влияние примесей на электропроводность материала. Применения полупроводников.

    реферат, добавлен 08.03.2010

  • Теория электрических разрядов в газообразных, жидких, твердых и комбинированных диэлектриках. Конструирование внешней изоляции линий электропередач, подстанций и другого оборудования высокого напряжения. Испытательные установки высокого напряжения.

    курс лекций, добавлен 08.05.2014

  • Исследование кинетики химических реакций для решения задач физики взрыва и определения параметров роста hi-tech структур. Регистрация линий поглощения аммиака и азотной кислоты. Определение времени и температуры выхода каждого из продуктов разложения.

    статья, добавлен 30.10.2018

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.