Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Фотолитография и основы оптики. Проекционная, контактная печать и печать с зазором. Характеристики электронно-лучевых установок, поглощение излучения высоких энергий. Радиационные повреждения приборов. Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.

Подобные документы

  • Магнитное поле и его характеристики. Явление электромагнитной индукции. Понятия и формулы кинематики. Энергия, работа, мощность. Потенциал электростатического тока. Основы ядерной физики. Основы оптики. Сведения по термодинамике. Электростатика.

    шпаргалка, добавлен 13.10.2013

  • Классификация лазерных технологических процессов. Механизм передачи и поглощения энергии при излучении. Оптические характеристики металлов. Физические свойства лазерной плазмы. Анализ преимуществ применения лазеров в создании электронных приборов.

    учебное пособие, добавлен 06.05.2016

  • Описание устройства цифрового фотоаппарата, его особенности. Ход лучей света и аккомодация, устройство фотопленки, "глаза". Исправление дефектов зрения. Строение и принцип действия лупы, телескопа, микроскопа. Спектр излучения солнца, цветное зрение.

    презентация, добавлен 04.08.2014

  • Виды ионизирующего излучения и их характеристика. Сущность и особенности рентгеновского излучения. Взаимодействие альфа и бета – частиц. Рассмотрение фотоэффекта, образование электронно-позитронных пар. Эффекты взаимодействия нейтронов с веществом.

    статья, добавлен 21.03.2024

  • Анализ публикаций по радиационному контролю реакторов методом гамма-спектрометрии высокого разрешения. Наборы реперных радионуклидов для контроля ядерно-физических процессов в активной зоне и технологических процессов контура водо-водяных реакторов.

    статья, добавлен 28.09.2013

  • История создания первых звуковых приборов. Развитие науки о звуке. Акустика как наука, изучающая возникновение, распространение и поглощение звука. Основные физические характеристики колебательных движений. Распространение звука и звуковые явления.

    реферат, добавлен 28.12.2011

  • Оценка высоких технико-экономических преимуществ, определение целесообразности эффективного и глубокого заземления нейтрали в электроустановках высокого напряжения. Работа сетей на нейтральных режимах, введение дополнительного реактивного сопротивления.

    статья, добавлен 23.10.2024

  • Изучение новых современных преобразователей частот на основе структур с компенсацией угла сноса. Построение схемы синтеза, измерения и создания генератора разностной частоты на основе нелинейного оптического кристалла. Вторичные опорные стандарты частоты.

    автореферат, добавлен 03.02.2018

  • Изучение истории открытия и общая характеристика инфракрасного излучения. Сущность и значение термографии, которая основана на регистрации с помощью электронно-оптических преобразователей инфракрасного излучения, испускаемого тканями человека и животных.

    реферат, добавлен 18.01.2013

  • Краткие сведения о тонких пленках и основные процессы, происходящие при их формировании. Методы получения тонких пленок и сравнительные характеристики этих методов. Принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения тонких пленок.

    учебное пособие, добавлен 13.03.2016

  • Системы преобразования солнечного излучения в тепловую энергию. Расчёт эффективности применения плоских рефлекторов методом геометрической оптики с целью повышения интенсивности солнечного излучения, падающего на прозрачное ограждение гелиоустановок.

    статья, добавлен 02.02.2019

  • Предмет и направления исследования оптики как физической науки, история развития. Интенсивность и поляризация света. Квазимонохроматические и квазиплоские волны, их сравнительное описание. Световые пучки и импульсы: энергия, мощность, интенсивность.

    курс лекций, добавлен 17.10.2014

  • Сущность геометрической оптики как раздела оптики, в котором не принимается во внимание волновая природа света. Рассмотрение принципа Ферма и расчет оптической длины пути. Определение основных функций относительной спектральной чувствительности.

    реферат, добавлен 06.09.2015

  • Рассмотрение акустических эффектов в пьезоэлектрических полупроводниках. Анализ влияния электрического поля на поглощение и усиление звука. Происхождение нелинейных взаимодействий в диэлектрике. Проведение опытов по усилению тепловых звуковых флуктуаций.

    доклад, добавлен 07.06.2010

  • Анализ проблемы угрозы электромагнитного излучения и мер по защите от него. Характеристика механизма генерации ЭМИ. Опасность для радиоэлектронных средств. Источники такого излучения. Описание конструкции и принципов применения соответствующих приборов.

    реферат, добавлен 14.11.2017

  • История возникновения рентгеновских лучей. Механизм образования квантов излучения, характеристика их спектра, энергии и длин волн. Способ расчета дифракционной картины от кристаллической решетки. Использование рентгенологического исследования в медицине.

    реферат, добавлен 29.05.2016

  • Применение высоких напряжений для передачи электрической энергии. Техника высоких напряжений. Изоляция электрических установок. Внешняя и внутренняя изоляция высоковольтного электрооборудования. Система контроля и диагностика. Защита от ударов молнии.

    курс лекций, добавлен 13.10.2017

  • Физические представления о работе электронных приборов СВЧ и их применении в различных отраслях народного хозяйства. Особенности нагрева диэлектриков в диапазонах УВЧ и СВЧ. Конструкция резонаторных камер для установок СВЧ и нагрева диэлектриков.

    реферат, добавлен 27.09.2012

  • История развития дифракционной компьютерной оптики. Решение задачи дифракции лазерного излучения на элементах микрооптики с применением разностных схем для уравнений Максвелла. Сокращение вычислительных затрат посредством декомпозиции сеточной области.

    автореферат, добавлен 02.03.2018

  • Изучение понятия и принципа действия гамма-излучения - коротковолнового электромагнитного излучения, которое на шкале электромагнитных волн граничит с жестким рентгеновским излучением, занимая область более высоких частот. Линейный коэффициент поглощения.

    реферат, добавлен 27.12.2010

  • Оценка достоинств и недостатков отдельных систем и установок энергетики возобновляемых источников энергии, призванных обеспечивать водоснабжение, выработку механической и электрической энергий производство холода и тепла в средней полосе России.

    статья, добавлен 20.11.2018

  • Спектральная характеристика моноэнергетического источника альфа-излучения. Характеристики применяемых в промышленности источников А-излучения. Схема образования гамма-квантов при распаде. Физическая природа потока квантов (волн) электромагнитной энергии.

    лекция, добавлен 17.06.2018

  • Устройство пьезоэлектрического полупроводника. Взаимодействие электронов проводимости с пьезоэлектрическим полем. Поглощение и усиление звука, физическая основа. Основные результаты линейной теории. Усиление акустических шумов и связанные с этим явления.

    реферат, добавлен 10.12.2010

  • Сущность и физическое обоснование, а также основные характеристики и свойства поляризованного излучения. Характеристика и принцип действия, структура и элементы простейших поляризационных устройств, приборов для поляризационно-оптических исследований.

    контрольная работа, добавлен 01.04.2014

  • Принципы определения места короткого замыкания на линиях электропередач посредством применения приборов определения места повреждения методом натурных испытаний. Моделирование опытов в системе RTDS для оценки достоверности итогов проведенных опытов.

    статья, добавлен 15.04.2018

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.