Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
Подобные документы
Конструкция алюминиевого электролизера, катодного и анодного устройств. Ошиновка и газоулавливающие устройства. Вакуумная выливка жидкого алюминия из ванны. Расчет материального баланса процесса электролиза, оценка продуктов этой операции. Потери сырья.
дипломная работа, добавлен 27.09.2017Метод литья по выплавляемым моделям для получения отливок из жаропрочных сплавов. Физико-химические процессы, протекающие при сушке и прокаливании в керамических формах на основе жидкого стекла, обработанных растворами солей кальция, хрома и алюминия.
статья, добавлен 06.05.2018Анализ влияния температурных факторов на процесс термического разложения органических веществ в рисовой шелухе с целью определения оптимальных условий синтеза активированного угля и диоксида кремния. Проблема утилизации отходов рисового производства.
статья, добавлен 23.12.2015Химические и термические свойства нитрида алюминия, область его применение и способы формования. Литье из термопластичных шликеров. Определение насыпной плотности порошка и гранулята. Приготовление смеси порошков и вреенной связки, спекание прессовок.
курсовая работа, добавлен 09.05.2017Изучение композиционных полимерсодержащих покрытий на сплаве алюминия АМг3. Изучение влияния импрегнированного в поры ПЭО-покрытия композиционного материала на коррозионную стойкость образцов в условиях долговременного воздействия соляного тумана.
статья, добавлен 12.07.2021Изучение переработки отходов производства фторопластов для получения композиционного электрохимического покрытия (КЭП) оксид алюминия – фторопласт. Разработка условий получения КЭП – оксид алюминия – фторопласт с использованием продуктов синтеза.
статья, добавлен 05.12.2018- 82. Цветные металлы
Характеристика алюминия, меди, магния, свинца, олова и цинка, их химические свойства. Модификации оксида цветных металлов, для получения строительных изделий высоких технических качеств и применение в технике. Механические свойства и назначение сплавов.
реферат, добавлен 24.12.2013 Экспорт и импорт продукции цветной металлургии России. Крупнейшие проекты разработки месторождений в России. Российский рынок алюминия и меди. Производственные мощности по выпуску алюминия и глинозема. Перспективы развития рынка меди и алюминия.
статья, добавлен 05.09.2015Рассмотрение способа измерения концентрации глинозема в криолит-глиноземном расплаве электролита при электролитическом получении алюминия. Изучение зависимости постоянной составляющей напряжения в зависимости от состава электролита и его температуры.
статья, добавлен 06.05.2018История развития алюминиевой промышленности. Основы электролиза криолитоглиноземных расплавов. Электротермическое получение алюминиево-кремниевых сплавов. Сущность и недостатки субгалогенидного процесса и Тот-процесса. Электролиз хлоридных расплавов.
реферат, добавлен 31.03.2012Характеристика конструкционных и инструментальных сталей и сплавов, их виды, физические свойства. Особенности титана, алюминия, меди и магния, сплавы на их основе. Общие сведения о неметаллических материалах, пластических массах, резинах и герметиках.
курсовая работа, добавлен 21.09.2010Понятие латуней и их классификация в зависимости от химического состава и назначения. Маркировка простых и специальных латуней, описание их механических свойств. Характеристика силуминов, алюминия и его сплавов, их маркировка и отличие от других металлов.
презентация, добавлен 09.12.2015Напыление и его виды. Вакуумные технологии покрытия, преимущества и цели. Схема процесса, оборудование, режим и обработка ионно-плазменного напыления, расходные материалы. Генератор металлической плазмы, технические характеристики серийных установок.
реферат, добавлен 18.12.2013Исследование изменения потенциала плазменного потока с использованием зондовой методики диагностики плазмы. Оценка концентрации положительных ионов материала внедрения при ионно-плазменной модификации поверхности стекла при атмосферном давлении.
статья, добавлен 29.01.2017Главные требования к эксплуатационным и технологическим свойствам материалов высокой проводимости. Направления использование меди и ее сплавов. Преимущества и недостатки алюминия. Способы изготовления биметаллов. Область применения благородных металлов.
реферат, добавлен 25.03.2020Особенность повышения прочности алюминия как главная функция легирующих элементов. Определение служебных характеристик алюминиевых сплавов существованием в них алюминидов переходных металлов. Параметры кристаллизации характерных металлических смесей.
статья, добавлен 17.06.2018Рассмотрение основных способов поверхностного упрочнения деталей. Описание технологии отпуска, его виды и механические характеристики стали после данной процедуры. Сущность азотирования и способы его проведения. Термическая обработка сплавов алюминия.
реферат, добавлен 20.11.2015- 93. Технология прямого сращивания пластин кремния и технологические маршруты изготовления структур КНИ
Преимущества структур КНИ перед структурами на основе объемного кремния. Технологии создания структур КНИ. Особенности процесса имплантация ионов водорода в приборную пластину. Исследование процессов химико-механической обработки кремниевых структур.
статья, добавлен 02.11.2018 Исследование особенностей и технологии электроэрозионной обработки материалов. Электрохимическая размерная обработка деталей. Отличительные черты и принципы ультразвуковой обработки материалов. Плазменная сварка. Напыление оксидами алюминия и циркония.
реферат, добавлен 22.08.2015Определение используемого сырья и технологической схемы электролизного производства алюминия. Рассмотрение конструкции и принципов работы электролизеров. Обзор параметров технологического режима. Оценка профессии "Электролизник расплавленных солей".
реферат, добавлен 21.09.2016Генерация течения жидкого металла и перенос пассивной примеси в прямоугольной полости бегущим магнитным полем. Способ управления структурой слитков из алюминиевых сплавов в процессе непрерывного литья с МГД-перемешиванием затвердевающего расплава.
статья, добавлен 25.10.2018Cпособы получения жидких и порошковых композиций на основе полиоксихлорида алюминия и флокулянтов серии Праестол. Влияние состава коагулирующе-флокулирующих композиций на эффективность их применения при очистке сточных вод от лакокрасочных материалов.
автореферат, добавлен 20.04.2018Сплавы алюминия, применяемые в авиастроении. Производство, свойства и применение магния. Маркировка и химический состав магниевых сплавов. Гомогенизирующий и рекристаллизационный отжиг. Классификация и виды термической обработки титановых сплавов.
реферат, добавлен 02.06.2015Исследование влияния режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO. Назначение ионно-плазменного оборудования и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади.
реферат, добавлен 25.12.2020Перечень требований к полупроводниковым подложкам. Характеристика монокристаллического кремния. Схема производственного процесса изготовления интегральных микросхем. Технология получения кремния полупроводниковой чистоты и формирования из него слитков.
курсовая работа, добавлен 03.12.2010