Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
Подобные документы
Характеристика технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки. Исследование особенностей химического, электрохимического и ионно-плазменного травления. Оборудование для ионно-плазменной обработки материалов.
презентация, добавлен 24.10.2014Основные виды травления - группы технологических приёмов для управляемого удаления поверхностного слоя материала с заготовки под действием химических веществ. Схема установки РИТ с высокочастотным индукционным источником плазмы. Состав газовой смеси.
реферат, добавлен 15.01.2020Исследование стадий процесса травления печатных плат. Изучение причин бокового подтрава печатных проводников. Сквозное протравливание поверхности меди. Анализ потерь при травлении. Кислотная и щелочная технологии травления. Сопротивление печатных плат.
статья, добавлен 25.04.2017Характеристика основных видов растворов для травления цветных и черных типов металлов. Описание фотографий микроструктур меди, алюминия и сплавов на их основе. Методика изучения микроструктуры металла или сплава на примере использования микрошлифов.
статья, добавлен 11.11.2018Основные виды загрязнений, встречающиеся при подготовке материала к травлению, причины их возникновения и методы удаления. Основные виды травления на полупроводниковых и диэлектрических пластинах, оборудование, используемое для этого и результаты.
курсовая работа, добавлен 23.06.2012Обзор процесса групповой обработки формирования структур как объекта управления. Разработка алгоритма системы управления технологическим процессом отжига при формировании структур. Моделирование травления при формировании топологии интегральных элементов.
автореферат, добавлен 14.08.2018История алюминия и его сплавов. Недостатки алюминия, физические свойства алюминия как химическогог элемента. Рафинирование алюминия и получение его электролизом раствора глинозема. Чистота алюминия как решающий показатель. Сплавы алюминия, его применение.
реферат, добавлен 15.12.2009Технологический процесс получения алюминия, его стадии, сферы применения. Получение глинозема из руд. Электролиз окиси алюминия. Характеристика опасных веществ и материалов, используемых в производстве. Описание основного используемого оборудования.
реферат, добавлен 01.12.2013Размерная электрохимическая обработка как изменение размера и формы детали в результате анодного растворения металла, отличия данного процесса от электрополирования и травления. Принципы ультразвуковой обработки. Факторы частоты колебаний генератора.
реферат, добавлен 24.06.2015История открытия, характеристика алюминия. Нахождение алюминия в природе, особенности алюминиевых руд. Производство глинозема, электролитическое производство алюминия. Алюминиевые сплавы, рафинирование алюминия. Промышленный способ производства алюминия.
реферат, добавлен 13.03.2021Особенности применения микроскопического анализа металлов и сплавов, устройство и принцип оптического микроскопа. Порядок приготовления и травления микрошлифов. Методика микроанализа, использование металлографического вертикального микроскопа МИМ–7.
методичка, добавлен 04.05.2012Свойства пористого оксида алюминия как перспективного материала для создания наноструктур на основе самоформирования. Математическая модель ионного транспорта через пленку. Физико-химические процессы образование пор в пленке анодированного алюминия.
статья, добавлен 30.01.2018Оборудование для термического окисления. Характеристика термических пленок SiO2. Скорость травления в буферном растворе. Воспроизводимые свойства использования реакторов пониженного давления. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния.
курсовая работа, добавлен 25.03.2014- 14. Сварка алюминия
Конструктивные и технологические особенности сварки алюминия и его сплавов, применяемые в данном процессе материалы и инструменты. Обзор распространенных способов проведения технологических операций. Оценка методов дуговой сварки алюминия и его сплавов.
контрольная работа, добавлен 21.03.2015 Область применения алюминия материала, характеристика обрабатываемости сплавов, её зависимость от физических и химических свойств алюминия, влияние геометрии инструмента на качество обработки резанием. Закономерности механической обработки алюминия.
статья, добавлен 22.02.2019Материаловедческая экспертиза металлических образцов, изъятых с места техногенной катастрофы или пожара. Исследование микрошлифа с помощью металлографического микроскопа. Методика подготовки микрошлифа. Сущность процесса травления и полирования образца.
статья, добавлен 11.11.2018Схема создания наноструктур из многослойных пленок путем химического травления "жертвенного" слоя. Формирование кольцевых, спиральных структур. Сила трения в наномире. Взаимодействие точечных зарядов, величины сил в различных наномеханических устройствах.
лекция, добавлен 12.08.2015Совместимость матрицы и армирующих волокон в композиционных материалах. Основные методы модификации поверхностей наполнителей. Обработка поверхности полимеров плазмой. Модификация полиэтилена, полипропилена и полиэтилентерефталата методом травления.
курсовая работа, добавлен 13.03.2011Конструктивный и технологический расчёт электролизёра, определение материального баланса, прихода и расхода материалов. Анализ технологического процесса электролитического способа производства алюминия, производственная санитария и организация труда.
дипломная работа, добавлен 04.01.2012Уникальные свойства алюминия. Основные области применения алюминия и его сплавов. Получение алюминия путем электролиза: добыча бокситов; производство глинозема; получение алюминия (электролитическое разложение глинозема, растворенного в электролите).
реферат, добавлен 11.03.2023Изучение влияния различных факторов на скорость коррозии стали в фосфорной кислоте. Определение зависимости адсорбции в 4н. Н3РО4 кислоте на стали от состава и концентрации ингибиторов, полученных на основе отходов промышленного производства морфолина.
статья, добавлен 23.06.2018Алюминиевая промышленность как отрасль цветной металлургии. Описание основных потребителей алюминия. Характеристика стадий производственного цикла: добычи алюминиевых руд, производства глинозема и металлического алюминия, а также проката, полуфабрикатов.
статья, добавлен 26.04.2019Металлические покрытия и технологические советы по декоративном покрытии на металле. Подготовительные операции перед покрытием метала, их характеристика и особенности. Описание подготовительных процедур: обезжиривания, очистки и травления металлов.
курсовая работа, добавлен 24.11.2008Применение ионно-плазменного азотирования (ИПА) для упрочнения различных изделий. Основные преимущества метода ИПА. Распределение микротвердости по глубине азотированного слоя. Характеристика легированных сталей после ионно-плазменного азотирования.
реферат, добавлен 25.05.2014Изучение стекловарения как одного из древнейших технологий в материальной культуре. Развитие стекольного производства в Европе и России. Технология создания художественного стекла, золотой фольги. Применение техники гранения, гравирования и травления.
реферат, добавлен 05.12.2014