Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Фотолитография и основы оптики. Проекционная, контактная печать и печать с зазором. Характеристики электронно-лучевых установок, поглощение излучения высоких энергий. Радиационные повреждения приборов. Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.

Подобные документы

  • Понятие об электромагнитных волнах и электромагнитном поле излучения. Уравнения Максвелла, геометрическая оптика и ее законы. Соотношение между углами падения, отражения и преломления. Геометрическая оптика как предельный случай волновой оптики.

    лекция, добавлен 06.12.2018

  • Особенность определения возможных стационарных состояний глобального среднегодового теплового баланса поверхности Земли. Характеристика разработки модели для расчетов потоков свободной энергии и энтропии излучения через верхнюю границу атмосферы.

    автореферат, добавлен 02.03.2018

  • Возникновение дрейфового и диффузионного токов в полупроводниках. Понятие и структура электронно-дырочного перехода, его особенности при отсутствии внешнего напряжения, при прямом и обратном напряжении. Вольтамперная характеристика p-n-перехода.

    реферат, добавлен 27.01.2011

  • Характеристика понятия и сущности элементарной частицы. Анализ гравитационного взаимодействия материи, объектов природы, элементарных частиц. Изучение роли гравитации в процессах, протекающих в звездах, в эволюции Вселенной, в условиях планеты Земля.

    реферат, добавлен 24.05.2015

  • Описание электровакуумных приборов сверхвысоких частот. Методика выполнения численного анализа движения электронов в электрическом поле аксиально-симметричных электродов произвольной конфигурации, его апробация на геометрии электронно-оптической системы.

    реферат, добавлен 23.10.2010

  • Понятие и история развития оптики. Основные положения корпускулярной теории Ньютона и волновой теории света Гюйгенса, Френеля. Взгляды на природу света в XIX-XX столетиях. Волновые свойства света и геометрическая оптика. Глаз как оптическая система.

    реферат, добавлен 19.06.2014

  • Понятие и свойства рентгеновского излучения. История открытия данных лучей; положение на шкале электромагнитных волн, взаимодействие с веществом. Использование в химии для анализа соединений, в физике для исследования структуры кристаллов, в медицине.

    реферат, добавлен 11.02.2014

  • Описание фактов из жизни открывателя немецкого физика В.К. Рентгена и проводимых им экспериментов с катодной трубкой. История обнаружения рентгеновского излучения. Эйфория в научном мире и "лучевая лихорадка". Области применения рентгеновских лучей.

    презентация, добавлен 19.01.2015

  • Характеристики излучения разных видов производимых ламп – источников света. Принцип действия, преимущества, недостатки, срок службы стандартных ламп накаливания: галогеновых, люминесцентных, натриевые, разрядных ламп высокого давления и светодиодов.

    курсовая работа, добавлен 08.10.2013

  • Электроустановки испытательных станций и лабораторий. Общие требования к устройству испытательного поля. Схема электропитания установки высокого напряжения. Принцип действия электростатического вольтметра. Токовые шунты и индукционные измерители тока.

    реферат, добавлен 06.03.2014

  • Конструирование и практическое применения лазерных приборов, связанных с возможностью поражения зрения и кожных покровов человека. Сущность методов измерения мощности и энергии лазерного излучения: теплового, фотоэлектрического, пондеромоторного.

    реферат, добавлен 25.06.2010

  • Изучение условий возникновения рентгеновского излучения, способов его обнаружения и областей применения в промышленности. Изучение методов дифракционного и спектрохимического анализа. Описание технических параметров и принципа работы рентген-аппаратов.

    курсовая работа, добавлен 19.01.2014

  • Изучение предмета исследования и раскрытие содержания оптики как раздела физики о природе света, световых явлениях и взаимодействиях света с веществом. Описание направлений исследования волновой и геометрической оптики. Явления, законы и понятия оптики.

    презентация, добавлен 06.09.2012

  • Решение законов возникновения, эволюции и судьбы Вселенной. Исследование высоких энергий, создание сложных и дорогостоящих инструментов: наземных и орбитальных телескопов, синхрофазотронов, большого коллайдера. Классификация современных энергоресурсов.

    статья, добавлен 27.01.2021

  • Ознакомление с классификацией солнечных энергетических установок. Характеристика процесса преобразования солнечного излучения в электроэнергию с помощью солнечных фотоэлектрических установок. Рассмотрение перспектив использования солнечной энергии.

    реферат, добавлен 23.05.2016

  • Физические основы атомно-абсорбционного метода. Принципиальная схема измерения поглощения света. Лоренцевское уширение. Способы измерения атомного поглощения. Различия методов атомной абсорбции и атомной эмиссии. Источники резонансного излучения.

    реферат, добавлен 07.09.2011

  • Получение и обнаружение рентгеновского излучения. Рентгеновская и гамма-дефектоскопия. Дифракция и методы дифракционного анализа. Спектрохимический рентгеновский анализ. Медицинская рентгенодиагностика, ее биологическое действие и опасные факторы.

    реферат, добавлен 12.12.2014

  • Обзор алгоритма моделирования системы электронных приборов методом сверхвысокочастотного излучения неавтономных блоков. Расчет вольт-амперной характеристики волнового нелинейного элемента, являющегося базовым элементом теории электронной волновой цепи.

    статья, добавлен 03.04.2018

  • Анализ кристаллического строения твердых тел и дифракции рентгеновского излучения в кристаллах. Расчет углов отражения и интенсивности максимума для плоскостей с учетом плотности заполнения атомами, факторов поглощения, повторяемости и температуры.

    лабораторная работа, добавлен 06.11.2021

  • Способы представления колебаний, характеристики цепей переменного тока и резонансных систем. Основы генерации и распространения звуковых и электромагнитных волн. Принципы действия полупроводниковых элементов, на основе которых строятся преобразователи.

    курс лекций, добавлен 22.06.2014

  • Анализ принципа действия и основных типов лазера. Изучение особенностей лазерного излучения. Изменения свойств ткани и ее температуры под действием непрерывного мощного лазерного излучения. Характеристики лазерного излучения, применяемого в медицине.

    реферат, добавлен 19.03.2017

  • История возникновения и развития электроники и оптоэлектроники. Принцип работы квантовых приборов и сфера их применения. Характеристика явления индуцированного излучения в работе квантовых приборов. Получение усиления электромагнитных колебаний.

    лекция, добавлен 26.08.2015

  • Преимущества рекомендаций, основанных на эталонах единицы поглощенной дозы в воде. Международная система измерений. Практические рекомендации для пучков электронов высоких энергий, тяжелых ионов. Особенности выражения неопределенностей различных типов.

    материалы конференции, добавлен 14.11.2013

  • Электростатические печатающие устройства: понятие и порядок использования в качестве устройств копировально-множительной техники. Сущность электрофотографического способа, его главные функции. Электрокаплеструйная печать, ее структурные элементы.

    лекция, добавлен 10.08.2013

  • Разработка метода энергетического анализа концентратора солнечной энергии, позволяющего моделировать распределение концентрированного излучения по поверхности фотопреобразователей. Анализ физического моделирования углов прихода солнечного излучения.

    статья, добавлен 23.10.2018

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.