Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска

Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.

Подобные документы

  • Определение температурно-скоростных условий горячей прокатки. Использование методических печей с продвижением слитка на цепных конвейерах. Характеристика печей для нагрева алюминиевых сплавов перед прокаткой. Обжатие при прокатке слябов и полос.

    доклад, добавлен 21.05.2015

  • Микроструктура и свойства поверхности зуба и сердцевины шестерни после термической обработки стали 40ХГР. Основные режимы термической обработки среднеуглеродистых высоколегированных сталей. Особенности термообработки сплава алюминия и магния АМг-3.

    контрольная работа, добавлен 14.10.2014

  • Ознакомление с порядком формирования пленок в процессах ионно-плазменного нанесения. Исследование структурных последствий образования зародышей в тонких пленках. Рассмотрение схемы вакуумного напыления. Анализ диодных систем на постоянном напряжении.

    курсовая работа, добавлен 18.04.2015

  • Получены кристаллы гексанитрогексаазаизовюрцитана с включениями дисперсного алюминия. Изучена их поверхность и микроструктура с помощью оптической и электронной микроскопии. Исследована чувствительность данных образцов к механическим воздействиям.

    статья, добавлен 05.12.2018

  • Общая характеристика и классификация медных сплавов. Сплавы на основе алюминия, магния, титана. Особенности термической обработки титановых сплавов. Влияние легирующих элементов на их структуру и свойства. Свойства берилия и сплавы на его основе.

    контрольная работа, добавлен 25.03.2009

  • Классификация направлений науки об основных закономерностях, действующих в процессе производства. Управление технологическими системами в промышленности. Способы защиты металла и сплавов от коррозии. Определение композиционных и сырьевых материалов.

    учебное пособие, добавлен 06.02.2014

  • Понятие о прессовании металлов. Его производительность и преимущества недостатки по сравнению с другими методами деформирования изделий. Параметры и схемы данного процесса. Виды прессов и их классификация. Технология прессования алюминия и его сплавов.

    курсовая работа, добавлен 18.12.2012

  • Технологический процесс тепловой обработки заготовок, деталей машин и инструмента, в результате которой изменяется микроструктура материала. Процессы термической обработки конструкционных материалов. Изменение химического состава обрабатываемых деталей.

    статья, добавлен 05.02.2022

  • Легирование и термическая обработка сплавов на основе никеля. Особенности жаропрочных сплавов на кобальтовой основе. Характеристика процесса пакетной цементации. Анализ покрытия в газовой фазе. Изучение плазменного напыления термобарьерных покрытий.

    реферат, добавлен 07.12.2019

  • Изучение перспектив использования высокотеплопроводной керамики и пьезокерамики из нитрида алюминия в космическом приборостроении. Преимущество нитрида алюминия перед другими материалами. Современные информационные и конструкторские нанотехнологии.

    статья, добавлен 04.11.2014

  • Алюминиево-медный сплав и холодная сварка алюминия и меди. Сварка трением и ультразвуком. Характеристика диффузионной и магнитно-импульсной сварки. Механические свойства и особенность соединение проводников контактным нагревом и аргонодуговой сваркой.

    курсовая работа, добавлен 23.01.2015

  • Исследование химического состава алюминия. Анализ статистического контроля показателей качества. Особенность теории о кумулятивных картах. Влияние легирующих элементов на свариваемость. Правила принятия решений при мониторинге и управлении процессом.

    курсовая работа, добавлен 17.02.2019

  • Анализ коррозионных свойств покрытия цинка, алюминия и композитных покрытий, нанесенных на поверхность низкоуглеродистой стали газодинамическим напылением. Оценка влияния параметров напыления покрытия алюминия на механические свойства сплава Al-Cu-Mg.

    статья, добавлен 25.10.2018

  • Увеличение размеров электролизных ванн и силы тока в единицу времени, борьба с анодными эффектами как одни из направлений повышения объема производства первичного алюминия. Сравнительный анализ технических характеристик сверхмощных электролизеров.

    статья, добавлен 31.08.2020

  • Исследование конструкционных металлов и материалов специального назначения. Основы понятия и принципы современного металловедения. Перечень технологических способов обработки металлов. Химический состав и строение сплавов. Кристаллизация вещества.

    реферат, добавлен 28.10.2013

  • Оценка технического и экономического потенциала предприятия. Суть технологии электролизного производства алюминия. Анализ опасных и вредных производственных факторов. Значение снижения себестоимости в повышении экономической эффективности производства.

    дипломная работа, добавлен 20.03.2011

  • Характеристика алюминия как химического элемента, его достоинства и недостатки. Особенности алюминиевого проката. Влияние легирующих добавок на свариваемость, характеристика свойств алюминиевых систем. Алюминиевый лист, характеристики алюминиевых сплавов.

    реферат, добавлен 30.10.2012

  • Возможность повышения эксплуатационных свойств хромируемых покрытий при активации поверхности основного металла щеточной обработкой, введением в технологический процесс принудительного перемешивания хромового электролита с нанопорошками алмаза и алюминия.

    статья, добавлен 18.02.2016

  • Характеристика, преимущества аргоно-дуговой сварки алюминия и его сплавов. Выбор источников питания, применение проволоки малых диаметров при сварке в защитном газе. Особенности проекта технологического процесса сборки-сварки трубопровода "тройник".

    статья, добавлен 24.05.2018

  • Коррозия, вызванная взаимодействием щелочей цемента и химических добавок с диоксидом кремния заполнителя, как один из видов внутренней коррозии цементных бетонов. Механизм протекания коррозии. Методы замедления или полного прекращения разрушения бетона.

    статья, добавлен 01.03.2019

  • Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных слоев, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы. Характеристики оборудования для исследования процессов ионного ассистирования и процесса ионно-лучевого нанесения тонких пленок.

    отчет по практике, добавлен 09.11.2014

  • Технические характеристики и свойства карбидокремниевых материалов. Технология изготовления различных конструкций из особо чистого реакционно-спеченного карбида кремния. Технологическая схема получения изделий из карбида кремния. Сублимационная камера.

    статья, добавлен 11.12.2014

  • Исследование влияния алюминия на структуру и физико-механические свойства порошковых алюминиевых бронз, полученных методом горячего прямого выдавливания пористых образцов системы Cu-Al. Показатели прочности при увеличении концентрации алюминия в бронзе.

    статья, добавлен 01.03.2017

  • Алюминий как один из самых распространенных металлов земной коры. Месторождения бокситов в тропических и субтропических областях. Развитие горнодобывающей промышленности Гвинеи, создания рабочих мест. Производство первичного алюминия и добыча бокситов.

    статья, добавлен 13.04.2021

  • Оценка преимуществ получения водорода из воды по сравнению с другими способами производства данного газообразного химического элемента в автономных условиях. Исследование кинетики, скорости и полноты процесса вытеснения водорода с помощью алюминия.

    статья, добавлен 22.03.2016

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.