Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
Подобные документы
Определение температурно-скоростных условий горячей прокатки. Использование методических печей с продвижением слитка на цепных конвейерах. Характеристика печей для нагрева алюминиевых сплавов перед прокаткой. Обжатие при прокатке слябов и полос.
доклад, добавлен 21.05.2015Микроструктура и свойства поверхности зуба и сердцевины шестерни после термической обработки стали 40ХГР. Основные режимы термической обработки среднеуглеродистых высоколегированных сталей. Особенности термообработки сплава алюминия и магния АМг-3.
контрольная работа, добавлен 14.10.2014Ознакомление с порядком формирования пленок в процессах ионно-плазменного нанесения. Исследование структурных последствий образования зародышей в тонких пленках. Рассмотрение схемы вакуумного напыления. Анализ диодных систем на постоянном напряжении.
курсовая работа, добавлен 18.04.2015Получены кристаллы гексанитрогексаазаизовюрцитана с включениями дисперсного алюминия. Изучена их поверхность и микроструктура с помощью оптической и электронной микроскопии. Исследована чувствительность данных образцов к механическим воздействиям.
статья, добавлен 05.12.2018Общая характеристика и классификация медных сплавов. Сплавы на основе алюминия, магния, титана. Особенности термической обработки титановых сплавов. Влияние легирующих элементов на их структуру и свойства. Свойства берилия и сплавы на его основе.
контрольная работа, добавлен 25.03.2009Классификация направлений науки об основных закономерностях, действующих в процессе производства. Управление технологическими системами в промышленности. Способы защиты металла и сплавов от коррозии. Определение композиционных и сырьевых материалов.
учебное пособие, добавлен 06.02.2014Понятие о прессовании металлов. Его производительность и преимущества недостатки по сравнению с другими методами деформирования изделий. Параметры и схемы данного процесса. Виды прессов и их классификация. Технология прессования алюминия и его сплавов.
курсовая работа, добавлен 18.12.2012Технологический процесс тепловой обработки заготовок, деталей машин и инструмента, в результате которой изменяется микроструктура материала. Процессы термической обработки конструкционных материалов. Изменение химического состава обрабатываемых деталей.
статья, добавлен 05.02.2022Легирование и термическая обработка сплавов на основе никеля. Особенности жаропрочных сплавов на кобальтовой основе. Характеристика процесса пакетной цементации. Анализ покрытия в газовой фазе. Изучение плазменного напыления термобарьерных покрытий.
реферат, добавлен 07.12.2019Изучение перспектив использования высокотеплопроводной керамики и пьезокерамики из нитрида алюминия в космическом приборостроении. Преимущество нитрида алюминия перед другими материалами. Современные информационные и конструкторские нанотехнологии.
статья, добавлен 04.11.2014Алюминиево-медный сплав и холодная сварка алюминия и меди. Сварка трением и ультразвуком. Характеристика диффузионной и магнитно-импульсной сварки. Механические свойства и особенность соединение проводников контактным нагревом и аргонодуговой сваркой.
курсовая работа, добавлен 23.01.2015Исследование химического состава алюминия. Анализ статистического контроля показателей качества. Особенность теории о кумулятивных картах. Влияние легирующих элементов на свариваемость. Правила принятия решений при мониторинге и управлении процессом.
курсовая работа, добавлен 17.02.2019Анализ коррозионных свойств покрытия цинка, алюминия и композитных покрытий, нанесенных на поверхность низкоуглеродистой стали газодинамическим напылением. Оценка влияния параметров напыления покрытия алюминия на механические свойства сплава Al-Cu-Mg.
статья, добавлен 25.10.2018Увеличение размеров электролизных ванн и силы тока в единицу времени, борьба с анодными эффектами как одни из направлений повышения объема производства первичного алюминия. Сравнительный анализ технических характеристик сверхмощных электролизеров.
статья, добавлен 31.08.2020Исследование конструкционных металлов и материалов специального назначения. Основы понятия и принципы современного металловедения. Перечень технологических способов обработки металлов. Химический состав и строение сплавов. Кристаллизация вещества.
реферат, добавлен 28.10.2013Оценка технического и экономического потенциала предприятия. Суть технологии электролизного производства алюминия. Анализ опасных и вредных производственных факторов. Значение снижения себестоимости в повышении экономической эффективности производства.
дипломная работа, добавлен 20.03.2011Характеристика алюминия как химического элемента, его достоинства и недостатки. Особенности алюминиевого проката. Влияние легирующих добавок на свариваемость, характеристика свойств алюминиевых систем. Алюминиевый лист, характеристики алюминиевых сплавов.
реферат, добавлен 30.10.2012Возможность повышения эксплуатационных свойств хромируемых покрытий при активации поверхности основного металла щеточной обработкой, введением в технологический процесс принудительного перемешивания хромового электролита с нанопорошками алмаза и алюминия.
статья, добавлен 18.02.2016Характеристика, преимущества аргоно-дуговой сварки алюминия и его сплавов. Выбор источников питания, применение проволоки малых диаметров при сварке в защитном газе. Особенности проекта технологического процесса сборки-сварки трубопровода "тройник".
статья, добавлен 24.05.2018Коррозия, вызванная взаимодействием щелочей цемента и химических добавок с диоксидом кремния заполнителя, как один из видов внутренней коррозии цементных бетонов. Механизм протекания коррозии. Методы замедления или полного прекращения разрушения бетона.
статья, добавлен 01.03.2019- 121. Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела
Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.
отчет по практике, добавлен 09.11.2014 Технические характеристики и свойства карбидокремниевых материалов. Технология изготовления различных конструкций из особо чистого реакционно-спеченного карбида кремния. Технологическая схема получения изделий из карбида кремния. Сублимационная камера.
статья, добавлен 11.12.2014Исследование влияния алюминия на структуру и физико-механические свойства порошковых алюминиевых бронз, полученных методом горячего прямого выдавливания пористых образцов системы Cu-Al. Показатели прочности при увеличении концентрации алюминия в бронзе.
статья, добавлен 01.03.2017Алюминий как один из самых распространенных металлов земной коры. Месторождения бокситов в тропических и субтропических областях. Развитие горнодобывающей промышленности Гвинеи, создания рабочих мест. Производство первичного алюминия и добыча бокситов.
статья, добавлен 13.04.2021Оценка преимуществ получения водорода из воды по сравнению с другими способами производства данного газообразного химического элемента в автономных условиях. Исследование кинетики, скорости и полноты процесса вытеснения водорода с помощью алюминия.
статья, добавлен 22.03.2016