Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Фотолитография и основы оптики. Проекционная, контактная печать и печать с зазором. Характеристики электронно-лучевых установок, поглощение излучения высоких энергий. Радиационные повреждения приборов. Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.

Подобные документы

  • Изучение распределения молекул азота по колебательным уровням электронно-возбужденного и основного состояний в тлеющем разряде в воздухе по распределению излучения в электронно-колебательных полосах положительной системы. Анализ полученных результатов.

    статья, добавлен 08.12.2018

  • Особенность использования газовых турбин для создания парогазовых устройств. Характерные отказы газотурбинных установок на российских станциях. Исследование основных показателей надежности по причине износа рабочих лопаток полукаплана высокого давления.

    лекция, добавлен 16.09.2017

  • Изучение возможности детектирования теневых изображений объектов в рентгеновском диапазоне длин волн. Оценка контраста и изменения чувствительности электронного фотоприемника в зависимости от интенсивности рентгеновского излучения и времени ее накопления.

    статья, добавлен 21.05.2017

  • Общая и медицинская радиобиология. Внешнее и внутреннее воздействие ионизирующих излучений. Характер и типы развития лучевой болезни. Электромагнитные, корпускулярные излучения и радиоволны. Исследования динамики биохимических лучевых нарушений.

    реферат, добавлен 31.03.2014

  • Современное состояние золь-гель-технологии и особенности применения ее для формирования материалов и приборов электронной техники. Элементы теории фракталов, модели роста и методы анализа фрактальных агрегатов. Специфика формирования нанокомпозитов.

    монография, добавлен 17.11.2011

  • История развития оптики. Основные положения корпускулярно-волновой теории. Взгляды на природу света в XIX – XX столетиях. Волновые свойства света и геометрической оптики. Интерференция света. Глаз как оптическая система. Оптические измерительные приборы.

    реферат, добавлен 04.03.2014

  • Физические процессы, происходящие в полупроводниках под воздействием внешних ионизаторов. Строение полупроводников, их отличительные особенности собственной и примесной проводимости. Практическое применение полупроводников в электронных устройствах.

    презентация, добавлен 05.10.2015

  • Построение физико-математических моделей, описывающих взаимодействие солнечного излучения с оптически плотными средами. Проведение численных расчетов по лазерной резонансной флуоресценции и ионизации паров металлов. Численное моделирование фотоионизации.

    автореферат, добавлен 15.02.2018

  • Исследование шаровой молнии - положительно заряженного светящегося аэрозоля диаметром в несколько десятков микрон, который возникает в результате излучения при рекомбинации ионов и переходах между метастабильными уровнями электронов газов воздуха.

    статья, добавлен 03.02.2019

  • Физическая картина формирования газового разряда. Раскрытие физического смысла коэффициентов объемной ионизации и ионно-электронной эмиссии. Условия зажигания разряда на правой и левой ветвях кривой Пашена. Классификация приборов газового разряда.

    лекция, добавлен 11.08.2014

  • Анализ мощности нейтронного излучения для различных источников облученного ядерного топлива реактора ВВЭР-1200 для высоких выгораний и времени выдержки до 100 лет. Аппроксимационные зависимости для проведения расчета мощности нейтронного излучения.

    статья, добавлен 05.10.2019

  • Обзор методов определения места повреждения. Теоретические основы определения места короткого замыкания по параметрам аварийного режима. Системы для определения места замыкания на основе микропроцессорных приборов. Автоматические локационные искатели.

    статья, добавлен 31.01.2019

  • Разработка метода малоугловой рентгеновской дифракции с высоким временным разрешением, основанный на использовании синхротронного излучения и быстродействующих детекторов. Комплекс приборов для исследования мышцы и система управления экспериментом.

    статья, добавлен 13.11.2018

  • Ступенчатая ионизация. Эффективный коэффициент ударной ионизации. Ионно-плазменная обработка. Нарушение структуры материалов при бомбардировке многоатомными ионами. Теория радиационных нарушений в материалах. Расчет КПД электроискровой установки.

    реферат, добавлен 02.08.2013

  • Анализ ошибок уравнений Максвелла в области электричества и магнетизма. Описание волнового уравнения для электромагнитных волн и задачи построения иерархии энергий. Приведение законов сохранения импульса, сохранения излучения для источника теплового тока.

    реферат, добавлен 02.05.2015

  • Возникновение группы и множество точечных источников волн. Законы геометрической оптики: распределение света, отражение света, скорость, преломление и поглощение. Распространение волны, фокусное расстояние, когерентность волн и линии равного наклона.

    реферат, добавлен 22.06.2010

  • Изучение зависимости электрического сопротивления различных металлов, полупроводников и приборов на их основе от температуры. Перенос электрических зарядов в веществе под действием внешнего электрического поля. Понятие твердотельных проводников.

    лабораторная работа, добавлен 08.03.2014

  • Космические лучи высоких и сверхвысоких энергий. Аномалии Фурье- и вейвлет-спектра. Космические лучи и статистические свойства данных их регистрации. Исследование спектральной плотности. Регистрация прохождения космических лучей через атмосферу.

    статья, добавлен 03.10.2013

  • Обзор по исследованиям радиационных дефектов в детекторных кристаллах LiF. Поглощение рентгеновского и гамма-излучений в щелочно-галоидных солях. Центры поглощения в кристаллах щелочно-галоидных солей. Добавочное оптическое поглощение, энергия кристаллов.

    дипломная работа, добавлен 26.05.2018

  • Открытие радиоактивного излучения, его свойства и Токсикологическая характеристика. Энергия, излучаемая радием. Альфа-, бета- и гамма-лучи. Схема разделения радиоактивных лучей магнитным полем. Естественная и искусственная радиоактивность, радон.

    реферат, добавлен 07.07.2009

  • Общие сведения о полупроводниках, распределение электронов по энергиям в атоме твердого тела. Кристаллическая решётка. Плоская модель идеальной решётки полупроводника. Понятие примесных полупроводников, их электропроводность и энергетические диаграммы.

    методичка, добавлен 13.06.2011

  • Основные принципы организации и требования к производству монтажа электрических установок. Развитие технологий ламп. Распределение светового потока источника света. Технология монтажа светильников. Эксплуатация осветительных приборов их замена и чистка.

    дипломная работа, добавлен 14.08.2014

  • Условия работы спутниковых антенн космических аппаратов. Признаки волнового движения. Элементарные частицы мирового пространства Вселенной. Радиационные пояса Земли. Направление спиральных ветров в циклонах и в антициклонах, их связь с вращением Земли.

    статья, добавлен 23.11.2018

  • Зависимость плотности реликтового излучения Вселенной от длины волны. Статистическое распределение количества фотонов разных энергий в полости черного тела с температурой. Исследование кривых распределения энергии в спектре абсолютно черного тела.

    статья, добавлен 04.02.2019

  • Классификация веществ по величине и температурной зависимости проводимости. Представления об электропроводности собственных и примесных полупроводников. Зависимость концентрации носителей заряда и уровня Ферми в полупроводниках с одним типом примеси.

    курсовая работа, добавлен 29.05.2024

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.