Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска

Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.

Подобные документы

  • Производство алюминиево-кремниевых сплавов методом прямого восстановления. Требования к сырью. Теоретические основы восстановления алюмосиликатов углеродом. Восстановление кремнезема углеродом, оксида алюминия углеродом. Электропечи для выплавки сплавов.

    курсовая работа, добавлен 08.03.2016

  • Общие сведения о строении вещества. Характеристика свойств меди и алюминия. Полупроводниковые химические соединения. Карбид кремния: свойства, получение и применение. Физико-химические и механические свойства диэлектриков. Строение и состав асбеста.

    контрольная работа, добавлен 22.08.2011

  • Характеристика сырья, используемого для производства алюминия. Рассмотрение технологии и устройств для производства алюминия: катодного, анодного, системы газоулавливания, ошиновки электролизера. Исследование принципиальной схемы литейного отделения.

    отчет по практике, добавлен 19.07.2015

  • Свойства и сферы применения алюминия, свинца, олова, цинка и магния. Особенности термообработки сплавов алюминия с магнием, медью и кремнием. Обзор использования присадочных металлов при сварке швов изделий. Теплопроводность и электропроводность металлов.

    реферат, добавлен 25.05.2012

  • Свойства алюминия и области его применения. Сырье для получения алюминия. Химический состав бокситов. Группы процессов получения глинозема. Применение способа Байера для переработки высококачественных бокситов с относительно низким содержанием кремнезема.

    реферат, добавлен 23.09.2019

  • Классификация нанотехнологий для машиностроения. Возможность получения наноструктурированных материалов с дисперсионно-упрочненной структурой на основе порошков алюминия и его сплавов. Описание процесса повышения надежности и срока службы изделий.

    реферат, добавлен 20.06.2016

  • Повышение эксплуатационных свойств хромированных покрытий путем введения в хромовый электролит нанопорошка оксида алюминия. Зависимость коэффициента светопропускания в электролите хромирования от времени. Влияние плотности тока на скорость осаждения.

    статья, добавлен 25.02.2016

  • Описание свойств некоторых цветных металлов и их сплавов. Особенности физических и химических свойств меди, титана, алюминия, магния. Поведение деформируемых и недеформируемых сплавов на основе этих веществ с учетом легирования различными элементами.

    дипломная работа, добавлен 18.10.2013

  • Система механизации и автоматизации производственного процесса, его экономический расчет. Описание технологического процесса электролиза алюминия. Устройство электролизёра, его конструктивный расчет, материальный, электрический и энергетический баланс.

    дипломная работа, добавлен 26.01.2014

  • Изучение эффективности применения технологии неорганических веществ на основе сульфидов силикатов при получении серных композиционных материалов. Химическое взаимодействие серы с хлоридом алюминия. Прочность и стойкость кремнеземсодержащего материала.

    статья, добавлен 02.12.2018

  • Специфические особенности алюминия и сложности при его сварке. Конструктивная кинематическая схема поста для аргонодуговой сварки. Технические характеристики горелки. Используемые электроды и присадочные материалы. Подготовка деталей и режимы сварки.

    реферат, добавлен 04.12.2009

  • Цветные металлы - дорогие и дефицитные, область их применения в технике. Получение титана, алюминия, магния из бедных и сложных по составу руд, отходов производства. Характеристика основных свойств сплавов титана, алюминия, магния, меди, латуни и бронзы.

    реферат, добавлен 13.02.2016

  • Особенности процесса получения фтористого алюминия с кремнефтористоводородной кислотой, содержащейся примеси соляной кислоты-ионы хлора. Влияние иона хлора на кинетику процесса взаимодействия гидроокиси алюминия с кремнефтористоводородной кислотой.

    статья, добавлен 20.09.2018

  • Обзор результатов исследований образца алюминия чистотой более 99,99%, реструктурированного авторами путем механо-термического воздействия различного уровня интенсивности. Сравнение данных о свойствах металла до и после его соответствующей обработки.

    статья, добавлен 25.02.2021

  • Анализ состава и свойств различных дисперсно­упрочненных композиционных материалов на основе алюминия, применяемых при производстве аэрокосмической техники. Математические модели зависимости параметров САП от содержания оксида алюминия и температуры.

    статья, добавлен 14.01.2017

  • Предельная рабочая температура и коэффициент теплопроводности как одни из наиболее важных характеристик теплоизоляционных материалов. Сравнительный анализ зависимости механических характеристик керамических волокон от содержания в них оксида кремния.

    контрольная работа, добавлен 13.01.2020

  • Общее определение, история получения, технологические свойства алюминия, его коррозийная стойкость. Основы электролиза криолитоглиноземных расплавов. Электротермическое получение алюминиево-кремниевых сплавов. Применение алюминия в практических целях.

    курсовая работа, добавлен 09.07.2013

  • Требования к формированию выборки электролизеров для определения незавершенного производства алюминия в электролизерах. Выполнение замеров параметров. Подготовка навесок меди. Расчет массы жидкого алюминия. Метод отбрасывания выпадающих значений.

    курсовая работа, добавлен 01.12.2020

  • Химический состав, шихтовые материалы и изготовлении слитков из сплава на основе алюминия. Материал для раскисления, первичный магний в чушках и технический рафинированный кремний в производстве. Конструктивные особенности миксера вместимостью 30 тонн.

    реферат, добавлен 30.01.2014

  • Особенности технологий изготовления пьезокерамических материалов. Исследование возможности химической стабилизации никелевого покрытия за счет топохимической кристаллизации металла на поверхности нанодисперсных порошков оксидов (оксида алюминия).

    статья, добавлен 28.05.2017

  • Особенности определения толщины и скорости роста анодного оксида алюминия, полученного анодированием в щелочном электролите. Разработка режимов и технологии анодирования. Оценка свойств пленок анодного оксида алюминия при разных режимах его получения.

    статья, добавлен 30.01.2018

  • Определение и характеристика специфических особенностей связи между величиной зерна аустенита и количеством остаточного алюминия в стали. Исследование температуры начала и конца роста зерна аустенита в зависимости от содержания остаточного алюминия.

    статья, добавлен 17.06.2018

  • Понятие, значение и сущность алюминия, его распространение в природе, характеристика и специфика структуры. Описание и отличительные черты свойств нелегированного технического алюминия, его применение. Влияние примесей на электропроводность алюминия.

    доклад, добавлен 17.05.2015

  • Основные физико-механические свойства алюминия, его нахождение в природе, получение и применение, классификация сплавов и их маркировка. Марки и химический состав первичного алюминия. Технический алюминий: химический состав и механические характеристики.

    реферат, добавлен 07.12.2010

  • Конструкция электролизёра. Структурная схема автоматической системы управления технологическим процессом производства алюминия электрохимическим способом. Технические аспекты применения контроллеров MicroPC в качестве интеллектуальной части ТРОЛЛЬ.

    реферат, добавлен 18.11.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу и оценить ее, кликнув по соответствующей звездочке.