Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
Подобные документы
Физико-химические основы и технологическое оформление производства алюминия. Получение глинозёма из алюминиевых руд и нефелинового сырья. Химические методы получения алюминия, субгалогенидный процесс. Электролиз криолит-глиноземного и хлоридного расплава.
курсовая работа, добавлен 16.04.2014Изучение порядка проведения анализа структуры микрошлифов под металломикроскопом. Особенности подготовки образца шлифованием и электромеханическим полированием. Рекомендации по выбору химических реактивов для травления при выявлении микроструктур.
лабораторная работа, добавлен 12.01.2010Обоснование выбора подложек из анодного оксида алюминия со сквозными порами и методов их обработки для повышения равномерности по толщине, однородности по диаметрам пор. Формирование чувствительных к ультрафиолетовому и рентгеновскому излучениям слоев.
автореферат, добавлен 29.03.2018Классификация композиционных материалов. Армирование алюминиевых, магниевых и титановых сплавов непрерывными тугоплавкими волокнами бора, карбида кремния, доборида титана и оксида алюминия. Экономическая эффективность применения композиционных материалов.
курсовая работа, добавлен 28.05.2013Азотирование — технологический процесс химико-термической обработки азотом поверхностей металлов, сплавов: назначение, свойства азотированных металлических поверхностей. Процессы, оборудование для газового, каталитического, ионно-плазменного азотирования.
реферат, добавлен 14.07.2013Технологический процесс цеха кальцинации и фильтрации продукционного гидроксида алюминия. Аппаратурно-технологические схемы процесса прокалки гидроксида алюминия. Технология процесса прокалки в печи "кипящего слоя". Получение глинозема марки ГСК-2.
контрольная работа, добавлен 20.03.2016Подготовка подложек и эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Характеристика процессов окисления, диффузии, литографии, травления, ионной имплантации, металлизации. Методы сборки и герметизации сверхбольших интегральных схем, их контроля и диагностики.
курс лекций, добавлен 11.08.2013Общая характеристика алюминия, его основные химические и физические свойства. Сплавы на основе алюминия, их свойства и особенности, классификация и разновидности, сферы применения. Понятие и параметры нормальной работы электролизных ванн, их обслуживание.
контрольная работа, добавлен 22.01.2009Основные негативные воздействия на окружающую среду от процесса производства алюминия. Ознакомление с историей производства алюминия в России. Изучение глобальных процессов урбанизации и индустриализации. Экологичные технологии в производстве алюминия.
реферат, добавлен 22.03.2021Изучение состава, качества и стадий обработки сырья. Рассмотрение дефектов катанки. Анализ принципов поставки и складирования. Применения травления стальной катанки для удаления окалины. Технология изготовления проволоки для канатов методом волочения.
реферат, добавлен 23.03.2015Современный способ получения алюминия. Применение метода зонной очистки и кристаллизации из амальгам. Основные характеристики сплавов, выделение их из щелочных растворов. Механические свойства алюминия. Применение его в электронике, тяжелой металлургии.
эссе, добавлен 26.05.2016Структура себестоимости первичного алюминия. Магнито-динамический перфоратор. Трубопроводная магистраль для транспортировки жидких сплавов. Устройство и работы магнито-динамического электролизёра. Выплавка алюминия с помощью индукционных токов.
контрольная работа, добавлен 03.02.2014Особенности высокой прочности цинковых покрытий, применяющихся для восстановления размеров поверхностей деталей. Характеристика проведения анодного травления обрабатываемого элемента в электролите, позволяющего усовершенствовать техническую систему.
статья, добавлен 29.06.2017Сравнение химических свойств алюминия и его электропроводности с другими металлами. Содержание алюминия в земной коре. Разработка и промышленное освоение производства активных металлов методом электролиза расплавленных сред. Процесс извлечения глинозема.
реферат, добавлен 16.12.2009Формализация задачи определения несистемных окислительных дефектов поверхности углеродного стального полосового проката. Описание способа нечеткого оценивания толщин дефектов, значения которых лежат в LR-интервалах с помощью идентификации их цвета.
статья, добавлен 08.05.2013Свойства и маркировка алюминия, этапы производства. Литейные и механиические свойства алюминиевых сплавов. Техническое намагничивание ферромагнитных материалов; магнитный гистерезис. Применение германия в промышленности, радиоэлектронике, медицине.
контрольная работа, добавлен 22.01.2015Алюминий как химический элемент. Необходимое оборудование для добычи глинозема в природных условиях. Принципы получения алюминия. Стадии его производства. Трехслойный электролиз в ваннах, футерованных магнезитом. Состав рафинированного алюминия.
презентация, добавлен 05.04.2020Свойства алюминия - металла серебристо-белого цвета с матовым оттенком. Классификация его сплавов по технологическим своствам. Химический состав и механические свойства некоторых литейных алюминиевых сплавов. Маркировка бронзы и магния и сплавов из них.
презентация, добавлен 19.02.2016Общая характеристика и ценные свойства алюминия. Описание технологического процесса его производства. Получение спеченные твердых сплавов, их маркировку по ГОСТу и применение. Виды сварки и резки металлов. Проведение сварки плавлением и сварки давлением.
реферат, добавлен 14.10.2010Особенности применения автоматизированных систем управления в производстве дихлорэтана, бутилацетата, алюминия, сплавов кремния; в работе парового котла, газовых печей, шаровых барабанных мельниц. Анализ задач, аппаратного и программного обеспечения.
контрольная работа, добавлен 23.07.2015Технологическая операция точения алюминиевых сплавов, основные элементы режимов резания. Анализ характеристик алюминиевых сплавов и конструкций токарных резцов. Характеристики инструментальных материалов, применяемых для обработки сплавов из алюминия.
курсовая работа, добавлен 23.03.2015Ознакомление с основными марками цветных сплавов и композиционных материалов, их свойствами и применением. Особенности маркировки сплавов меди и алюминия. Технология обработки и основные направления использования сплавов титана, магния и композитов.
практическая работа, добавлен 22.09.2016Атомно-кристаллическое строение металлов, теория сплавов. Группы промышленных сплавов (стали, чугуны; сплавы алюминия, меди, титана и пр.). Пути повышения конструкционной прочности металлов и сплавов (пластическая деформация, легирование, термообработка).
курс лекций, добавлен 13.06.2015Алюминий - серебристо-белый металл, обладающий высокой электропроводностью и теплопроводностью. Классификация алюминиевых сплавов. Диаграмма состояний "алюминий – легирующий элемент". Особенности обработки алюминия. Сплавы из алюминия и их применение.
реферат, добавлен 16.03.2021Проведение оценки энергетического взаимодействия элементов в системе "алюминий-кремний" на основании расчета энергии электронных уровней атомов алюминия и кремния. Построение диаграммы состояния сплавов, которая отражает изменения электронного состояния.
статья, добавлен 02.11.2018